技术编号：2470075
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2001年9月26日提出的临时专利申请60/325,254的权益，本文引用该申请的全文作为参考。背景技术1.发明领域本发明涉及组合物(尤其是抗反射涂料组合物或“ARC”)，它能降低从底材返回到外涂光刻胶层中的曝光射线的反射，和/或起表面流动控制层或中介填充层(via-fill)的作用。更具体地，本发明涉及有机涂料组合物，尤其是抗反射涂料组合物，它含有一种成分，如含有芳基二羧酸酯部分、尤其是亚萘基二羧酸酯基的树脂。另一方面，本发明涉及有机涂料组合...
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