技术编号:2490071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种向被图案形成体喷出液体而进行图案形成的图案形成装置。背景技术作为向被图案形成体喷出液体而进行图案形成的图案形成装置,公知有各种装置。作为一个例子可举出,进行抗蚀图案形成等的半导体制造装置、进行图像图案形成等的喷墨打印机。在这些装置之中,例如在喷墨打印机的情况下,通过从用于喷出墨的喷墨头向介质(被图案形成体)喷出墨,从而进行图案形成。在上述进行图案形成的技术中,作为有效方法,已知有以使介质表面改性为目的向该介质的表面进行紫外光的照射的方法。例如...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。