一种低温泵用冷凝吸附装置的制作方法

技术领域：

本实用新型涉及低温泵技术领域，尤其是一种低温泵用冷凝吸附装置。

背景技术：
：

低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，是获得洁净真空的一种有效、快捷的方法，因此，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

低温泵通常由法兰、挡板、防辐射屏、冷伞、冷头和制冷机等部件组成，传统的冷伞为多层冷伞片组合而成，当低温泵在工作时，氮气、氧气、氩气等气体，进入低温泵内部，到达冷伞，在其表面被低温冷凝。但是这种冷伞，气体分子很难到达冷伞内部，因此冷伞表面冷凝的气体量受限。当冷伞表面冷凝的气体不断累积，低温泵对这些气体的抽气速度不断下降，而空间内的压力则不断上升。最终低温泵就会达到一个饱和状态，抽气效果达不到要求。因此，需要对低温泵进行再生，以恢复其原始抽气性能。再生就是通过各种升温手段，使低温泵内部冷凝或吸附的气体，排出泵外。低温泵的再生过程可能需要耗费多个小时，频繁的再生制约了低温泵的应用，需要增大低温泵的抽气容量。

如专利公开号为“cn208380781u”的实用新型专利，虽然可以解决快速再生的作用，但是这种类型的冷伞，稳定性较弱，气流高速进入后低温泵内，会不断冲击冷伞片，影响冷伞片的使用寿命；另外，低温泵容量有限，供气体与冷伞片反应的时间短，反应不充分，时间一长，势必影响抽气效果，无法长时间使用。

技术实现要素：
：

本实用新型提供了一种低温泵用冷凝吸附装置，它结构设计合理，可长时间使用，使气体与冷伞片充分反应，提高整体的抽气效果，稳定性更高，防止气体冲击冷伞片造成的损伤，提高低温泵的使用寿命，解决了现有技术中存在的问题。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种低温泵用冷凝吸附装置，包括固定套设在低温泵冷头上的导热套筒，在导热套筒外侧依次套设内壳体、中壳体与外壳体，所述内壳体、中壳体与外壳体同轴心设置，导热套筒顶部卡接在中壳体内壁顶部中央，在导热套筒底部外侧壁上套设导热板，在导热板表面沿其圆周均匀设有若干个导气孔，导热板与内壳体底部内侧壁螺纹相连，所述外壳体底部与内壳体底部设有连接板，在外壳体与中壳体之间设有若干个一级冷伞片，在中壳体与内壳体之间设有若干个二级冷伞片，在内壳体与导热套筒之间设有若干个三级冷伞片。

优选的，所述各一级冷伞片均固连在外壳体内侧壁与中壳体外侧壁上，且各一级冷伞片倾斜设置，呈旋涡状。

优选的，所述各二级冷伞片成排设置，分别沿中壳体内侧壁高度方向设置，且每排的各二级冷伞片分别沿中壳体圆周方向均匀设置，各二级冷伞片均固连在中壳体内侧壁与内壳体外侧壁上。

优选的，所述各排二级冷伞片交错设置。

优选的，所述三级冷伞片均竖直设置，且各三级冷伞片均固连在内壳体内侧壁与导热套筒外侧壁上。

优选的，在连接板与外壳体、中壳体相连之处设有倒角，在与导热套筒相连的中壳体内壁上设有环状凸缘。

优选的，所述导热套筒螺纹连接在中壳体内壁的环状凸缘上。

本实用新型采用上述结构，具有结构设计合理，可长时间使用，使气体与冷伞片充分反应，提高整体的抽气效果，稳定性更高，防止气体冲击冷伞片造成的损伤，提高低温泵的使用寿命。

附图说明：

图1为本实用新型的侧视结构示意图。

图2为图1中a-a向剖视结构示意图。

图3为图2中b-b向剖视结构示意图。

图4为本实用新型的立体结构示意图。

图中，1、导热套筒；2、内壳体；3、中壳体；4、外壳体；5、导热板；6、导气孔；7、连接板；8、一级冷伞片；9、二级冷伞片；10、三级冷伞片；11、环状凸缘。

具体实施方式：

为能清楚说明本方案的技术特点，下面通过具体实施方式，并结合其附图，对本实用新型进行详细阐述。

如图1-4中所示，一种低温泵用冷凝吸附装置，包括固定套设在低温泵冷头上的导热套筒1，在导热套筒1外侧依次套设内壳体2、中壳体3与外壳体4，所述内壳体2、中壳体3与外壳体4同轴心设置，导热套筒1顶部卡接在中壳体3内壁顶部中央，在导热套筒1底部外侧壁上套设导热板5，在导热板5表面沿其圆周均匀设有若干个导气孔6，导热板6与内壳体2底部内侧壁螺纹相连，所述外壳体4底部与内壳体2底部设有连接板7，在外壳体4与中壳体3之间设有若干个一级冷伞片8，在中壳体3与内壳体2之间设有若干个二级冷伞片9，在内壳体2与导热套筒1之间设有若干个三级冷伞片10。

优选的，所述各一级冷伞片8均固连在外壳体4内侧壁与中壳体2外侧壁上，且各一级冷伞片8倾斜设置，呈旋涡状。有利于将气流吸进，使进入的气流流速更均匀，从而使受力更均匀，提高装置的稳定性。

优选的，所述各二级冷伞片9成排设置，分别沿中壳体3内侧壁高度方向设置，且每排的各二级冷伞片9分别沿中壳体3圆周方向均匀设置，各二级冷伞片9均固连在中壳体3内侧壁与内壳体2外侧壁上。使气流与更多的二级冷伞片9接触，提高冷伞片的使用时间。

优选的，所述各排二级冷伞片9交错设置。

优选的，所述三级冷伞片10均竖直设置，且各三级冷伞片10均固连在内壳体2内侧壁与导热套筒1外侧壁上。

优选的，在连接板7与外壳体4、中壳体3相连之处设有倒角，在与导热套筒1相连的中壳体3内壁上设有环状凸缘11。提高装置的稳定性，使中壳体3牢固的与导热套筒1相连。

优选的，所述导热套筒1螺纹连接在中壳体3内壁的环状凸缘11上。

本装置在使用时，气体从低温泵的挡板、防辐射屏高速进入，并迅速与本装置接触，气体首先经过一级冷伞片8，进行第一阶段的反应，将气流流速进行调整，使其更均匀。由于一级冷伞片8倾斜设置，增大了气体与一级冷伞片8的反应时间，并且呈旋涡状设置，有利于将气体迅速吸入到二级冷伞片9上，没有反应的气体与各二级冷伞片9进行第二阶段的反应，气体从各二级冷伞片9所形成的空隙进入到三级冷伞片10，进行第三阶段的反应，经过三个阶段的反应，气体从导热板5的各个导气孔6向外排出，形成冷气。由于气体与一级冷伞片8、二级冷伞片9与三级冷伞片10的多次反应，增多了冷伞片的路程，从而可长时间使用，使气体与冷伞片充分反应，提高整体的抽气效果，稳定性更高，防止气体冲击冷伞片造成的损伤，提高低温泵的使用寿命，解决了现有技术中存在的问题。

上述具体实施方式不能作为对本实用新型保护范围的限制，对于本技术领域的技术人员来说，对本实用新型实施方式所做出的任何替代改进或变换均落在本实用新型的保护范围内。

本实用新型未详述之处，均为本技术领域技术人员的公知技术。

技术特征：

1.一种低温泵用冷凝吸附装置，其特征在于：包括固定套设在低温泵冷头上的导热套筒，在导热套筒外侧依次套设内壳体、中壳体与外壳体，所述内壳体、中壳体与外壳体同轴心设置，导热套筒顶部卡接在中壳体内壁顶部中央，在导热套筒底部外侧壁上套设导热板，在导热板表面沿其圆周均匀设有若干个导气孔，导热板与内壳体底部内侧壁螺纹相连，所述外壳体底部与内壳体底部设有连接板，在外壳体与中壳体之间设有若干个一级冷伞片，在中壳体与内壳体之间设有若干个二级冷伞片，在内壳体与导热套筒之间设有若干个三级冷伞片。

2.根据权利要求1所述的一种低温泵用冷凝吸附装置，其特征在于：所述各一级冷伞片均固连在外壳体内侧壁与中壳体外侧壁上，且各一级冷伞片倾斜设置，呈旋涡状。

3.根据权利要求1所述的一种低温泵用冷凝吸附装置，其特征在于：所述各二级冷伞片成排设置，分别沿中壳体内侧壁高度方向设置，且每排的各二级冷伞片分别沿中壳体圆周方向均匀设置，各二级冷伞片均固连在中壳体内侧壁与内壳体外侧壁上。

4.根据权利要求3所述的一种低温泵用冷凝吸附装置，其特征在于：所述各排二级冷伞片交错设置。

5.根据权利要求1所述的一种低温泵用冷凝吸附装置，其特征在于：所述三级冷伞片均竖直设置，且各三级冷伞片均固连在内壳体内侧壁与导热套筒外侧壁上。

6.根据权利要求1、2、3或5所述的一种低温泵用冷凝吸附装置，其特征在于：在连接板与外壳体、中壳体相连之处设有倒角，在与导热套筒相连的中壳体内壁上设有环状凸缘。

7.根据权利要求5所述的一种低温泵用冷凝吸附装置，其特征在于：所述导热套筒螺纹连接在中壳体内壁的环状凸缘上。

技术总结
本实用新型涉及低温泵技术领域，尤其是一种低温泵用冷凝吸附装置。它包括固定套设在低温泵冷头上的导热套筒，在导热套筒外侧依次套设内壳体、中壳体与外壳体，所述内壳体、中壳体与外壳体同轴心设置，导热套筒顶部卡接在中壳体内壁顶部中央，在导热套筒底部外侧壁上套设导热板，在导热板表面沿其圆周均匀设有若干个导气孔，导热板与内壳体底部内侧壁螺纹相连，所述外壳体底部与内壳体底部设有连接板。它结构设计合理，可长时间使用，使气体与冷伞片充分反应，提高整体的抽气效果，稳定性更高，防止气体冲击冷伞片造成的损伤，提高低温泵的使用寿命，解决了现有技术中存在的问题。

技术研发人员：陈继帅;田涛;张永亮;郑田青
受保护的技术使用者：高拓石油天然气技术(上海)有限责任公司
技术研发日：2020.06.28
技术公布日：2021.03.23