技术编号:22762962
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及粘接板冷却技术领域,尤其是一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板。背景技术目前,金刚线切片机采用的是粘接板来粘接晶棒并进行切割,金刚线切割到粘接板的时候会产生一定热量,如果热量不及时带走的话对晶棒的切割会造成一定的影响,影响到晶棒的切割质量。现有技术中,粘接板的中空结构能够起到一定的冷却作用,但是冷却效果有限,不能保证及时带走切割过程中产生的大量热量。发明内容本申请人针对上述现有生产技术中的缺点,提供一种结构合理的冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板,能够在晶棒切割时对粘接板进行冷却,减...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。