技术编号:21651548
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制备三氧化二铝薄膜领域。更具体地说,本发明涉及一种利用直流反应溅射法制备三氧化二铝薄膜的方法。背景技术近几年,perc电池大面积量产的效率持续攀升,吸引了整个光伏产业界的关注。产业化设备、关键材料都在加速开发中,产能逐渐扩张。perc电池还有很大的效率提升空间,发射极、背面铝背场、主栅、硅片质量等还有优化空间。perc技术采用al2o3膜对背表面进行钝化,可以有效的降低背表面复合,提高开路电压,增加背表面反射,提高短路电流,从而提高电池效率。al2o3薄膜最早的制备方法是工业cvd法,...
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