技术编号：24393183
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域：本实用新型涉及低温泵领域，尤其是一种便于调温的低温泵。背景技术：低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法，因此，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。低温泵内部设有制冷器，从而使吸入的空气温度迅速降低，达到制冷效果。然而，低温泵的使用环境会根据不同的应用领域进行温度的调节，现有的低温泵不具备调节功能；另外，制冷器长时间工作容易发生故障，从而需...
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