技术编号:2370040
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种精密机械中X、Y、θ方向动作的调节平台,尤指在X、Y两个互相垂直方向及旋转方向实现三自由度运动的调节平台。目前,现有的X、Y、θ方向运动的调节平台主要采用以下方法1.一层平面上只能作X或Y方向的运动;2.在此层平面上再建造一层平台只能作Y或X方向运动;3.再在前两层平台之上设置旋转装置实现θ回转运动。上述的装置需要三层平面实现三个自由度的运动,结构复杂,笨重、重心高、成本高。本发明的目的在于提供一种X、Y、θ方向的调节平台装置,即在一个平面内...
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