光扫描装置和图像形成装置的制作方法

专利名称：光扫描装置和图像形成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光扫描装置和图像形成装置。
技术背景在现有的光扫描装置中， 一般使用多面镜和检电镜(galvano mirror)作为扫描光束的偏向器，但是，为了获得具有更高解像度的 图像以及实现高速打印，必须使其进行更高速的旋转，这样就出现了 轴承的耐久性以及由风损而导致的发热、噪音等课题，另外，高速扫 描也存在着极限。对此，近年来正在进行一种利用硅微机械加工工艺(silicon micromachining)制作偏向器的研究，其中，有关振动镜的技术，例 如，如日本发明专利公告"特许第2924200号公报"和"特许第301114 号公报"所公开的那样，提出了一种在Si基板上一体地形成振动镜和 对其进行轴支撑的扭转梁的方法。通过使用振动镜来代替多面镜，可以降低噪音和减小电能消耗， 提供一种适于办公室环境的图像形成装置。另外，由于减小了振动， 框体可以薄型化，这样就可以实现轻量化和低成本化。另外，由上述方法可知，因为将多个振动镜配置在Si晶圆上，并 以批处理的方式同时加工多个晶圆，所以具有生产效率高的优点。例 如，日本发明专利公开"特开2005 — 031238号公报"和"特开2006 — 178408号公报"等都公开了这种振动镜的形状和生产实例。通过使用振动镜来代替多面镜，可以降低噪音和减小电能消耗， 提供一种适于办公室环境的图像形成装置。另外，由于振动被减小，框体可以被薄型化，这样就可以实现轻量化和低成本化。但是，由于振动镜的厚度薄至数百^m，所以往复振动时旋转角度 的变化以及作用在振动镜上的惯性力会导致在旋转轴附近以及振动镜端部产生反向作用力，因此，如图17所示，振动镜的镜面会发生波状 的弯曲变形(图17表示现有光扫描装置的振动镜的镜面变形和主扫描 方向上的光束的示意图)。这样，镜面所反射的光束的波面收差就会 发生恶化，进而导致束团截面(beam profile)的崩溃，产生旁瓣(side lobe)等。入射至振动镜的光束如果在主扫描方向上产生如虚线所示的 偏移，就会向屈光度较大的部分靠近，因此，所呈现的曲率会因照射 至镜面的光束的照射直径的大小和照射位置的不同而不同，这样，光 束点的成像位置就会产生偏差，S卩产生所谓的焦点不准。另外，如图18所示，入射至振动镜的光束如果在副扫描方向上产 生如虚线所示的偏移，为了不产生光束欠缺的现象，就不能将振动镜 的副扫描方向的宽度d设至一定的宽度以下，这样，振动镜的体积就会 增加，并导致制造成本增高(图18表示现有的光扫描装置的振动镜的 镜面变形和副扫描方向上的光束的示意图)。另外，作用于振动镜上 的惯性力、以及、由于体积增加而引起的用于保证其强度的结构上的 限制就会导致振动镜振动时的波动变大、光学性能降低。另外，如图19所示，由于照射至振动镜的光束的入射角随从开始 侧的摆角-0 01向结束侧的摆角+ 0 d的转动而变大，所以即使光束直径 不变，在与旋转轴垂直方向(主扫描方向)上的振动镜上的照射直径 也与摆角一起变大(图19表示现有光扫描装置的振动镜的摆角以及镜 面形状之间的关系的示意图)。此时，由于镜面的变形不一定是相对于旋转轴对称的形状，所以 如虚线所示，会残留下用来表示平均屈光度的曲率成分(R成分)，另 外，越靠近容易受惯性力影响的振动镜的端部，其变形越大，因此，呈现的曲率会因照射至镜面的光束的照射直径的大小和照射位置的不 同而不同，这样，光束点的成像位置就会产生偏差，S卩产生所谓的 焦点不准。因此，在感光体表面上，光束点的直径沿主扫描方向变得不均匀， 进而导致出现斑点和解像度不良等现象，使图像质量显著恶化。为了减小上述变形，可通过提高振动镜基板的弯曲刚度来实现， 也就是说，可以通过增加振动镜基板的厚度来实现。但是，振动镜基 板加厚的那部分又会导致质量增加，通过以相同的扫描频率进行扫描 加以比较可知，由于出现了摆角变小的问题，所以也不能单纯地增加 振动镜基板的厚度。为了解决上述技术问题，即镜面发生波状的弯曲变形时会导致镜面所反射的光束的波面收差发生恶化、束团截面(beajn profile)崩 溃、产生旁瓣(side lobe)等问题，以及，由于镜面的变形不是相对于 旋转轴对称的形状，所以，所呈现的曲率会因照射镜面的光束的照射 直径的大小和照射位置的不同而不同，这样，光束点的成像位置就会 产生偏差，BP:产生所谓的焦点不准的问题，本发明人提出了一种简 单而且具有较低成本的结构，并且还能使振动镜本身的成本降低。另外，需要说明的是，在上述与振动镜相关的现有技术的基础上， 作为用来设置构成光扫描装置的元件的现有技术，例如，日本发明专 利公开"特开2005 — 201941号公报"和"特开2002 — 258186号公报" 中分别公开了调整光偏向器的倾斜的实例以及采用粘接方式进行准直 透镜的三维方向调整的实例。另外，关于光束在副扫描横截面上斜着入射至偏向器的彩色图像 形成装置的现有技术可参考日本发明专利公开"特开2005 — 31357号公 报"所述的光扫描装置以及图像形成装置、"特开2003 — 3076793号公 报"所述的激光扫描装置、"特开平8—136839号公报"所述的光扫描装置等。另外，关于光学框体的分割方法的现有技术可参考日本发明专利公开"特开2005 — 266315号公报"所述的光学元件支撑部件、光扫描 装置以及图像形成装置、"特开2002 — 116400号公报"所述的光扫描 光学单元等。另外，日本发明专利公开"特开平5 — 127112号公报"还公开一种 图像记录装置的现有技术。另外，近年来，伴随着彩色图像形成装置的普及，如日本发明专 利公告"特许第2725067号公报"所公开的那样，将扫描光射入以四连 串列方式配置为代表的多个感光体的装置已经被提出并被商品化。串 列方式的图像形成装置内所使用的彩色光扫描装置需要将多个扫描光 准确地射出至各感光体的预定位置，但是，在这样的彩色光扫描装置 中，不仅可以通过使用振动镜来代替多面镜的方式实现低成本化，另 外，还具有由发热而引起的扫描线偏移较小以及恶化较少的优点。发明内容本发明的第一目的在于，提供一种具有更稳定的光学性能的光扫 描装置。本发明的第二目的在于，提供一种包含所述具有更稳定的光学性 能的光扫描装置的图像形成装置。本发明的第三目的在于，提供一种能够以更简单的方式调整光束 对振动镜照射的光扫描装置。本发明的第四目的在于，提供一种包含能够以更简单的方式调整 光束对振动镜照射的光扫描装置的图像形成装置。为了实现上述目的，本发明的第一方面提供一种光扫描装置，其 将光源所发出的光束照射至具有扭转梁的振动镜上，通过以该扭转梁为轴使该振动镜移动，该光束对目标对象进行光扫，其特征在于，包 含第一调整单元，该第一调整单元用于调整该振动镜相对于该光束的 配置。所述第一调整单元具有移动单元，该移动单元至少在利用所述光 束对所述目标对象进行扫描的方向上相对于所述光束移动所述振动 镜0所述第一调整单元具有移动单元，该移动单元至少在与利用所述 光束对所述目标对象进行扫描的方向以及所述光束的前进方向垂直的 方向上相对于所述光束移动所述振动镜。所述第一调整单元还具有第二调整单元，所述第二调整单元用于 调整所述振动镜相对于所述光束的镜面角度。所述第一调整单元包含涂敷的黏着剂，该黏着剂用于调整所述振 动镜相对于所述光束的设置。所述的光扫描装置包含框体，所述黏着剂包含光硬化性黏着剂， 所述第一调整单元包含光透过性部件，该光透过性部件在支撑或固定 所述振动镜的同时被所述光硬化性黏着剂固定在所述框体上。所述的光扫描装置包含框体，所述光源在利用所述光束对所述目 标对象进行扫描的方向、以及、与利用所述光束对所述目标对象进行 扫描的方向和所述光束的前进方向垂直的方向上被固定在所述框体 上。所述的光扫描装置包含至少一个透镜，其将设置在框体上的所述 光源发出的光束照射在所述振动镜上，所述至少一个透镜在利用所述 光束对所述目标对象进行扫描的方向、以及、与利用所述光束对所述 目标对象进行扫描的方向和所述光束的前进方向垂直的方向上被固定 在所述框体上。所述第一调整单元还具有第三调整单元，所述第三调整单元在使所述振动镜以所述扭转梁为轴振动时也能调整所述振动镜相对于所述 光束的设置。为了实现上述目的，本发明的第二方面提供一种图像形成装置， 其在目标对象上形成图像，其特征在于，包含本发明第一方面所述的 光扫描装置。所述图像形成装置是串列式彩色图像形成装置。为了实现上述目的，本发明的第三方面提供一种光扫描装置，其 将光源所发出的光束经由透镜照射至振动镜，通过使该振动镜移动， 该光束对目标对象进行扫描，其特征在于，包含第一调整单元，该调 整单元用于调整该透镜相对于该光源的配置。所述光束与利用所述光束对所述目标对象进行扫描的方向以及所 述光束的前进方向垂直方向倾斜地射入所述振动镜。所述的光扫描装置包含框体，所述框体具有承载单元和第二调整 单元，该承载单元用于承载所述光源和所述透镜，该第二调整单元用 于调整该承载单元相对于所述框体的设置。所述承载单元包含所述振动镜。所述的光扫描装置包含第三调整单元，其用于调整所述振动镜的 偏心。所述的光扫描装置还包含变形光学元件，其设置在所述振动镜 和所述透镜之间，并且至少在与利用所述光束对所述目标对象进行扫 描的方向以及所述光束的前进方向垂直的方向上具有屈光度；第四调整单元，其用来调整上述变形光学元件的偏心。 所述光源是多个光源。 所述光源是多光束光源。为了实现上述目的，本发明的第四方面提供一种图像形成装置， 其在目标对象上形成图像，其特征在于，包含本发明第三方面所述的光扫描装置。所述图像形成装置是串列式彩色图像形成装置。根据本发明的第一方面，本发明可以提供一种具有更安定的光学 性能的光扫描装置。根据本发明的第二方面，本发明可以提供一种包含本发明第二方 面所述的、具有更安定的光学性能的光扫描装置的图像形成装置。根据本发明的第三方面，本发明可以提供一种能够以更简单的方 式调整光束对振动镜的照射的光扫描装置。根据本发明的第四方面，本发明可以提供一种包含本发明第三方 面所述的、能够以更简单的方式调整光束对振动镜的照射的光扫描装 置的图像形成装置。


图l表示本发明的实施例的光扫描装置的示意图。图2表示光扫描装置的光源部的立体图。图3表示振动镜镜面的入射光的入射角以及振动镜的摆角的条件 的示意图。图4表示对由于振动镜镜面的变形而生成的光束成像位置的变化 进行补正的说明图。图5表示光扫描装置的振动镜模块的分解立体图。 图6表示应用于振动模块中的振动镜基板的平面图。 图7表示应用于振动模块中的振动镜基板的分解立体图。 图8表示光扫描装置框体的一部分构成的示意图。 图9表示光扫描装置框体的全体构成的示意图。 图10表示将振动模块安装至框体上的方式的第一实施例的说明图。图ll表示将振动模块安装至框体上的方式的第二实施例的说明图。图12表示将振动模块安装至框体上的方式的第三实施例的说明图。图13表示将振动模块安装至框体上的方式的第四实施例的说明图。图14表示在第一至第四实施例中于框体上形成的光源部的立体图。图15表示在第一至第四实施例中于框体上形成的光源部的中央截 面图。图16表示安装了本发明实施例的光扫描装置的图像形成装置的实 施例的示意图。图17表示现有的光扫描装置的振动镜镜面的变形以及主扫描方向 上的光束的示意图。图18表示现有的光扫描装置的振动镜镜面的变形以及副扫描方向 上的光束的示意图。图19表示现有的光扫描装置的振动镜镜面的摆角以及镜面形状关 系的示意图。图20表示典型的斜入射光学系统的副扫描横截面的一个例子的示 意图。图21表示一个实施例的斜入射光学系统的一个例子的立体图。 图22表示一个实施例的光源单元的中央横截面的示意图。 图23表示2LD交叉方式的多光束光源单元的其他实施例的示意图。 图24表示从2LD交叉方式的多光束光源单元开始至扫描镜反射面 为止的主扫描横截面的示意图。图25表示从2LD交叉方式的多光束光源单元开始至扫描镜反射面为止的副扫描横截面的示意26表示实施例的光扫描模型的构成部件、光源部、振动镜模块的示意图。图27表示其他实施例的框体的副扫描方向横截面图。图28表示从上面观察其他实施例的光扫描模块时的示意图。图29表示实施例的半导体激光矩阵的示意图。图30表示其他实施例的光源部的主扫描方向的横截面图。图31表示其他实施例的光源部的立体图。具体实施方式

以下参考

本发明的实施方式。图l表示本发明的实施例的光扫描装置的示意图，具体讲，光扫描 装置采用的是使用一个振动镜对四个机台进行扫描的方式。如图所示，用于扫描各感光体鼓的光扫描装置是一体形成的，沿 转写体的移动方向105等间隔地排列了四个感光体鼓101、 102、 103、 104，与各感光体鼓对应的光源部发出的光束被振动镜改变方向后，被 再次分离和导弓I至各感光体鼓，并在各感光体鼓上同时形成图像。通过使各光源部发出的光束沿副扫描方向以不同的入射角斜着射 入振动镜441，可以一次性地改变各光源部发出的光束的方向，并对这 些光束进行扫描。具有半导体激光发射器和耦合透镜的光源部107、 108被图中未表 示的框体所支撑并与其成为一体，用于两机台的光源排列在副扫描方 向上，通过使半导体激光发生器的发光点的位置稍微偏离副扫描方向， 各光源发出的光线与耦合透镜的光轴所成的角度被调整为2.5。角，并 在振动镜镜面106上与副扫描方向相交。在本实施例中，光源部107被调整为下侧光源发出的光线相对于主扫描平面向下倾斜1.25。角，上侧光源发出的光线与下侧光源发出的所述光线相交成2.5。角。另一方面，光源部108被调整为上侧光源发 出的光线向上倾斜1.25。角，下侧光源发出的光线与上侧光源发出的 所述光线相交成2.5。角。各光源部以不同的设置高度被设置在副扫描 方向上。在副扫描方向上，光源部107的下侧光源发出的光线与光源部 108的上侧光源发出的光线在振动镜镜面106上相交成2. 5°角。光源部108设置在沿副扫描方向上比光源部107低的位置，各光源 发出的光束204、 203、 202、 201被入射透镜111调整成上下一列，在副 扫描方向上以不同的高度、在主扫描方向上以与振动镜106的法线所成 的入射角均为22.5。角/2—Zla /2)的角度射入圆柱透镜113， 并且以扫描透镜或者f 0透镜12O的光轴、或者、以从扫描透镜或者f0 透镜120的光轴向光源侧倾斜ZJa角的轴为振幅中心被扫描。各光束在振动镜镜面附近被圆柱透镜113聚集在副扫描方向上，各光束改变方向后开始分离，相互间的间隔不断扩大，最后，射入扫描 透镜f0透镜120。扫描透镜或着f 0透镜120为各机台所共用，其在副扫描方向上没 有聚光功能。在各光源部所发出的穿过扫描透镜或者f 0透镜120的光束中，光 源单元108发出的下部分的光束204被反射镜126所反射，并经由环形透 镜122在感光体鼓101上点状成像，形成基于第一图像形成机台的黄色的图像信息的潜像。光源部108发出的上部分的光束203被反射镜127所反射，经由环形透镜123、反射镜128，在感光体鼓102上点状成像，形成基于第二图像 形成机台的品红色的图像信息的潜像。光源部107发出的下部分的光束202被反射镜129所反射，经由环形 透镜124、发射镜130，在感光体鼓103上点状成像，形成基于第三图像形成机台的青色的图像信息的潜像。光源部107发出的上部分的光束201被反射镜131所反射，经由环形 透镜125、发射镜132，在感光体鼓104上点状成像，形成基于第四图像 形成机台的黑色的图像信息的潜像。被振动镜106改变了方向的光束从扫描透镜120旁边穿过，被聚光 透镜139聚光后射入同步检测传感器138，然后，根据该同步检测传感 器138检测出的检测信号生成各机台的同步检测信号。图2表示光扫描装置的光源部的立体图。更具体讲，，图2中表示 于框体上形成的光源部。作为光源的半导体激光发生器201、 202以套筒外周为基准，在确定好沿套筒外周的转动方向后，从后面被分别压入形成于支撑部件 203、 204上的镶嵌孔206、 207中并被固定。支撑部件203、 204以螺丝 固定的方式被固定在框体209的外壁表面上，此时，通过调整与光轴垂 直的外壁表面上的固定位置，以使半导体激光发生器201、 202的各发 光点以预定量偏离与其对应的耦合透镜210、 211的光轴，这样，就可 以实现上下光线在副扫描方向上相交为2. 5°角。在框体内侧形成的、具有上下V字形沟槽的台座部205上，耦合透 镜210、 211的外周与V字形沟槽的槽面相接触，通过在与光轴垂直的面 内进行定位调整并沿V字形沟槽移动耦合透镜210、 211，可以调整光轴 方向以使射出的光束变为平行光束。耦合透镜通过在其与V字形沟槽之 间的间隙内填充光硬化黏着剂208并使其硬化的方式而固定。图3表示振动镜镜面的入射光的入射角以及振动镜的摆角的条件 的示意图。一般地，光源部至振动镜镜面的入射角a和振动镜的摆角(振幅) 0 0之间的关系为a〉2 0 0、最大偏角2 0max二ct+2 0 0，但是，由于需 要将有效扫描率(0d / 0 0)控制在预定值(本实施例为O. 6)以下，所以，如图3所示，光源发出的光束的平均入射角a被设定为满足下面关系0 0^ a /2〉0d 0 0^ 0s〉0d其中，0d是扫描感光体的有效摆角，0s是同步检测时的摆角。 具体讲，，0 0=25° 、 0d二15。 、 a=45° 、 0 s=18° 。另夕卜，也 可以将同步检测传感器设置为使其满足0 s> a / 2。图中表示振幅中心相对于扫描透镜光轴倾斜Zl a角的例子，也就 是说，表示将振幅中心向光源侧偏移的例子。这样，尽管在扫描开始 端和扫描结束端尽管振动镜的摆角不同，也可以将照射至入射角较大 的光源相反侧的振动镜上的光束直径控制得较小。但是，在本实施例 中，将振幅中心设置为与扫描透镜的光轴一致，即ZU二O，并且， 使扫描透镜至环形透镜的表面形状都成为沿主扫描方向相对于光轴对 称的曲面形状。如上所述，振动镜镜面在往复振动时呈波状变形。这个变形量5 在振幅为0O时最大，另外，变化量根据摆角从O向0O的变化成比例的 变大。也就是说，由于扫描被扫描领域的摆角0 d是根据扫描透镜的视角 来确定的，所以，扫描被扫描领域的摆角0d与振幅0O的比，有效扫 描率(0d / 0 0)小者不容易受到振动镜变形的影响。但是，也具有这样的情况，即为了增大振幅610，需要减小振动 镜基板的质量，相反，如果将振动镜基板减薄，其变形量就会变大。在本实施例中，通过将振动镜的角速度限制在一定的摆角范围内 来设定有效扫描率(0 d / 0 0)，并将扫描被扫描领域的摆角0 d设定 为振幅0 0的60%以下，这样，就可以将写入领域的变形量控制在不使 束团截面(beam profile)发生恶化的限度内。图4表示对由于振动镜镜面的变形而导致的光束成像位置的变化 进行补正的说明图。更具体讲，，图4所示为沿主扫描方向的成像位置 (光束腰部位置)的偏差，该偏差源于振动镜动作时的所述表面变形 而生成的平均屈光度(曲率成分)。这个成像位置偏差是在使振动镜 动作的状态下通过检测束团截面而得到的，在本实施例中，主扫描端部发生了最大约为2mm的偏差，尽管也要考虑深度上的余地，但是如果 不将全领域都控制到O. 5mm的程度就不能使光束点均匀化。通常，扫描透镜至环形透镜的表面形状被设计成可使成像位置在 作为被扫描面的感光体上整齐地排列，也就是说，使其像面弯曲变得 平坦。在本实施例中，事先检测所述振动镜镜面变形时的成像位置偏 差，对于主扫描方向的表面形状，考虑该偏差，将其设计成偏离预定 目标值，以使扫描透镜至环形透镜发生像面弯曲，这样，振动镜动作 时，利用镜面的变形，就可以整齐地排列成像位置。在转写带105的出口辊上设置检测单元，用来检测在各机台上重合 地形成的各种颜色图像的重合精度。检测单元通过读取在转写带105上 形成的碳粉像的检测图案，检测出主扫描定位和副扫描定位，作为从 机架(即基准)开始的偏差，并进行定期的补正控制。在本实施例中，检测单元由LED元件154、接收反射光的光电传感 器155以及一对聚光透镜156组成，并配置在图像的左、右和中央三个 位置，根据转写带的移动来读取与作为基准色的黑色的检测时间差。图5表示光扫描装置的振动镜模块的分解立体图，更具体讲，，表 示应用于本实施例中的光扫描装置上的振动镜模块的分解立体图。在本实施例中，将电磁驱动方式的例子作为振动镜转动扭矩的产 生方法进行说明。如图所示，振动镜441由扭转梁442轴支撑，另外， 如后所述，其由从一个Si基板以蚀刻方法贯穿外形的方式而制成，然 后安装在实装基板448上，构成振动镜基板440。在本实施例中， 一对振动镜基板440背靠背地构成一体支撑的模 块。支撑部件447由树脂形成，并被定位在电路基板449的预定位置上， 振动镜基板440与定位部451和边缘接口部452—体成形，其中，定位部 451用来使扭转梁与主扫描平面垂直，并使镜面相对于主扫描方向倾斜 预定的角度(本实施例中为22.5。)，边缘接口部452上设置金属端子 群，用来在安装时使其与振动镜基板的实装基板448的一边上形成的配 线端子455相接触。这样，振动镜基板440被镶嵌在按压爪453的内侧，其背面的两个 侧面沿定位部451被支撑，而其一边则插入所述边缘接口部452中，形 成电性布线，另外，每个振动镜的基板440都可以被个别地交换。另外，在电路基板449上还实装用于构成振动镜驱动电路的控制IC 和水晶振荡器等，电源以及控制信号经由连接口454被输入和输出。振动镜模块如图8所示安装在光学框体上，该框体与呈包围振动镜 模块状而立设的侧壁257—体成形，侧壁上端边缘被上盖258所密封， 通过与外气隔绝，可防止外气对流而产生的振幅变化。在光束进出的 侧壁的开口部还具有平板状的透过窗口 259 。下面，对振动镜基板440进行详细说明。图6表示应用于振动模块中的振动镜基板440的平面图。图7表示应 用于振动模块中的振动镜基板440的分解立体图。在图6和图7所示的振动镜基板440中，振动镜460由表面形成镜面 并构成振动器的可动部、支撑该可动部并构成转动轴的扭转梁、以及、 构成支撑部的框架所组成，并且是采用蚀刻方法切割Si基板而形成的。 在本实施例中，被称为S0I基板的60 m m和140 /z m的两个基板夹持氧 化膜，使用事先接合好的晶圆来制作。首先，应用等离子蚀刻的干式蚀刻方法，从140^m的基板(第二基 板)461的表面侧开始，对扭转梁442、形成平面线圈的振动板443、构成可动部骨材的加固梁444以及框架446以外的部分直至氧化膜进行贯 穿，然后，应用KOH等异方性蚀刻方法，从60/im的基板(第一基板) 462的表面侧开始，对可动镜441以及框架447以外的部分直至氧化膜进 行贯穿，最后，除去可动部周围的氧化膜并进行分离，形成振动镜的 结构体。这里，扭转梁442以及加固梁444的宽度为40 — 60/xm。如上所述， 为了获得较大的摆角，振动器的惯性动量I最好要小，相反，因为惯性 力可使镜面产生变形，.所以在本实施力中，可动部被制成较薄的结构。另外，60/zm的基板462的表面侧通过镀气铝薄膜形成反射面，而在 140/zm的基板461的表面侧，则以铜薄膜形成线圈图形463、经由扭转 梁被布线的端子464、以及、用于修边的饰片465。另外，在上述实施例中，尽管叙述了在由固定在振动板443外侧的 永久磁铁生成的磁束中，使电流流入在振动板443上形成的线圈以产生 旋转力的构成，但是，将线圈配置在振动板443的外侧，将永久磁铁固 定在振动板上的构成也可以达到同样的效果。实装基板448上设置用于安装振动镜460的框架状台座466、以及、 呈围绕振动镜状而形成的轭状物449，在该轭状物449上设置一对永久 磁铁450，其S级与N级相对可动镜的端部相向设置，用以在与旋转轴垂直的方向上产生磁场。振动镜460以其镜面朝外的方式被安装在台座466上，通过在各端子 464之间施加电流，在与线圈图案463的旋转轴平行的各边上产生洛仑 兹力，使扭转梁442扭转，进而产生用来转动振动镜441的转动扭矩T， 而一旦切断电流，则通过扭转梁的回复力使其回至水平。所以，通过交替切换施加至线圈图案463上的电流的方向，可以使 可动镜441产生往复振动。图8表示光扫描装置框体的一部分构成的示意图。图9表示光扫描装置框体的全体构成的示意图。更具体讲，，图8中表示容纳上述图1所 示的光扫描装置的构成部件、光源部、振动镜模块、扫描透镜的框体， 图9中表示还包含反射镜支撑部的框体的形态。与半导体激光发生器一体成形的支撑部251 (图中未表示)、252如 上所述，分别设置在由树脂成形而制成的框体箱250的外壁上，振动镜 模块253如上所述也是一体成形的，并被具有平板状透过窗口259的侧 壁257所包围的小盒子所支撑。另外，扫描透镜254被黏着固定在底面 上。框体250的上部开口部分被上盖258所密封，光束经由射出窗口255 被射出。经这样装配的框体以螺丝固定的方式被由板金成形而制成的侧板 261、 262所夹持，侧板上形成的矩形孔用来插入和支撑反射镜264和环 形透镜265。图中，263是加固板。这里，为了解决上述课题，有必要对镜面反射的光束照射直径和照 射位置等进行调整。作为调整的项目，振动镜的倾斜、用于移动半导 体激光发生器至振动镜的光束的位置而安装在半导体激光发生器后面 的耦合透镜的XYZ三个轴方向的位置、耦合透镜与振动镜之间安装的圆 柱透镜的位置等，都需要配置在适当的位置。为了进行对这些项目的 调整，需要例如通过光源单元的a方向(围绕与扫描面垂直的轴的旋 转)的倾斜和圆柱透镜的Z方向(与扫描面垂直的轴的方向)的位置调 整机构等，对从半导体激光发生器入射至振动镜的光束的位置和方向 进行最优化。另外还有不采用光源单元的a方向的倾斜调整而使用如 图10所示的能够使振动镜沿振动镜的主扫描方向Y移动的机构以使光向振动镜侧移动来调整光学性能的方法。图10表示用于说明将振动镜模块安装至框体上的方式的第一实施 例的示意图。更具体讲，，在图10中表示将振动镜模块支撑至框体250 的支撑方法。图中，电性配线和连接器等被省略表示。在本实施例中，对于具有将振动镜模块沿振动镜静止状态时的主扫描方向(箭头Y)和 法线方向(箭头x)移动的调整单元的构成进行叙述。这里，振动镜模块300是以将振动镜的支撑和向框体安装的功能一体化的形态为例。在该形态中，框架部件的下部是如图示那样延伸并 一体成形的，以形成用于安装至框体的安装孔。框架部件用于支撑使 振动镜发生振动的振动镜的梁和电磁线圈。框架部件的材料可以是镀 锌钢板和不锈钢板等，当然，也可以由树脂成形品来形成。另外，如 后所述，还可由具有光透过性的树脂一体形成。振动镜模块300具有与其一体成形的安装面302，在安装面的三个位 置上设有安装孔303。框体250的振动镜载置部310上设有螺丝台座311， 另外，还设置了透过窗口259。振动镜模块300通过固定螺丝305被连接至框体250上，但是，因为 安装孔303的直径比固定螺丝305的螺丝部的外径大，所以可向主扫描 方向Y移动。这样，就可以在观察与入射至振动镜的光束的相对位置的 同时进行调整，以将该相对位置移动到最佳的位置，并确定Y方向的位 置。另外，在本实施例中，由于安装孔是圆形的，所以也可以进行向光 束的光轴方向或者振动镜的法线方向X的移动。这样，可以在用CCD等观察成像状态和重心位置等的同时进行调整，以使入射至振动镜的光 束的聚光状态和感光体鼓上的光束的成像状态达到最优化，另外，也 可以对经过扫描光学系统的扫描光束进行调整，也就是可以对所谓的 焦点对准进行调整。另一方面，如图20或图23的例子所示，从副扫描横截面方向来看， 入射至振动镜的光束以及被反射而射出的光束与振动镜法线之间具有 一定角度时(以下简称"斜入射扫描光学系统")，被反射的扫描光 束需要在光学设计上的最佳的副扫描位置射入扫描光学系统。图20表示典型的斜入射光学系统的副扫描横截面的一个例子。从半导体激光270射出的发散光束被耦合透镜272准直为大约平行的光，然 后被孔径274修整为预定的横截面形状，再经由圆柱透镜275以入射角 0射入偏向器的镜反射面。此时，如果想把光束聚集在有限面积的镜 反射面上，理想地，最好将最聚集的光束射入镜反射面上的理想反射 点。所以，在图20所示的二维XZ坐标系中，将所有的光学元件按预定的 位置和姿势来摆设就变得很重要。(这里，X是光束的行进方向，Z是 与X垂直的方向。另外，振动镜的法线方向是X'，与X'垂直的方向是 Z'，围绕与X'和Z'垂直的轴也就是围绕与纸面垂直的轴的旋转方向 是^，。另外，围绕Z'轴的旋转方向是"，)特别是，为了将光束聚集在理想的反射点上，耦合透镜272和圆柱 透镜275的Z方向的位置需要保持在预定的目标高度，另外，如果想在 那个理想反射点上最聚光，X方向的位置也要保持在预定的位置上。但是，如图22所示，如果各光束整形元件偏离Z方向，到达镜反射 面的光束的位置依此原理也偏离Z方向。这样，就需要设置具有较多部 件数的位置调整机构来调整，而且该位置调整机构还要具有很高的调 整精度，以使耦合透镜273和圆柱透镜275的X以及Z方向的位置始终保 持在目标位置，另外，还需要采用具有复杂步骤的调整操作并花费时 间来进行高精度的调整。另外，方向改变了的扫描光束以0 '角射出，经过扫描透镜254扫 描被扫描面。偏向器的镜反射面的姿势如果是理想状态(此图中为垂 直)，此时，0，变为0， 二0，则经过扫描透镜254的光束被整形为 理想状态，这样，在被扫描面上，最聚集的光束点就可以到达理想的 扫描位置。但是，如果镜反射面只倾斜i3 1，光束的倾斜变成/3 2，光束就偏离扫描透镜的目标位置，不能被整形为理想状态，在被扫描面上，就 不能得到良好的光束点，这样，扫描位置也就偏离了理想的位置。另 外，由于振动镜和扫描光学系统的相配性，扫描光束的开始点和结束 点也需要射入理想的目标位置。所以，还需要在振动镜的"'方向的 基础上再设置]S'方向的倾斜调整机构，同时也需要进行繁琐的调整 操作。另外，如果一个光源单元是多光束的光源，也有必要对被多光束同 时扫描的多个扫描线的副扫描方向的光束间距进行调整。例如，写入密度为1200dpi时，扫描线的间距为21.15Mm，在采用两个光源时，具 有21. 15^um间隔的两个扫描光束分别以其两倍的42.3Mm的副扫描行 进量在被扫描面上曝光。此时，将一次扫描的两个光束的间隔在这里 称为副扫描光束间距。如果副扫描光束间距不能被控制在一定的范围内，图像就会出现斑 点等，因此，大体上需要将上述1200dpi时的间距调整至21.15/zm土5 /zm的范围内。与此相对应地，还需要调整光源单元的Y方向(围绕光 轴方向的旋转)。另夕卜，近年，尽管出现了使用VCLEL光源的光写入装 置，但是，副扫描光束间距的调整在使用二维排列的VCSEL光源时也同 样是必要而且是重要的。另外，彩色图像扫描装置中，在四连串列方式图像形成装置的情况 下，需要在四个位置配置光源单元或圆柱透镜，这样，就必须在四个 位置分别进行上述调整，与黑白图像形成装置相比，要多花几倍的时 间。需要进行上述多次调整时，还要设置框体箱250，另外，用于调整 那些光源单元和光学元件位置的调整装置也要大型化，这都导致了高 成本化。本实施例的目的是提供一种装置，其可以解决使用振动镜的斜入 射光学体统中的调整困难的问题，还可以使光扫描装置的调整尽可能的小型化，另外，通过将需要调整的光扫描模块紧凑化，还可以使框 体箱以及运送时的成本降低，这样，在使用多光束光源的上述光学系 统中，就可以很容易地进行光束间距的调整。图21表示本实施例的斜入射光学系统的一个例子。光源单元266由 支撑部件267、半导体激光矩阵271、耦合透镜273三个部件构成。半导 体激光矩阵在图29中表示。这里图示的是市场上常见的0 5. 6型的罐形 两通道半导体矩阵。罐外周的法兰(Flange)部是适于用0 5. 6咖进行 嵌合的精密形状。具有两个激光发光点的LD矩阵实装在罐的内部，电 力和信号从导线被供给。LD矩阵的发光点的间隔Pa为数a m至十数/z m， 所以，即使发出的激光扩散形成远场(Far Field)状，其两个重心的 间隔依然基本保持为Pa。图22表示本实施例的光源单元266的中央横截面。支撑部件267中 压入半导体激光矩阵271，并被紧密固定。扩散光束沿光轴(X)方向 行进，然后被载置于嵌合座268上形成的台座部269上的耦合透镜274进 行准直。这里，再对图21进行说明。嵌合座268的外周部被精密形成，以使 压入的半导体矩阵271的光轴与其同轴，框体250上形成的嵌合孔276也 被形成为与预定的光轴的位置和方向相同。光源单元266在围绕光轴X 的旋转方向y上被付给自由度。通过使光源单元266沿y方向旋转，上 述间距Pa可以被改变或者被调整。支撑部件267中设置长孔277，在适 当的y方向的旋转位置上，由固定螺丝278以预定的位置和姿势固定在 框体250上。固定螺丝278的连接对象是框体250侧壁上设置的螺丝孔 279。参考图22对本实施例的耦合透镜的位置调整方法进行说明。图中 所示为沿光轴X方向射出的光束以想要的耦合状态经过孔径274并以预 定宽度的平行光偏离光轴到达像面的情形。从光源单元266的基准端面至像面的距离L上的光束形状如图所示，变为理想重心位置位于光轴上 的高^ 分布的强度。另外，尽管图25表示了耦合透镜和圆柱透镜的Z方向的偏离在偏向器的反射面上受该作用的影响变动很大，也可以用这个圆柱透镜的z调整来负责调整耦合透镜的Z方向调整宽度的全部或一部分。通过用这个 圆柱透镜的Z调整来负责调整耦合透镜的Z方向调整宽度的全部或一部 分，可以简化耦合透镜调整的一部分，以低成本构成高质量的光源部。 圆柱透镜一般是具有圆柱面的玻璃透镜，本实施例中，对材质和主副 的屈光度的分配没有限制，也可以采用非球面塑料透镜等。下面对调整方法进行说明。在像面上设置用于检测二维CCD等的位 置和光强度的传感器，如果在观察的同时调整耦合透镜273的位置，光 束就可以到达想要到的位置。另外，对于是否变为平行光的调整，可 以通过调整耦合透镜273的X方向的位置以使经过两处狭缝的光束的宽 度A和B相同的方法来实现。使用这些方法可以进行光源单元266的耦合 透镜273的三轴方向定位。尽管没有图示，但是作为耦合透镜273的固 定方法的一个例子，还有在台座部269和耦合透镜273之间充填紫外线 硬化型黏着剂，并在得到预定的耦合透镜的位置后，使其硬化并固定 的方法。在本实施例中，在将振动镜组装至框体上的状态下，通过进行对所 述支撑部件203、 204的调整，可以进行耦合透镜210、 211的主扫描方向和副扫描方向的调整，这样，就可以相对于光轴方向进行发光点和 耦合透镜之间的相对位置的调整。因此，就可以减小由于照射至镜面 的光束照射直径和照射位置导致的振动镜曲率不同而引起的问题。对于主扫描方向来说，可以进行支撑部件203、 204的Y方向的调整， 以使各光线与振动镜的转动轴保持一致。另外，通过一边使振动镜振 动， 一边对焦点进行各图像高度被收束在适当范围内的最优化，当镜面变形不是以转动轴为对称的形状时，也可以减小光束点成像位置的 偏差，实现焦点的最优化。对于副扫描方向来说，通过进行支撑部件203、 204的Z方向的调整， 可以减小振动镜副扫描方向的宽度d，使振动镜小型化，进而实现低成 本化。另外，由于振动镜可以被轻量化和小型化，振动镜构造上的设 计自由度也就被提高了，这样，就可以减小振动镜振动时的波动。对于光轴方向来说，通过使耦合透镜210、 211的外周与V字形沟槽 的表面相接触，进行与光轴垂直的面的面内定位调整，并沿V字形沟槽 移动耦合透镜210、 211，就可以进行光轴方向的调整以使射出光束变 成平行光束，因此，如果再考虑到振动镜的初始表面精度和安装姿势 等，就可以进行将被振动镜反射的光束变成平行光束的调整。另外，也可以采用图2所示的构成，但是在这种情况下，耦合透镜 的支撑方法几乎不使用黏着剂，所以在斜入射光学系统中，可以提供 一种抗干扰并具有安定的光学性能的光源部。图23表示另一个实施例，具体的是一个2LD交叉方式的多光束光源 单元的例子。两个半导体激光272在主扫描方向上与事先设定的中心轴 相交成0 l和0 l角，LD的法兰部被压入支撑部件285直至到达光轴方 向，并被压入支撑部件285所支撑。激光光源发出的发散光被耦合透镜 286准直成大致平行的光，然后经由共用圆柱透镜287入射至偏向器的 镜反射面上，从激光光源到偏向器镜发射面的距离为L。0 1大约等于0 2，其值约为l。至2° 。也就是说，0 1+0 2大约等 于2°至4°左右。这里，将(X)轴称为中心轴，围绕(X)的旋转方 向称为(Y)旋转。支撑部件285中，与图21的实施例同样地形成嵌合 座268。其外周部被精密地制成，以使其与(X)轴同轴。通过将光源 单元进行y旋转，能够调整或变更上述光束间距Pa。支撑部件285中设 置长孔277，使用固定螺丝将其固定在框体的侧壁上。图24和图25分别表示2LD交叉方式的多光束光源单元至扫描镜发 射面的主扫描横截面和副扫描横截面。为了与各LD的发光点至像面的 距离L'形成交角0 1、 0 2，与(X)轴至发光点的距离ll、 12之间的 关系需要满足下列条件tan0 1 = 11 /L，tan 0 2 = 12/1/本实施例中的耦合透镜的位置调整方法的要领与图22的实施例的 调整方法相同。但是，因为LD是两个，需要一个一个地进行调整，调 到预定的交角后，再固定耦合透镜的(Y)方向的位置。图26表示本实施例的光扫描模块的构成部件、光源部以及振动镜 模块。将半导体激光发生器一体化的支撑部件251 (图中未表示)、252 分别安装在树脂成形的框体250的外壁上，振动镜模块253被一体成形， 并被由具有平板状透过窗口 259的侧壁257所包围的小盒子所支撑。光 扫描模块的上部开口被上盖258密封。透过窗口259—般为玻璃平行平板，相对于垂直主扫描平面的Z轴倾 斜i32。这样，在使用多个光源的光扫描模块中，扫描光从透过光学元 件或被扫描面被反射，而返回的光就不能再逆向进入光源。图27和图28表示另一个实施例的框体的形态。图27是框体的副扫 描方向的横截面图，图28是从上面观察光扫描模块时的示意图。本实 施例表示对应于四连串列方式彩色图像装置的斜入射型光扫描装置。 扫描透镜120、环状透镜122—125被设置在树脂制的框体280的预定位 置上，以使光束能够分别对形成黄、品红、青、黑色图像的感光体鼓 101 — 104进行扫描。在各机台的预定位置上配置1一3个反射镜，以使各扫描光束能够 对各感光体鼓的预定位置进行扫描。各光学元件的安装台等的支撑部 件在这个图中被省略表示。框体280的底面上开设一个透过窗口，各机台的光束能够从该窗口通过。尽管图中没有表示，在这个开口部上根 据实际情况还可以设置防尘玻璃。在本实施例中，从光源到振动模块的光学元件被设置在光扫描模块281上。光扫描模块281被安装在框体280的预定位置，以使被振动镜 300改变了方向的扫描光变为预定的扫描光。防尘用的上盖282安装在 框体280的上部，也同时覆盖光扫描模块281的上面。上盖根据实际需 要还可以被设计成让其他部件只覆盖光扫描模块281，另外，也可以用 覆盖光扫描装置整体的整体盖来覆盖。由图28可知，在本实施例的光扫描模块281中，与各机台对应的四 个偏向器前光束整形光学系统在主扫描平面上扇形分开设置。在各偏 向器前光束整形光学系统中配置压入了半导体激光发生器的支撑部件 285、耦合透镜286以及圆柱透镜287。关于这点，后面有详细叙述。这 四个光束经过与其分别对应的入射镜288，另外在副扫描方向上也以与 副扫描方向倾斜成的预定的斜入射角，在振动镜的可动镜部的预定位 置上聚集。各光学元件的支撑方法等尽管也省略不记，但是，支撑部 件285或耦合透镜286也可以使用如图2所示的安装方法，还可以使用紫 外线硬化型黏着剂黏接耦合透镜286并将其支撑和固定在预定的位置。在图27和图28的例子中，扫描光学系统由具有屈光度的光束整形 扫描光学系统和不具有屈光度的光束弯曲扫描光学系统构成，因为在 光束扫描模块中设置了光束整形光学系统，所以可以提供一种具有调 整工序简单、紧凑、运送成本低的低成本的光扫描模块的光扫描装置。光扫描模块向光学箱上的安装可以采用螺丝连接，还可以采用黏 接等其他方法，光学箱可以采用树脂一体成形的结构，还可以采用组 装等的结构。或者，在连接或黏接时，再采用调整两者之间的相对位 置关系的机构和工序等，通过对调整位置进行适当的配分，也可以提 供更高的性能或者低成本的光学性能。图ll表示用来说明将振动模块安装至框体上的方式的第二实施例 的示意图。更具体讲，，图ll所示为在第一实施例的基础上还具有也 可以沿副扫描方向(箭头z)移动振动镜模块的调整单元的结构。这里，振动镜模块300是以将振动镜支撑和向框体安装的功能一体化的形态为例的。在该形态中，框架部件的下部是如图示那样延伸并 一体成形的，以形成用于安装至框体的安装孔。框架部件上直接或间 接地实装用于使振动镜振动的梁和电磁线圈等。框架部件的材料可以 是镀锌钢板和不锈钢板等，当然，也可以由树脂成形品来形成。另外， 还可由具有光透过性质的树脂一体形成。振动镜模块300具有与其一体化的安装面302，安装面的三个位置 上设置了三个安装孔303。光扫描模块281具有螺丝座311。振动镜模块 300经由三处的安装孔303和分别与螺丝座对应的调整弹簧315 (图中省 略表示了一个)，由调整弹簧316被固定在光扫描模块的框体250上。 因此，可以向副扫描方向Z移动，这样就可以将与入射到振动镜的光束 的副扫描方向的相对位置移动到最佳位置。另外，通过向三个位置施 加不同的调整量，还可以进行对箭头Y的转动方向0的倾斜调整。同样， 也可以进行对箭头X的转动方向y的倾斜调整。如第一实施例所述，因为安装孔303比螺丝部大，就旋转方向而言， 在安装孔303那么大的范围内，也可以对与箭头Z的旋转方向a的倾斜 进行调整。适当调整各自的倾斜后，用黏着剂将调整部固定以保持该 倾斜量。也就是说，在本实施例中，可以对振动镜三维地进行X、 Y、 Z、 a、 )8、 Y方向的设置位置和姿势的调整，因此，可以提供一种自由度非 常高的调整单元来进行与入射至振动镜的光束的相对位置的调整。另外，具有调整弹簧的部分也没有必要一定是三处，只要能得到 足够的光学性能，两处或者一处都可以。此时，由于减少了调整部分的数量，也就可以减少调整时间和调整部件的数量，另外，还可以实 现相对于振动等更为牢固的载置。图12表示用来说明将振动模块安装至框体上的方式的第三实施例 的说明图。更具体讲，，图12所示为使用黏着剂将振动模块安装至框 体上的结构。振动镜模块320以黏着的方式被定位和固定在框体250的 振动镜载置部310上。在振动镜载置部的平面部311上设有导轨321、 322，振动镜模块320镶嵌其内。振动镜模块320被调整为只能沿Y方向 移动，在恰当地确定了主扫描方向位置后被黏接和固定。在本实施例 中，尽管黏着剂固定在三个黏着位置323、 324、 325上，但是，也可以 将振动镜模块320的底面设置在离开平面部311—点距离的位置，并且 调整也不只局限于Y方向的直线移动，与上述同样地、三维地进行设置 位置和姿势的调整。图13表示用来说明将振动模块安装至框体上的方式的第四实施例 的说明图。更具体讲，，图13所示为使用光硬化黏着剂将振动模块安 装至框体上的结构。本实施例的特征在于，在振动镜载置部上，平面 部311和振动镜模块330之间还设置了中间部件331，该中间部件331由 具有光透过性质的材料所制成。振动镜模块330镶嵌在中间部件331上，以黏着的方式被定位和固定 在框体250的平面部311上。在本实施例中，将振动镜模块330设置在平 面部311上，为了定位和固定，使他们相互接触，或者，在他们之间留 一点空隙，并分别将用于调整该空隙的黏接部设置在三个位置。黏接 部332、 333、 334形成在中间部件331的底面，另外，黏接部335、 336、 337在平面部311上形成，并被保留一定高度差。这些黏接部通过设置在其间的微量光硬化黏着剂相互接触，并将其 调整为可以沿X、 Y方向移动，之后，恰当地确定好主扫描方向和副扫 描方向的位置后被黏接固定。在本实施例中，尽管黏着剂被固定在三个黏接位置，但是，也可以 将他们设置在稍微偏开一点距离的位置上，并且调整也不只局限于XY 方向的直线移动，同样地，也可以与图ll的第二实施例一样地进行三 维的设置位置和姿势的调整。在图10至图13的任何一个实施例中，因为可以移动与入射至振动镜的光束的相对位置，因此，通过移动耦合透镜来进行光束位置调整的调整方式(图2)可以被省略执行。图14表示第一至第四实施例中于框体上形成的光源部的立体图。 图15表示第一至第四实施例中于框体上形成的光源部的中央截面图。 在图14和图15所示的光源部中，与图2所述的实施例相比，省略了支撑 部件203、 204，半导体激光发生器201、 202则被压入到在框体209上与 其一体成形的镶嵌部。这样，在主扫描方向和副扫描方向上即使不用 光源部来调整上下光线，光束也可以到达预定的方向。在框体250内侧形成的、具有上下V字形沟槽的台座部205上，耦合 透镜210、 211的外周与V字形沟槽的槽面相接触，通过沿V字形沟槽在 光轴方向X上移动耦合透镜210、 211，就可以进行光轴方向的调整以使 射出的光束变为平行光束。耦合透镜通过在V字形沟槽间隙内填充UV黏 着剂208并使其硬化而固定。图30和图31表示本实施例的光源部的另一个例子。图30表示主扫 描方向的横截面图，图31表示立体图。与图2所示的例子相比，支撑部 203、 204被省略，另外，台座部205也不是V字形沟槽而是具有顺应耦 合透镜210、 211外周的圆弧状的承接部的突起形状。半导体激光发射 器201、 202被压入与框体209—体形成的镶嵌部内，另一方面，通过在 X、 Y、 Z三个方向都采用UV黏着剂208对耦合透镜进行三维定位和固定， 也可以同时进行主扫描方向、副扫描方向以及光轴方向的调整。半导 体激光发射器201 、 202的驱动电路的印刷基板213则通过将导线端子插入贯穿孔，以螺丝固定的方式被固定在立设于框体209的外壁表面上的凸台部212上。另外，在图10至图15的任何一个实施例中，在各实施例所述的调整 方法的基础上，通过在振动镜振动的状态下同时检测其光学性能，还 可以进行精度更高的调整，这样，更有助于得到均匀的光束点直径， 形成无斑点的高质量的图像。另外，通过a方向的调整也可以将主扫 描方向的倍率调至预定的倍率，还可以将主扫描的位置偏差控制在预 定的范围。下面说明光扫描模块281上的调整方法的另一个例子。使用安装了 光扫描模块281的、具有能够检测预定位置的光束位置和光束直径的二 维CCD等或者光强度传感器的光扫描模块调整装置来进行对各光学元 件的调整。首先，将光扫描模块281安装在光扫描模块调整装置上，在没有安 装振动镜的状态下，进行偏向器前光束整形光学系统的调整。将能够 测定位置和光束直径的传感器安装在振动镜的位置上，调整支撑部件、 耦合透镜、圆柱透镜的XYZ位置或者a、 )3、 y的姿势，以使各机台的 光束聚集在预定的位置。其次，安装振动镜以使能对其进行姿势的调整，然后点亮采用上 述方法调整的光源中的任一个，用设置在被扫描面上的传感器一边观 察光学特性一边进行姿势或位置的调整。具体讲，，调整振动镜模块 的i8方向的倾斜以使被扫描面上的副扫描方向的位置到达预定的位 置，另外，光束直径也要调整至一定的细度。之后，在不驱动振动镜的静止状态下调整振动镜模块的a方向的 姿势，以使光束到达被扫描方向的中央图像附近。被扫描面上配置的 传感器如果有必要还可以被设置在多个图像高度上，这样，就可以一 边观察各自的光学特性一边进行调整，以调出最好的光学性能。另外，图28的实施例中表示光扫描模块218被安装在框体280内部 的例子，但是，如果光扫描模块可以被分割成充分紧凑的几个部分， 也可以将其分割成能够安装至框体280外部的形状。最后，对安装了本发明的光扫描装置的图像形成装置参考图16进 行说明。图16表示安装了本发明的光扫描装置的图像形成装置的实施 例。如图16所示，在感光体鼓901的周围设置了使感光体高压带电的带 电充电器902、使带电的碳粉附着在由光扫描装置900记录的静电潜像 上进行显像化的显像辊903、向显像辊补给碳粉的碳粉盒904、清扫鼓 上残留的碳粉并对其保存的清洁盒905。使用振动镜的往复扫描向感光 体鼓上进行一个周期两线的图像记录。所述图像形成机台沿转写带906的移动方向并列排列，黄、品红、 青、黑色的碳粉图像按照时间顺序依次被转写至转写带上，重合后形 成彩色图像。各图像形成机台除了碳粉颜色不同之外，其结构基本相同。 另一方面，记录纸从供纸盒907由供纸辊908所提供，并由一对定位辊909依据副扫描方向的记录开始时间被送进，在从转写带转写碳粉图像并由定像辊910定像后，被排纸辊912排出至排纸盒911。本发明并不局限于上述具体实施例，只要不脱离权利要求书的范围，亦可采用其他变化形式代替，但那些变化形式仍属于本发明所涉及的范围。工业实用性例如，本发明的实施例可以被用于光扫描装置以及安装了该光扫 描装置的数字复印机、传真机、打印机等的图像形成装置。另外，本发明的实施例也可以被用于在光偏向装置内使用振动镜的光扫描装置以及使用该光扫描装置的所有机器，还可以被用于光扫 描方式的显示装置和车载激光发生装置等。
权利要求
1、一种光扫描装置，其通过将光源发出的光束照射在具有扭转梁的振动镜上使该振动镜以该扭转梁为轴振动，并利用该光束扫描目标对象，该光扫描装置的特征在于，包含第一调整单元，其用来调整所述振动镜相对于所述光束的安置状态。
2、 根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，所述第一调整单元具有移动单元，该移动单元至少在利用所述光 束对所述目标对象进行扫描的方向上相对于所述光束移动所述振动 镜。
3、 根据权利要求1或者2所述的光扫描装置，其特征在于，所述第一调整单元具有移动单元，该移动单元至少在与利用所述 光束对所述目标对象进行扫描的方向以及与所述光束的前进方向垂直 的方向上相对于所述光束移动所述振动镜。
4、 根据权利要求1或者2所述的光扫描装置，其特征在于，所述第一调整单元还具有第二调整单元，所述第二调整单元用于 调整所述振动镜相对于所述光束的镜面角度。
5、 根据权利要求1或者2所述的光扫描装置，其特征在于，所述第一调整单元包含涂敷的黏着剂，该黏着剂用于调整所述振 动镜相对于所述光束的安置状态。
6、 根据权利要求5所述的光扫描装置，其特征在于，包含框体，所述黏着剂包含光硬化性黏着剂，所述第一调整单元包含光透过性部件，该光透过性部件在支撑或 固定所述振动镜的同时被所述光硬化性黏着剂固定在所述框体上。
7、 根据权利要求1或者2所述的光扫描装置，其特征在于，包含框体，所述光源在利用所述光束对所述目标对象进行扫描的方向、以及、 与利用所述光束对所述目标对象进行扫描的方向和所述光束的前进方 向垂直的方向上被固定在所述框体上。
8、 根据权利要求1或者2所述的光扫描装置，其特征在于，包含至少一个透镜，其将设置在框体上的所述光源发出的光束照 射在所述振动镜上，所述至少一个透镜在利用所述光束对所述目标对象进行扫描的方 向、以及、与利用所述光束对所述目标对象进行扫描的方向和所述光 束的前进方向垂直的方向上被固定在所述框体上。
9、 根据权利要求1或者2所述的光扫描装置，其特征在于，所述第一调整单元还具有第三调整单元，所述第三调整单元在使 所述振动镜以所述扭转梁为轴振动时调整所述振动镜相对于所述光束 的安置状态。
10、 一种图像形成装置，其在目标对象上形成图像，该图像形成装置 的特征在于，包含权利要求1至9中任何一项所述的光扫描装置。
11、 根据权利要求io所述的图像形成装置，其特征在于，所述图像形成装置是串列式彩色图像形成装置。
12、 一种光扫描装置，其通过将光源发出的光束经由透镜照射在振动 镜上使该振动镜振动，并利用该光束扫描目标对象，该光扫描装置的特征在于，包含第一调整单元，其用来调整所述透镜相对于所述光源的设置。
13、 根据权利要求12所述的光扫描装置，其特征在于， 所述光束相对于与利用所述光束对所述目标对象进行扫描的方向以及所述光束的前进方向垂直的方向倾斜地射入所述振动镜。
14、 根据权利要求12或者13所述的光扫描装置，其特征在于， 包含框体，所述框体具有承载单元和第二调整单元，该承载单元用于承载所 述光源和所述透镜，该第二调整单元用于调整该承载单元相对于所述 框体的设置。
15、 根据权利要求14所述的光扫描装置，其特征在于， 所述承载单元包含所述振动镜。
16、 根据权利要求12或者13所述的光扫描装置，其特征在于， 包含第三调整单元，其用于调整所述振动镜的偏心。
17、 根据权利要求12或者13所述的光扫描装置，其特征在于，还包含变形光学元件，其设置在所述振动镜和所述透镜之间，并且至少 在与利用所述光束对所述目标对象进行扫描的方向以及所述光束的前 进方向垂直的方向上具有屈光度，第四调整单元，其用来调整上述变形光学元件的偏心。
18、 根据权利要求12或者13所述的光扫描装置，其特征在于，所述光源是多个光源。
19、 根据权利要求12或者13所述的光扫描装置，其特征在于， 所述光源是多光束光源。
20、 一种图像形成装置，其在目标对象上形成图像，该图像形成装置 的特征在于，包含权利要求12至19中任何一项所述的光扫描装置。
21、 根据权利要求20所述的图像形成装置，其特征在于， 所述图像形成装置是串列式彩色图像形成装置。
全文摘要
本发明涉及一种包含能够以更简单的方式调整光束对振动镜照射的光扫描装置的图像形成装置。本发明的光扫描装置将光源所发出的光束照射至具有扭转梁的振动镜上，通过以该扭转梁为轴使该振动镜移动，该光束对目标对象进行光扫，该光扫描装置包含第一调整单元，该第一调整单元用于调整该振动镜相对于该光束的配置。本发明的图像形成装置在目标对象上形成图像，包含本发明第一方面所述的光扫描装置。
文档编号B41J2/435GK101271194SQ200810086599
公开日2008年9月24日 申请日期2008年3月19日 优先权日2007年3月19日
发明者中岛智宏, 仲村忠司, 小岛晃 申请人:株式会社理光