技术编号：24393186
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域：本实用新型涉及低温泵技术领域，尤其是一种低温泵用冷凝吸附装置。背景技术：低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法，因此，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。低温泵通常由法兰、挡板、防辐射屏、冷伞、冷头和制冷机等部件组成，传统的冷伞为多层冷伞片组合而成，当低温泵在工作时，氮气、氧气、氩气等气体，进入低温泵内部，到达冷伞，在其表面被低温冷凝。但...
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