扫描电镜原位物化反应样品台的制作方法

本实用新型属于样品检测领域，具体涉及一种扫描电镜原位物化反应样品台。

背景技术：

扫描电镜作为微观结构形貌、成分分析的重要工具，已广泛应用于材料、化学、生物、微电子等多领域。其具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大、成像富有立体感等特点。

随着现代技术的发展，其他一些扫描电子显微镜组合分析功能也相继出现，例如显微热台和冷台系统，用于观察和分析材料分别在加热和冷冻过程中材料相变、再结晶转变、晶粒长大、氧化反应、气体反应、元素迁徙及电子器件失效分析等。

目前，还没有一种样品台能够实现样品从超低温到高温的全程物理化学过程观测，同时观察样品的真空及反应氛暴露的状态切换。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种扫描电镜原位物化反应样品台。

本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种扫描电镜原位物化反应样品台,包括样品台本体以及设置在所述的样品台本体内的用于放置样品的导热隔层；所述的导热隔层将所述的样品台本体分割成气体腔室以及控温腔室；所述的气体腔室内设置有气体入口以及气体出口；所述的控温腔室内设置有加热管路以及冷却管路；所述的加热管路的两端分别与热媒入口以及热媒出口连接；所述的冷却管路的两端分别与冷媒入口以及冷媒出口连接。

所述的样品台本体上设置有观察窗；所述的观察窗的位置与样品的放置位置对应；所述的观察窗与所述的样品台本体可开合连接。

所述的观察窗与所述的样品台本体的接触处设置有密封垫。

还包括隔热密封腔；所述的样品台本体设置在所述的隔热密封腔内部。

所述的隔热密封腔上设置有与隔热密封腔可开合连接的观察口。

所述的气体腔室内设置有温度计。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本技术：
的扫描电镜原位物化反应样品台通过转换样品室的气体种类、调节冷热媒的温度，能够实现一个样品台中样品不同温度不同化学氛下微观结构形貌的观察及成分分析。

附图说明

图1为本实用新型扫描电镜原位物化反应样品台的整体结构示意图；

具体实施方式

为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

图1示出一种扫描电镜原位物化反应样品台,包括隔热密封腔1、样品台本体9以及设置在所述的样品台本体内的用于放置样品14的导热隔层11；所述的导热隔层将所述的样品台本体分割成气体腔室以及控温腔室；所述的气体腔室内设置有气体入口3以及气体出口4；所述的控温腔室内设置有加热管路12以及冷却管路13；所述的加热管路的两端分别与热媒入口5以及热媒出口6连接；所述的冷却管路的两端分别与冷媒入口7以及冷媒出口8连接。

所述的样品台本体上设置有观察窗10；所述的观察窗的位置与样品的放置位置对应；所述的观察窗与所述的样品台本体可开合连接。所述的观察窗与所述的样品台本体的接触处设置有密封垫。所述的样品台本体设置在所述的隔热密封腔1内部。所述的隔热密封腔上设置有与隔热密封腔可开合连接的观察口2。所述的气体腔室内设置有温度计。

隔热密封腔1起隔绝热量、密闭作用，其材质外层为光滑不锈钢板，内层为石棉、硅藻土、珍珠岩、气凝胶毡、玻璃纤维、泡沫混凝土和硅酸钙等无机绝热材料，也可为软木、聚苯乙烯泡沫塑料、聚氨基甲酸酯、牛毛毡和羊毛毡等有机绝热材料。观察口以及观察窗的材质为抗压的钢化玻璃，也可为抗压的有机玻璃。气体入口3与气体出口4配套，其管材为不锈钢钢管，也可为有机塑料管，气体为氦气、氮气等常规惰性气体，亦可为氧气、空气或有机类氧化还原气体。所述热媒入口5与热媒出口6配套，其管材为不锈钢钢管，也可为耐热有机塑料管。所述冷媒入口7与冷媒出口8配套，其管材为不锈钢钢管，也可为耐寒有机塑料管；所述样品台本体9材质为耐腐蚀的不锈钢；所述导热隔层11起传递热量、密闭作用，其材质为耐腐蚀的不锈钢。热媒为导热高温油。冷媒为液氮，液氦，干冰等。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

技术特征：

1.一种扫描电镜原位物化反应样品台,其特征在于，包括样品台本体以及设置在所述的样品台本体内的用于放置样品的导热隔层；所述的导热隔层将所述的样品台本体分割成气体腔室以及控温腔室；所述的气体腔室内设置有气体入口以及气体出口；所述的控温腔室内设置有加热管路以及冷却管路；所述的加热管路的两端分别与热媒入口以及热媒出口连接；所述的冷却管路的两端分别与冷媒入口以及冷媒出口连接。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜原位物化反应样品台,其特征在于，所述的样品台本体上设置有观察窗；所述的观察窗的位置与样品的放置位置对应；所述的观察窗与所述的样品台本体可开合连接。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜原位物化反应样品台,其特征在于，所述的观察窗与所述的样品台本体的接触处设置有密封垫。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜原位物化反应样品台,其特征在于，还包括隔热密封腔；所述的样品台本体设置在所述的隔热密封腔内部。

5.根据权利要求4所述的扫描电镜原位物化反应样品台,其特征在于，所述的隔热密封腔上设置有与隔热密封腔可开合连接的观察口。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜原位物化反应样品台,其特征在于，所述的气体腔室内设置有温度计。

技术总结
本实用新型属于样品检测领域，具体涉及一种扫描电镜原位物化反应样品台，包括样品台本体以及设置在所述的样品台本体内的用于放置样品的导热隔层；所述的导热隔层将所述的样品台本体分割成气体腔室以及控温腔室；所述的气体腔室内设置有气体入口以及气体出口；所述的控温腔室内设置有加热管路以及冷却管路；所述的加热管路的两端分别与热媒入口以及热媒出口连接；所述的冷却管路的两端分别与冷媒入口以及冷媒出口连接。本申请的扫描电镜原位物化反应样品台通过转换样品室的气体种类、调节冷热媒的温度，能够实现一个样品台中样品不同温度不同化学氛下微观结构形貌的观察及成分分析。

技术研发人员：孙道宝;胡晓宇;高旭;王晶晶
受保护的技术使用者：天津膜天膜科技股份有限公司
技术研发日：2019.12.20
技术公布日：2020.08.28