一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置的制作方法技术资料下载

技术编号:24397794

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.本发明涉及真空镀膜技术领域,更具体地说,涉及一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置。背景技术.物理蒸发镀(pvd)是指在真空条件下加热被镀金属,使之以气态的方式沉积到基材上形成镀膜的工艺技术。根据加热方式的不同又分为电加热(电阻或感应式)和电子束枪加热(ebpvd)等。真空镀膜作为表面改性和镀膜工艺,已经在电子、玻璃、塑料等行业得到了广泛的应用,真空镀膜技术主要优点在于其环保、良好的镀膜性能和可镀物质的多样性。连续带钢运用真空镀膜技术的关键在于镀膜生产连续化、大面积、高速率、大规模生产等几...
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