技术编号：22022239
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于样品检测领域，具体涉及一种扫描电镜原位物化反应样品台。背景技术扫描电镜作为微观结构形貌、成分分析的重要工具，已广泛应用于材料、化学、生物、微电子等多领域。其具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大、成像富有立体感等特点。随着现代技术的发展，其他一些扫描电子显微镜组合分析功能也相继出现，例如显微热台和冷台系统，用于观察和分析材料分别在加热和冷冻过程中材料相变、再结晶转变、晶粒长大、氧化反应、气体反应、元素迁徙及电子器件失效分析等。目前，还没有一种样品台能够实现样品从超低...
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