一种CMP设备用便于维护的压力传感器的制作方法

文档序号:24687342发布日期:2021-04-13 22:58阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种cmp设备用便于维护的压力传感器,包括器体(1)和覆盖装置(4),其特征在于:所述器体(1)的表面固定连接有显示屏(2),所述器体(1)的表面固定连接有皮线(3),所述器体(1)的表面设有覆盖装置(4),所述覆盖装置(4)包括有两个方形板,两个方形板与器体(1)固定连接,两个方形板之间固定连接有固定梢(403),所述固定梢(403)的表面滑动连接有盖板(401),所述固定梢(403)的表面套有第一弹簧(402),所述第一弹簧(402)的一端与方形板固定连接,所述第一弹簧(402)的另一端与盖板(401)固定连接,所述器体(1)的表面固定连接有l形板(413),所述l形板(413)的表面转动连接有转轴(412),所述转轴(412)的表面固定连接有齿轮(411),所述盖板(401)的表面固定连接有齿板(404),所述齿板(404)与齿轮(411)相啮合。2.根据权利要求1所述的一种cmp设备用便于维护的压力传感器,其特征在于:所述器体(1)远离l形板(413)的一侧固定连接有限位板(408),所述限位板(408)的表面开设有卡槽,所述盖板(401)与l形板(413)相对的一侧固定连接有两个伸缩杆(405),两个所述伸缩杆(405)靠近器体(1)的一端固定连接有卡板(407)。3.根据权利要求2所述的一种cmp设备用便于维护的压力传感器,其特征在于:所述伸缩杆(405)的表面套有第二弹簧(409),所述第二弹簧(409)的一端与卡板(407)固定连接,所述第二弹簧(409)的另一端与盖板(401)固定连接,所述卡板(407)靠近器体(1)的一侧固定连接有卡块,卡块的大小与卡槽的大小相适配,卡块的表面开设有矩形槽,矩形槽的内壁转动连接有滚筒(410),所述滚筒(410)与限位板(408)滚动连接。4.根据权利要求2所述的一种cmp设备用便于维护的压力传感器,其特征在于:所述卡板(407)远离滚筒(410)的一侧固定连接有拉绳(406),所述卡板(407)借助拉绳(406)与盖板(401)滑动连接。5.根据权利要求1所述的一种cmp设备用便于维护的压力传感器,其特征在于:所述器体(1)的表面设有防护装置(5),所述防护装置(5)包括有螺纹筒(51),所述螺纹筒(51)与器体(1)固定连接,所述螺纹筒(51)的表面螺纹连接有螺环(52),所述螺环(52)远离器体(1)的表面固定连接有四个连接杆(53),四个所述连接杆(53)远离器体(1)的一端固定连接有套环(54)。6.根据权利要求5所述的一种cmp设备用便于维护的压力传感器,其特征在于:所述套环(54)的内壁均匀固定连接有伸缩弹簧(55),所述伸缩弹簧(55)的另一端固定连接有凹槽板(46),所述皮线(3)与两个凹槽板(46)滑动连接。
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