技术编号：22400763
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅领域，具体涉及一种多晶硅还原炉用硅芯的制作工艺。背景技术现阶段电子级、太阳能级多晶硅料生产仍然以西门子法为主流生产方法，因此硅芯是多晶硅生产环节必不可少的主要辅材，其产量、规格尺寸、质量对多晶硅生产过程和产品质量有较大的影响，随着多晶硅料市场需求增加和产品质量的提升，现有的硅芯炉拉制工艺和单晶棒切割方硅芯制作工艺在产量、成本上基本达到一个瓶颈，急需一种新工艺来进一步改善硅芯生产。硅芯制作是伴随西门子法多晶硅生产工艺诞生的，初始阶段硅芯炉采用φ40mm的硅棒进行硅芯拉制，一次只能拉...
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