技术编号:23724064
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种背照式emccd背面结构及其制作方法技术领域本发明涉及一种背照式emccd背面结构及其制作方法,属于电荷耦合器件技术领域。背景技术emccd(electron multiply charge coupled device)是一种通过电荷倍增提升夜视探测能力的全固态微光成像器件,是探测领域内灵敏度极高的一种高端光电探测产品。emccd具有低噪声、高灵敏度、高动态范围、高量子效率等特点,在微光夜视中具有极大优势。背照式emccd由于光从芯片背面入射,并通过对芯...
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