带电磁波屏蔽膜的透明基材和其制造方法及制造装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2483376

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本发明涉及一种带电磁波屏蔽膜的透明基材和其制造方法及制造装置。本申请根据2006年4月10日向日本申请的专利申请2006-107548号主张优先权,在此引用其内容。背景技术近几年,对带电磁波屏蔽膜的透明基材的需求日益增长,开发有各种 各样的透明基材。例如,作为使用于以往CRT等显示器的带电磁波屏蔽膜的透明基材 有通过溅射法在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜等的透明基材上形成电 磁波屏蔽膜的透明基材。作为此电磁波屏蔽膜,例如,可以使用通过溅射 法制造的氧化铟...
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