光扫描装置和图像形成装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2483905

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本发明涉及一种光扫描装置和图像形成装置。技术背景在现有的光扫描装置中, 一般使用多面镜和检电镜(galvano mirror)作为扫描光束的偏向器,但是,为了获得具有更高解像度的 图像以及实现高速打印,必须使其进行更高速的旋转,这样就出现了 轴承的耐久性以及由风损而导致的发热、噪音等课题,另外,高速扫 描也存在着极限。对此,近年来正在进行一种利用硅微机械加工工艺(silicon micromachining)制作偏向器的研究,其中,有关振动镜的技术,例 如...
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