技术编号：23100364
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于确定天然气的热容量的传感器装置。本发明的另外的方面涉及一种传感器系统，该传感器系统包括气体流量传感器和用于确定天然气的热容量的传感器装置。其他方面涉及用于操作传感器装置的相应方法和相应的计算机程序产品。背景技术us2014/0208830描述了一种气体传感器，该气体传感器具有跨越硅基板中的开口的膜。该膜形成热板并具有集成的钨加热器。此外，通过介电层与钨加热器隔开的铂层形成电极，所述电极用于测量感测材料贴片的电阻。使用热膜传感器测量流体的热导率，例如为在wo0118500a1或在...
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