技术编号:23712411
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于流体力学领域,具体涉及一种用于真空容器充气抽气的系统。背景技术现有技术中真空系统的充气抽气装置在抽气过程中真空泵刚开启时容易导致真空系统内的气压突变,且在充气过程中充入的气体易在真空管道内形成湍流,因此实际使用中对真空系统中微尘的控制并不理想;cn. 一种用于无尘化真空过程的慢充慢抽装置及方法(以下简称现有技术a)。现有技术a存在以下技术缺陷: 、抽气充气速度慢,不适应大型真空容器的充气和抽气。、系统复杂,成...
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