图案形成装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2490071

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本发明涉及一种向被图案形成体喷出液体而进行图案形成的图案形成装置。背景技术作为向被图案形成体喷出液体而进行图案形成的图案形成装置,公知有各种装置。作为一个例子可举出,进行抗蚀图案形成等的半导体制造装置、进行图像图案形成等的喷墨打印机。在这些装置之中,例如在喷墨打印机的情况下,通过从用于喷出墨的喷墨头向介质(被图案形成体)喷出墨,从而进行图案形成。在上述进行图案形成的技术中,作为有效方法,已知有以使介质表面改性为目的向该介质的表面进行紫外光的照射的方法。例如...
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