技术编号:24322071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及匀胶机技术领域,特别是涉及一种匀胶机。背景技术匀胶机是电子产业中常见的设备,匀胶机的托盘高速转动驱动基片自转,使滴加在基片表面的胶液均匀分散,从而在基片的表面形成厚度一致胶膜层。如授权公告号为cn209491016u、授权公告日为2019.10.15的中国实用新型专利公开了一种用于圆盘式硅片的匀胶机,并具体公开了该匀胶机包括壳体和铰接于壳体上的盖体;壳体内安装有竖直的离心电机,离心电机的上端面固定安装有匀胶盘;通过离心电机驱动匀胶盘旋转;匀胶盘包括设置在匀胶盘中间部位的硅片托盘,和...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。