技术编号：2360912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公布了一种晶圆机械臂，用于承托吸附晶圆，其特征在于所述机械臂包括内部具有真空腔体的铝合金平板，所述真空腔体开口于所述铝合金平板上表面；所述铝合金平板下表面通过金属箔片密封其真空腔体。本实用新型采用金属箔片密封真空腔体，只用了一片铝合金平板，节约了材料用量。单片铝合金平板金属箔片密封真空腔体，不需要焊接，减少了因焊接而产生的变形，一体成型的机械臂平整度更高。采用单片铝合金平板后，单片铝合金平板厚度可以适当增加，而不会影响机械臂的整体厚度。加厚的单片...
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