技术编号：2447782
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本文公开的是一种大尺寸基底粘合装置，其被配置为使得当大尺寸基底被粘合到另一个大尺寸基底时，防止在基底之间形成气泡，并且树脂能够均匀地施加到大尺寸基底之间的整个表面，甚至包括基底的最外边缘。大尺寸基底粘合装置包括上基底吸取单元，其利用吸力以上基底的下表面维持鼓出的方式保持上基底；旋转驱动单元，其旋转上基底吸取单元；竖直驱动单元，其使上基底吸取单元和旋转驱动单元向上或向下移动；下基底吸取单元，其利用吸力以保持下基底为平坦形式；和水平移动单元，其使下基底吸取单元...
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