技术编号：24840
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种用于大口径平行束离子源的磁场装置，包括安装板，所述安装板中部设有一圆形区域，该圆形区域内开设有若干平行于径向的圆槽，每个所述圆槽内均设置有至少一根磁棒；两个相邻所述圆槽之间的安装板区域为放电区域，且所述放电区域的总面积小于所述磁棒占用的总面积；所述圆形区域外的安装板上设置有多根位于同一圆周上的导磁棒，且所述多根导磁棒分别与相应圆槽内的磁棒位置一一对应。本实用新型可提高离子源放电室内的磁场均匀性，确保放电室内磁场方向一致，从而提高离子源离子束的均匀性要求。专利说明一种用于大口径平行束离子源...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。