一种便于调温的低温泵的制作方法

技术领域：

本实用新型涉及低温泵领域，尤其是一种便于调温的低温泵。

背景技术：
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低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法，因此，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

低温泵内部设有制冷器，从而使吸入的空气温度迅速降低，达到制冷效果。然而，低温泵的使用环境会根据不同的应用领域进行温度的调节，现有的低温泵不具备调节功能；另外，制冷器长时间工作容易发生故障，从而需要定期维护检修，在维护检修期间低温泵就需要停止工作，较为影响工作进行效率。

技术实现要素：
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本实用新型提供了一种便于调温的低温泵，它结构设计合理，可根据不同应用领域的需要，选择性的在低温泵上接入对应个数的制冷器，实现对温度的调节作用，适用性更强，在定期维修保养时，无需关闭低温泵，即可对制冷器进行更换，提高了工作效率，保证了设备的正常运行，解决了现有技术中存在的问题。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种便于调温的低温泵，包括泵体，泵体上端竖直设有与其相连通的转接管，在转接管左右两侧分别对称设有制冷器，两制冷器为一组，在转接管上沿其长度方向至少设有一组制冷器，每组制冷器均通过固定装置与转接管相连，在与各制冷器连接管相连位置的转接管侧壁上均设有导气孔，一竖直设置在转接管内的分隔板将转接管分隔为左腔室与右腔室，左腔室与左侧制冷器连接管相连通，右腔室与右侧制冷器连接管相连通，在转接管上设有调节装置，用于打开或关闭转接管与泵体相连通位置的开口。

优选的，所述固定装置包括套设在转接管上的固定套管，固定套管通过底部的连接板固连在转接管外侧壁上，在对应转接管导气孔位置的固定套管两侧均对称设有卡槽，各制冷器均通过设置在连接管端部的弧形法兰盘，卡接在固定套管与转接管之间，其连接管卡入对应一侧的卡槽内，连接管与导气孔同轴心设置，在卡槽两侧的固定套管上对称设有锁紧螺母，用于卡紧弧形法兰盘与转接管。

优选的，在转接管与固定套管之间卡设弧形挡板，在卡槽两侧的固定套管上对称设有锁紧螺母，用于卡紧弧形挡板与转接管。

优选的，在弧形法兰盘与转接管之间设有第一密封垫圈。

优选的，所述调节装置包括竖直穿过分隔板中央的套管，在套管顶部固连密封盖，密封盖紧密卡接在转接管的顶部，在套管底部固连限流板，在限流板两侧对称设有限流孔，一竖直设置的转轴竖直分别穿过密封盖、套管与限流板，其顶部固连抵接在密封盖上的旋钮，其底部固连扇形板，所述扇形板用于打开或关闭限流板一侧的限流孔。

优选的，在密封盖上设有卡接旋钮的凹槽，旋钮底部紧贴凹槽底部。

优选的，在密封盖与转接管之间设有第二密封垫圈。

优选的，在转接管顶部一侧设有定位块，在密封盖侧壁上分别设有“on”与“off”标记。

优选的，优选的，在旋钮表面设有箭头标记，在密封盖表面分别设有“leftoff”、“right”与“on”标记。

优选的，所述制冷器为两组。

本实用新型采用上述结构，具有结构设计合理，可根据不同应用领域的需要，选择性的在低温泵上接入对应个数的制冷器，实现对温度的调节作用，适用性更强，在定期维修保养时，无需关闭低温泵，即可对制冷器进行更换，提高了工作效率，保证了设备的正常运行。

附图说明：

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的局部剖视结构示意图。

图3为制冷器的立体结构示意图。

图4为固定装置的立体结构示意图。

图5为转接管的立体结构示意图。

图6为密封盖、套管、限流板的立体结构示意图。

图7为旋钮、转轴、扇形板的立体结构示意图。

图8为弧形挡板的立体结构示意图。

图中，1、泵体；2、转接管；3、制冷器；4、连接管；5、导气孔；6、分隔板；7、左腔室；8、右腔室；9、固定套管；10、卡槽；11、弧形法兰盘；12、锁紧螺母；13、第一密封垫圈；14、套管；15、密封盖；16、限流板；17、限流孔；18、转轴；19、旋钮；20、扇形板；21、凹槽；22、第二密封垫圈；23、定位块；24、弧形挡板；25、连接板。

具体实施方式：

为能清楚说明本方案的技术特点，下面通过具体实施方式，并结合其附图，对本实用新型进行详细阐述。

如图1-8中所示，一种便于调温的低温泵，包括泵体1，泵体1上端竖直设有与其相连通的转接管2，在转接管2左右两侧分别对称设有制冷器3，两制冷器3为一组，在转接管2上沿其长度方向至少设有一组制冷器3，每组制冷器3均通过固定装置与转接管2相连，在与各制冷器3连接管4相连位置的转接管2侧壁上均设有导气孔5，一竖直设置在转接管2内的分隔板6将转接管2分隔为左腔室7与右腔室8，左腔室7与左侧制冷器3连接管4相连通，右腔室8与右侧制冷器3连接管4相连通，在转接管2上设有调节装置，用于打开或关闭转接管2与泵体1相连通位置的开口。

优选的，所述固定装置包括套设在转接管2上的固定套管9，固定套管9通过底部的连接板25固连在转接管2外侧壁上，在对应转接管2导气孔5位置的固定套管9两侧均对称设有卡槽10，各制冷器3均通过设置在连接管2端部的弧形法兰盘11，卡接在固定套管9与转接管2之间，其连接管2卡入对应一侧的卡槽10内，连接管4与导气孔5同轴心设置，在卡槽10两侧的固定套管9上对称设有锁紧螺母12，用于卡紧弧形法兰盘11与转接管2。

优选的，在转接管2与固定套管9之间卡设弧形挡板24，在卡槽10两侧的固定套管9上对称设有锁紧螺母12，用于卡紧弧形挡板24与转接管2。

优选的，在弧形法兰盘11与转接管2之间设有第一密封垫圈13。用于提高本装置整体的密封性。

优选的，所述调节装置包括竖直穿过分隔板6中央的套管14，在套管14顶部固连密封盖15，密封盖15紧密卡接在转接管2的顶部，在套管14底部固连限流板16，在限流板16两侧对称设有限流孔17，一竖直设置的转轴18竖直分别穿过密封盖15、套管14与限流板16，其顶部固连抵接在密封盖15上的旋钮19，其底部固连扇形板20，所述扇形板20用于打开或关闭限流板16一侧的限流孔17。

优选的，在密封盖15上设有卡接旋钮19的凹槽21，旋钮19底部紧贴凹槽21底部。当旋钮19转动时，其限位的作用，使其更好的严转轴18方向转动。

优选的，在密封盖15与转接管2之间设有第二密封垫圈22。用于提高本装置整体的密封性。

优选的，在转接管2顶部一侧设有定位块23，在密封盖15侧壁上分别设有“on”与“off”标记。便于操作人员通过转动密封盖15，来判断“on”或者“off”与定位块23是否正对，以便判断制冷器3与泵体1是否连通。

优选的，在旋钮19表面设有箭头标记，在密封盖表面分别设有“leftoff”、“right”与“on”标记。当维修左侧制冷器3时，通过转动旋钮19，使箭头标记正对密封盖的“leftoff”标记，从而使扇形板20闭合在限流板16左侧的限流孔17上，使整个左腔室7处于封闭状态，此时，将制冷器3抽出进行更换，在不影响正常工作的同时，进行维修工作。

优选的，所述制冷器3为两组。

工作原理：

当需要调整温度时，可以根据该应用领域选择适当的温度，并安装相应个数的制冷器3。譬如，需要安装2个制冷器3时，可以将制冷器3的连接管4卡入固定套管9的卡槽10内，并使其前端的弧形法兰盘11卡入转接管2与固定套管9之间，最后用锁紧螺母12固定，使弧形法兰盘11牢固的固定在转接管2侧壁上。当需要安装3个制冷器3时，按上述步骤将制冷器3安装在转接管2上，此时，另一侧转接管2上的导气孔5处于开放状态，通过将弧形挡板24卡入转接管2与固定套管9之间，最后用锁紧螺母12固定，使该侧转接管2侧壁密封，防止漏气。通常制冷器3均为成组排列在转接管2上，根据所处应用领域的需要，调整制冷器3的个数，实现对温度的调节作用，适用性较强。

当定期维修保养时，可以选择是否关闭，如果需要停止设备工作，可以通过旋转密封盖15，使其侧壁上的“off”标记，正对转接管2上的定位块23。此时，密封盖15转动带动套管14、限流板16转动，从而使限流板16上的限流孔17与转接管2内的左腔室7、右腔室8错开，最终使限流板16挡住左腔室7、右腔室8底部的开口，从而达到关闭的作用。当需要不影响装置继续工作时，可以通过旋转密封盖15，使其侧壁上的“on”标记，正对转接管2上的定位块23，此时，装置处于正常工作状态，当需要更换或者维修左侧的制冷器3时，可以通过旋转旋钮19，使旋钮19上的箭头标记对准密封盖15上的“leftoff”标记，此时，旋钮19带动转轴18以及扇形板20转动，从而挡住限流板16左侧的限流孔17，进而使转接管2的左腔室7处于封闭状态，然后，通过松动锁紧螺母12，将需要更换或者维修的制冷器3拆卸，再重新安装新的制冷器3即可，无需关闭低温泵，即可对制冷器3进行更换，提高了工作效率，保证了设备的正常运行。

上述具体实施方式不能作为对本实用新型保护范围的限制，对于本技术领域的技术人员来说，对本实用新型实施方式所做出的任何替代改进或变换均落在本实用新型的保护范围内。

本实用新型未详述之处，均为本技术领域技术人员的公知技术。