一种CMP设备用便于维护的压力传感器的制作方法

一种cmp设备用便于维护的压力传感器
技术领域
1.本实用新型涉及压力传感器技术领域，尤其涉及一种cmp设备用便于维护的压力传感器。


背景技术：

2.压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置，压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成，按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。
3.压力传感器上通常设有显示屏，可以便于工作人员对数据的观察，但是现有的传感器上的显示屏不具备有良好的防护措施，传感器上面的显示屏容易被落灰，而且传感器上的显示屏在长期使用后容易造成显示屏被刮花的情况，不便于工作人员对数据的读取。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种cmp设备用便于维护的压力传感器。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种cmp设备用便于维护的压力传感器，包括器体和覆盖装置，所述器体的表面固定连接有显示屏，所述器体的表面固定连接有皮线，所述器体的表面设有覆盖装置，所述覆盖装置包括有两个方形板，两个方形板与器体固定连接，两个方形板之间固定连接有固定梢，所述固定梢的表面滑动连接有盖板，所述固定梢的表面套有第一弹簧，所述第一弹簧的一端与方形板固定连接，所述第一弹簧的另一端与盖板固定连接，所述器体的表面固定连接有l形板，所述l形板的表面转动连接有转轴，所述转轴的表面固定连接有齿轮，所述盖板的表面固定连接有齿板，所述齿板与齿轮相啮合。
6.优选的，所述器体远离l形板的一侧固定连接有限位板，所述限位板的表面开设有卡槽，所述盖板与l形板相对的一侧固定连接有两个伸缩杆，两个所述伸缩杆靠近器体的一端固定连接有卡板。
7.优选的，所述伸缩杆的表面套有第二弹簧，所述第二弹簧的一端与卡板固定连接，所述第二弹簧的另一端与盖板固定连接，所述卡板靠近器体的一侧固定连接有卡块，卡块的大小与卡槽的大小相适配，卡块的表面开设有矩形槽，矩形槽的内壁转动连接有滚筒，所述滚筒与限位板滚动连接。
8.优选的，所述卡板远离滚筒的一侧固定连接有拉绳，所述卡板借助拉绳与盖板滑动连接。
9.优选的，所述器体的表面设有防护装置，所述防护装置包括有螺纹筒，所述螺纹筒与器体固定连接，所述螺纹筒的表面螺纹连接有螺环，所述螺环远离器体的表面固定连接有四个连接杆，四个所述连接杆远离器体的一端固定连接有套环。
10.优选的，所述套环的内壁均匀固定连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的另一端固定
连接有凹槽板，所述皮线与两个凹槽板滑动连接。
11.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
12.1、本实用新型中，通过设置覆盖装置，当需要对显示屏进行使用时，转动l形板上的转轴，转轴上的齿轮会跟随转轴进行转动，齿轮转动会将盖板上的齿板进行升起，从而达到将盖板进行升起露出显示屏的目的，在将盖板升起过程中伸缩杆上的齿板会跟随盖板的升起进行升起，卡板会受到第二弹簧的弹力在限位板上进行滑动，直至卡板滑动至限位板上卡槽的位置时，卡板受到第二弹簧的弹力将卡板上的卡块卡进卡槽中，从而达到将盖板进行固定的效果，其中卡块上转动的滚筒具有减小卡块与限位板之间的摩擦力，从而减小工作人员转动转轴时的力，当不使用传感器观察数据时，直接拉动拉绳，卡块会受到拉绳的拉力从卡槽内滑出，盖板会受到固定梢上的第一弹簧的拉力将盖板进行收回，从而达到将显示屏进行覆盖的效果，解决了现有的传感器上的显示屏不具备有良好的防护措施，传感器上面的显示屏容易被落灰，而且传感器上的显示屏在长期使用后容易造成显示屏被刮花的情况，不便于工作人员对数据的读取的问题。
13.2、本实用新型中，通过设置防护装置，当皮线与器体的连接处受到稍微的磨损时，即可转动螺纹筒上的螺环，螺环会推动套环进行移动，从而达到将稍有磨损的皮线防护在套环与螺纹筒之间的效果，其中伸缩弹簧具有弹动凹槽板使凹槽板将皮线进行卡住，当皮线受到外力作用下会先受到伸缩弹簧的弹力将皮线进行缓冲，从而进一步增加的皮线的防护效果，防护装置的设置解决了由于器体与皮线连接处较硬，当皮线受到外力作用下容易发生皮线与器体连接处外皮的磨损，从而减小了器体的寿命的问题。
附图说明
14.图1为本实用新型提出一种cmp设备用便于维护的压力传感器的立体结构示意图；
15.图2为本实用新型提出一种cmp设备用便于维护的压力传感器中图1的侧面结构示意图；
16.图3为本实用新型提出一种cmp设备用便于维护的压力传感器中图1的a处结构示意图；
17.图4为本实用新型提出一种cmp设备用便于维护的压力传感器中图2的b处结构示意图；
18.图5为本实用新型提出一种cmp设备用便于维护的压力传感器中图3的将卡板取出的结构示意图；
19.图6为本实用新型提出一种cmp设备用便于维护的压力传感器中图1的防护装置的结构示意图。
20.图例说明：1、器体；2、显示屏；3、皮线；4、覆盖装置；401、盖板；402、第一弹簧；403、固定梢；404、齿板；405、伸缩杆；406、拉绳；407、卡板；408、限位板；409、第二弹簧；410、滚筒；411、齿轮；412、转轴；413、l形板；5、防护装置；51、螺纹筒；52、螺环；53、连接杆；54、套环；55、伸缩弹簧；46、凹槽板。
具体实施方式
21.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实
施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
22.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
23.实施例1，如图1
‑
6所示，本实用新型提供了一种cmp设备用便于维护的压力传感器，包括器体1和覆盖装置4，器体1的表面固定连接有显示屏2，器体1的表面固定连接有皮线3，器体1的表面设有覆盖装置4，器体1的表面设有防护装置5。
24.下面具体说一下其覆盖装置4和防护装置5的具体设置和作用。
25.如图1和图5所示，覆盖装置4包括有两个方形板，两个方形板与器体1固定连接，两个方形板之间固定连接有固定梢403，固定梢403的表面滑动连接有盖板401，固定梢403的表面套有第一弹簧402，第一弹簧402的一端与方形板固定连接，第一弹簧402的另一端与盖板401固定连接，器体1的表面固定连接有l形板413，l形板413的表面转动连接有转轴412，通过设置覆盖装置4，当需要对显示屏2进行使用时，转动l形板413上的转轴412，转轴412上的齿轮411会跟随转轴412进行转动，齿轮411转动会将盖板401上的齿板404进行升起，从而达到将盖板401进行升起露出显示屏2的目的，转轴412的表面固定连接有齿轮411，盖板401的表面固定连接有齿板404，齿板404与齿轮411相啮合，器体1远离l形板413的一侧固定连接有限位板408，限位板408的表面开设有卡槽，盖板401与l形板413相对的一侧固定连接有两个伸缩杆405，两个伸缩杆405靠近器体1的一端固定连接有卡板407，在盖板401升起过程中伸缩杆405上的齿板404会跟随盖板401的升起进行升起，卡板407会受到第二弹簧409的弹力在限位板408上进行滑动，直至卡板407滑动至限位板408上卡槽的位置时，卡板407受到第二弹簧409的弹力将卡板407上的卡块卡进卡槽中，从而达到将盖板401进行固定的效果，伸缩杆405的表面套有第二弹簧409，第二弹簧409的一端与卡板407固定连接，第二弹簧409的另一端与盖板401固定连接，卡板407靠近器体1的一侧固定连接有卡块，卡块的大小与卡槽的大小相适配，卡块的表面开设有矩形槽，矩形槽的内壁转动连接有滚筒410，其中卡块上转动的滚筒410具有减小卡块与限位板408之间的摩擦力，从而减小工作人员转动转轴412时的力，滚筒410与限位板408滚动连接，卡板407远离滚筒410的一侧固定连接有拉绳406，当不使用传感器观察数据时，直接拉动拉绳406，卡块会受到拉绳406的拉力从卡槽内滑出，盖板401会受到固定梢403上的第一弹簧402的拉力将盖板401进行收回，从而达到将显示屏2进行覆盖的效果，卡板407借助拉绳406与盖板401滑动连接。
26.其整个覆盖装置4达到的效果为，通过设置覆盖装置4，当需要对显示屏2进行使用时，转动l形板413上的转轴412，转轴412上的齿轮411会跟随转轴412进行转动，齿轮411转动会将盖板401上的齿板404进行升起，从而达到将盖板401进行升起露出显示屏2的目的，在盖板401升起过程中伸缩杆405上的齿板404会跟随盖板401的升起进行升起，卡板407会受到第二弹簧409的弹力在限位板408上进行滑动，直至卡板407滑动至限位板408上卡槽的位置时，卡板407受到第二弹簧409的弹力将卡板407上的卡块卡进卡槽中，从而达到将盖板401进行固定的效果，其中卡块上转动的滚筒410具有减小卡块与限位板408之间的摩擦力，从而减小工作人员转动转轴412时的力，当不使用传感器观察数据时，直接拉动拉绳406，卡块会受到拉绳406的拉力从卡槽内滑出，盖板401会受到固定梢403上的第一弹簧402的拉力
将盖板401进行收回，从而达到将显示屏2进行覆盖的效果，解决了现有的传感器上的显示屏2不具备有良好的防护措施，传感器上面的显示屏2容易被落灰，而且传感器上的显示屏2在长期使用后容易造成显示屏2被刮花的情况，不便于工作人员对数据的读取的问题。
27.如图1和图6所示，防护装置5包括有螺纹筒51，螺纹筒51与器体1固定连接，螺纹筒51的表面螺纹连接有螺环52，通过设置防护装置5，当皮线3与器体1的连接处受到稍微的磨损时，即可转动螺纹筒51上的螺环52，螺环52会推动套环54进行移动，从而达到将稍有磨损的皮线3防护在套环54与螺纹筒51之间的效果，螺环52远离器体1的表面固定连接有四个连接杆53，四个连接杆53远离器体1的一端固定连接有套环54，套环54的内壁均匀固定连接有伸缩弹簧55，其中伸缩弹簧55具有弹动凹槽板46使凹槽板46将皮线3进行卡住，当皮线3受到外力作用下会先受到伸缩弹簧55的弹力将皮线3进行缓冲，从而进一步增加的皮线3的防护效果，伸缩弹簧55的另一端固定连接有凹槽板46，皮线3与两个凹槽板46滑动连接。
28.其整个的防护装置5达到的效果为，通过设置防护装置5，当皮线3与器体1的连接处受到稍微的磨损时，即可转动螺纹筒51上的螺环52，螺环52会推动套环54进行移动，从而达到将稍有磨损的皮线3防护在套环54与螺纹筒51之间的效果，其中伸缩弹簧55具有弹动凹槽板46使凹槽板46将皮线3进行卡住，当皮线3受到外力作用下会先受到伸缩弹簧55的弹力将皮线3进行缓冲，从而进一步增加的皮线3的防护效果，防护装置5的设置解决了由于器体1与皮线3连接处较硬，当皮线3受到外力作用下容易发生皮线3与器体1连接处外皮的磨损，从而减小了器体1的寿命的问题。
29.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。