一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板的制作方法

本发明涉及粘接板冷却技术领域，尤其是一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板。

背景技术：

目前，金刚线切片机采用的是粘接板来粘接晶棒并进行切割，金刚线切割到粘接板的时候会产生一定热量，如果热量不及时带走的话对晶棒的切割会造成一定的影响，影响到晶棒的切割质量。

现有技术中，粘接板的中空结构能够起到一定的冷却作用，但是冷却效果有限，不能保证及时带走切割过程中产生的大量热量。

技术实现要素：

本技术：
人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种结构合理的冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板，能够在晶棒切割时对粘接板进行冷却，减少切割过程中产生的热量。

本发明所采用的技术方案如下：

一种冷却装置，包括分水器，所述分水器可拆卸的连接在中空粘接板的一侧，分水器内设有储水腔，所述储水腔和中空粘接板中空内腔连通；所述分水器外表面连接进水接头，进水接头一端与储水腔连通。

进一步的，进水接头另一端连接进水管，进水管连接在水源上，进水管上设有水泵。

进一步的，进水接头位于分水器长度方向的侧面上或者位于分水器顶部中心位置。

进一步的，分水器面向中空粘接板一侧端面设有套接槽，分水器的套接槽内套接中空粘接板。

进一步的，套接槽沿槽口边缘设有一圈分水密封圈。

进一步的，分水器面向中空粘接板端面设有长条形结构的分水通孔，分水通孔将储水腔和中空粘接板中空内腔连通。

进一步的，分水器面向中空粘接板端面设有多个分水窗口，多个分水窗口沿着分水器长度方向等距分布，多个分水窗口将储水腔和中空粘接板中空内腔连通。

进一步的，分水窗口沿边缘设有一圈窗口密封圈。

进一步的，分水器沿长度方向的两侧端面上分别固定连接安装杆一端，安装杆另一端穿过套管后通过螺纹连接锁紧螺母，安装杆另一端上套设压紧弹簧，压紧弹簧前后两端分别接触锁紧螺母和套管一端面，套管固定连接在固定板上，固定板通过连接件可拆卸的连接在切片机机台上。

一种含有冷却装置的中空粘接板，包括冷却装置，所述冷却装置包括至少一个，所述冷却装置可拆卸的连接在所述中空粘接板的四周，所述冷却装置的储水腔与所述中空粘接板的中空内腔连通。

本发明的有益效果如下：

本发明能够在晶棒切割时对中空粘接板进行冷却，减少切割过程中产生的热量，提高了切割质量；中空粘接板和分水器采用套接或压紧连接的形式，方便了分水器的拆装；分水器和中空粘接板连接处设置密封圈进行密封，提高了冷却水的利用率，避免冷却水在分水器和中空粘接板连接处产生渗漏。

附图说明

图1为本发明实施例一立体图。

图2为本发明中空粘接板横截面结构图。

图3为本发明实施例一中分水器结构图。

图4为本发明实施例二立体图。

图5为本发明实施例二中分水器结构图。

图6为本发明实施例三中分水器结构图。

图7为本发明分水器安装结构立体图。

其中：1、分水器；2、进水接头；3、中空粘接板；4、冷却水孔；5、分水通道；6、分水密封圈；7、分水窗口；8、窗口密封圈；9、储水腔；10、套接槽；11、安装杆；12、套管；13、固定板；14、锁紧螺母；15、压紧弹簧。

具体实施方式

下面结合附图，说明本发明的具体实施方式。

如图1所示，本发明主要包括分水器1，分水器1可拆卸的连接在中空粘接板3的一侧。分水器1内设有用于存储冷却水的储水腔9，储水腔9和中空粘接板3的中空内腔连通。

如图1所示的实施例中，分水器1外表面连接进水接头2，进水接头2一端与储水腔9连通。

进水接头2另一端连接进水管，进水管连接在水源上。水源通过进水管流入分水器1的储水腔9中。为了提高进水效率，进水管上设有水泵，水泵将水源的冷却水打入进水接头2中，最后进入储水腔中存储。

中空粘接板3用于承载需要进行切割的晶棒，中空粘接板3能够采用塑料板材料进行制作，中空粘接板3内部设有用于冷却的中空内腔。

如图3所示的实施例中，分水器1面向中空粘接板3端面设有长条形结构的分水通道5，分水通孔5将储水腔9和中空粘接板3的中空内腔连通。在使用时，分水器1的储水腔9中的水通过分水通孔5进入各个冷却水孔4中，降低中空粘接板3上的温度。

如图1和图3所示的实施例中，分水器1面向中空粘接板3一侧端面设有套接槽10，分水器1的套接槽10内套接中空粘接板3。进水接头2位于分水器1长度方向的侧面上。

为了保证套接槽10和中空粘接板3之间的密封性，如图3所示的实施例中，套接槽10沿槽口边缘设有一圈分水密封圈6。

如图4和图5所示的实施例二中，进水接头2位于分水器1顶部中心位置，进水接头2设置在分水器1顶部中心位置能够优化分水效果，使得冷却水能够均匀到达储水腔9各个位置。

如图6所示的实施例中，分水器1面向中空粘接板3端面设有多个分水窗口7，多个分水窗口7沿着分水器1长度方向等距分布，多个分水窗口7将储水腔9和中空粘接板3中空内腔连通。

如图2和图4所示的实施例中，中空粘接板3内设有多个沿中空粘接板3长度方向贯通的冷却水孔4，多个冷却水孔4沿着中空粘接板3宽度方向等距分布。

为了与中空粘接板3的冷却水孔4一一连通，提高中空粘接板3散热均匀性。如图6所示的实施例中，分水器1面向中空粘接板3端面设有多个分水窗口7，多个分水窗口7沿着分水器1长度方向等距分布，多个分水窗口7将储水腔9和中空粘接板3中空内腔连通。为了保证分水器1和中空粘接板3之间的密封性能，分水窗口7沿边缘设有一圈窗口密封圈8。

如图7所示的实施例四中，分水器1沿长度方向的两侧端面上分别固定连接安装杆11一端，安装杆11另一端穿过套管12后通过螺纹连接锁紧螺母14。安装杆11另一端上套设压紧弹簧15，压紧弹簧15前后两端分别接触锁紧螺母14和套管12一端面。套管12固定连接在固定板13上，固定板13通过连接件可拆卸的连接在切片机机台上。在使用时，通过调节锁紧螺母14的位置来调整压紧弹簧15对安装杆11的压紧程度，从而使得分水器1能够压紧在中空粘接板3上。

本发明的工作原理是：在工作时，将中空粘接板3连接在分水器1上，分水器1内通入冷却水。然后将晶棒放置在中空粘接板3上切割，切割时在中空粘接板3上产生的热量由中空粘接板3中源源不断的冷却水带走，减少了中空粘接板3上切割过程中产生的热量，提高了切割质量。

以上描述是对本发明的解释，不是对发明的限定，本发明所限定的范围参见权利要求，在本发明的保护范围之内，可以作任何形式的修改。

技术特征：

1.一种冷却装置，其特征在于：包括分水器(1)，所述分水器(1)可拆卸的连接在中空粘接板(3)的一侧，分水器(1)内设有储水腔(9)，所述储水腔(9)和中空粘接板(3)中空内腔连通；所述分水器(1)外表面连接进水接头(2)，进水接头(2)一端与储水腔(9)连通。

2.如权利要求1所述的一种冷却装置，其特征在于：所述进水接头(2)另一端连接进水管。

3.如权利要求2所述的一种冷却装置，其特征在于：所述进水接头(2)位于分水器(1)长度方向的侧面上或者位于分水器(1)顶部中心位置。

4.如权利要求1所述的一种冷却装置，其特征在于：所述分水器(1)面向中空粘接板(3)一侧端面设有套接槽(10)，分水器(1)的套接槽(10)内套接中空粘接板(3)。

5.如权利要求4所述的一种冷却装置，其特征在于：所述套接槽(10)沿槽口边缘设有一圈分水密封圈(6)。

6.如权利要求1所述的一种冷却装置，其特征在于：所述分水器(1)面向中空粘接板(3)端面设有长条形结构的分水通孔(5)，分水通孔(5)将储水腔(9)和中空粘接板(3)中空内腔连通。

7.如权利要求1所述的一种冷却装置，其特征在于：所述分水器(1)面向中空粘接板(3)端面设有多个分水窗口(7)，多个分水窗口(7)沿着分水器(1)长度方向等距分布，多个分水窗口(7)将储水腔(9)和中空粘接板(3)中空内腔连通。

8.如权利要求7所述的一种冷却装置，其特征在于：所述分水窗口(7)沿边缘设有一圈窗口密封圈(8)。

9.如权利要求1所述的一种冷却装置，其特征在于：所述分水器(1)沿长度方向的两侧端面上分别固定连接安装杆(11)一端，安装杆(11)另一端穿过套管(12)后通过螺纹连接锁紧螺母(14)，安装杆(11)另一端上套设压紧弹簧(15)，压紧弹簧(15)前后两端分别接触锁紧螺母(14)和套管(12)一端面，套管(12)固定连接在固定板(13)上，固定板(13)通过连接件可拆卸的连接在切片机机台上。

10.一种含有冷却装置的中空粘接板，其特征在于：包括权利要求1～9中任意一项所述的冷却装置，所述冷却装置包括至少一个，所述冷却装置可拆卸的连接在所述中空粘接板(3)的四周，所述冷却装置的储水腔(9)与所述中空粘接板(3)的中空内腔连通。

技术总结
本发明涉及粘接板冷却技术领域，尤其是一种冷却装置及含有冷却装置的中空粘接板。其包括分水器，所述分水器可拆卸的连接在中空粘接板的一侧，分水器内设有储水腔，所述储水腔和中空粘接板中空内腔连通；所述分水器外表面连接进水接头，进水接头一端与储水腔连通。本发明能够在晶棒切割时对中空粘接板进行冷却，减少切割过程中产生的热量，提高了切割质量；中空粘接板和分水器采用套接或压紧连接的形式，方便了分水器的拆装；分水器和中空粘接板连接处设置密封圈进行密封，提高了冷却水的利用率，避免冷却水在分水器和中空粘接板连接处产生渗漏。

技术研发人员：杨旭洲;贾瑞波;李斌;张利敏;张昌银;孙钊
受保护的技术使用者：无锡中环应用材料有限公司
技术研发日：2020.08.10
技术公布日：2020.10.30