技术编号：21693048
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请要求2019年1月24日提交的美国临时申请no.62/796,546和2019年7月22日提交的美国临时申请no.62/877,179的权益。美国临时申请no.62/796,546和美国临时申请no.62/877,179的全部内容通过引用整体地并入本文。本申请涉及在搅拌或混合颗粒床中将诸如含硅气体的前体气体分解以生产硅或涂覆硅的颗粒。背景技术由于优异的质量和热传递、增加的沉积表面以及连续生产，流化床中的含硅气体的热解分解是生产用于光伏和半导体工业的多晶硅的一种工艺。与西门...
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