技术编号:24687342
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种cmp设备用便于维护的压力传感器技术领域.本实用新型涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种cmp设备用便于维护的压力传感器。背景技术.压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成,按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。.压力传感器上通常设有显示屏,可以便于工作人员对数据的观察,但是现有的传感器上的显示屏不具备有良好的防护措施,传感器上面的显示屏容易被落灰,而...
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