技术编号:24677619
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及单晶硅棒制作领域,具体涉及波能抑制管。背景技术.在工艺生产过程中,能量供给采用微波能作为能源动力,该种动力提供虽具有高效、清洁等诸多特点,但在连续提供动力过程中由于波能传输过程的特殊性,腔体内部会有部分波能沿着抽空管线逃逸,由于波能逃逸的存在会出现波能浪费、对设备的损伤及对管线附带信号检测测头的干扰等不利因素,采用微波波能抑制管可有效将波能阻滞在腔体内部。.现有常规微波单晶生长工艺主要是通过减小抽气管线通径口径以达到波能抑制的目的,但现有措施极易导致管线进气端形成高温挥发物...
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