图案形成装置的制作方法

专利名称：图案形成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种向被图案形成体喷出液体而进行图案形成的图案形成装置。
背景技术：
作为向被图案形成体喷出液体而进行图案形成的图案形成装置，公知有各种装置。作为一个例子可举出，进行抗蚀图案形成等的半导体制造装置、进行图像图案形成等的喷墨打印机。在这些装置之中，例如在喷墨打印机的情况下，通过从用于喷出墨的喷墨头向介质(被图案形成体)喷出墨，从而进行图案形成。在上述进行图案形成的技术中，作为有效方法，已知有以使介质表面改性为目的向该介质的表面进行紫外光的照射的方法。例如，若 向图案形成前的介质进行紫外光的照射而改变介质表面的性质，则具有在之后的图案形成时提高墨相对于介质的润湿性的效果。因此，也提出了一种具有用于照射紫外光的部件的图案形成装置。专利文献I :日本特开平8-311782号公报

发明内容
但是，尽管以往的图案形成装置具有用于照射紫外光的部件，但该部件与用于喷出墨的喷墨头彼此分离，进行各自动作所需的范围较大。因此，存在下述问题，即，使装置大型化、在设置装置时需要额外的空间以及需要进行图案定位、对时。本发明鉴于以上问题，提供一种图案形成装置，其尽管具有用于照射介质的表面改性用的紫外光的部件，也能够将动作抑制在最小限度内，同时能够实现节省空间化。为了实现上述的本发明的目的，本发明的图案形成装置，将以下的技术方案I作为主要的技术方案，也能够兼具技术方案2 技术方案5。(技术方案I)该图案形成装置包括紫外光照射部件，其向被图案形成体照射被图案形成体的表面改性用的紫外光；液体喷出部件，其向被图案形成体喷出液体而进行图案形成；以及一体支承部，其用于对液体喷出部件及紫外光照射部件这两者进行支承。这里所称的“被图案形成体的表面”是指，形成图案的对象物的表面的用于形成图案的区域、或者形成图案的对象物的表面整体。另外，还包含，在利用液体经过一次或者数次而形成有图案的被图案形成体中，进一步期望形成图案的区域或者整体的表面。(技术方案2)在技术方案I的图案形成装置中，液体为墨，液体喷出部件为喷墨头。(技术方案3)在技术方案2的情况下，喷墨头为具有呈线状配置且用于喷出墨的喷嘴的线状的喷墨头。(技术方案4)在技术方案2或者技术方案3中，一体支承部在被图案形成体的上侧进行移动动作，在该移动动作过程中，紫外光照射部件向被图案形成体照射紫外光，并且喷墨头向被图案形成体进行图案形成。(技术方案5)在技术方案2或者技术方案3中，被图案形成体在一体支承部的下侧进行移动动作，在该移动动作过程中，紫外光照射部件向被图案形成体照射紫外光，并且喷墨头向被图案形成体进行图案形成。另外，如后述的发明实施方式所详细说明的那样，本发明的图案形成装置也能够进一步兼具以下的技术方案6 技术方案18。(技术方案6)将多个喷墨头并列配置。(技术方案7)紫外光照射部件包括长度不同的多个紫外光源灯；以及紫外光控制部，其以向与形成在被图案形成体上的图案形状相应的范围内照射紫外光的方式控制紫外光源灯的点灯。(技术方案8)紫外光照射部对紫外光源灯的发光量或者发光时间中的至少一者进行控制。 (技术方案9)在从紫外光照射部件照射紫外光的一侧,具有用于遮蔽紫外光的挠性构件。(技术方案10)紫外光照射部件是用于发出波长为300nm以下的光的低压水银灯。(技术方案11)紫外光照射部件是用于发出波长为200nm以下的光的准分子灯。(技术方案12)墨为紫外线固化型墨，在喷墨头附近具有发出用于使墨固化的波长为300nm以上的光的光源。(技术方案13)具有用于保持并输送被图案形成体的环形输送带。(技术方案14)具有浸溃处理部，其用于使被图案形成体在紫外线的照射及图案形成之前与溶剂相接触。(技术方案15)在技术方案14的情况下，具有加温处理部，其用于在被图案形成体与溶剂相接触之前，对被图案形成体进行预热。(技术方案16)对于被图案形成体，同时进行紫外光的照射和上述图案形成。(技术方案17)在向被图案形成体进行紫外光的照射之后，进行图案形成。(技术方案18)在向被图案形成体进行图案形成之后，进行紫外线的照射。图案形成后的紫外光的照射，是为了进行作为下一个工序的准备的图案形成面的改性而进行的。本发明的图案形成装置具有用于对液体喷出部件及紫外光照射部件这两者进行支承的一体支承部，因此能够实现图案形成装置的小型化、节省空间化。另外，由于将装置的动作抑制在较小的范围内，因此能够实现图案形成装置的节能化。


图I是用于说明本发明的图案形成装置的第I实施方式的结构的概略图。图2是用于说明本发明的图案形成装置的动作的框图。图3是用于说明本发明的图案形成装置的第2实施方式的结构的概略图。图4是用于说明本发明的图案形成装置的第2实施方式的变形例的结构的概略图。图5是设置有多列线型喷墨头的例子的概略说明图。图6是用于说明本发明的图案形成装置的第3实施方式的结构的概略图。图7是用于说明本发明的图案形成装置的第4实施方式的结构的概略图。
图8是用于说明本发明的图案形成装置的第5实施方式的结构的概略图。图9是用于说明本发明的图案形成装置的第6实施方式的结构的概略图。图10是用于说明本发明的图案形成装置的第7实施方式的结构的概略图。
具体实施例方式以下，参照附图，说明用于实施本发明的最佳实施方式。在此，举出将本发明的图案形成装置应用于喷墨打印机的例子。图I是用于说明本发明的图案形成装置的第I实施方式的概要的结构图，特别地，图I的(a)是图案形成装置的一个例子的概略俯视图，图I的(b)是主视图。以下，在接下来的附图中，构成(a)、(b)结构的附图仿照上述图I的结构。另外，图2是用于说明本发明的图案形成装置的实施方式I 实施方式5的动作的框图。 在图I中，附图标记10为喷墨打印机(图案形成装置；以下也简称为打印机)，附图标记11为线状的喷墨头(液体喷出部件；以下也称为线型喷墨头或者简称为喷头。)，附图标记13为一体支承部，附图标记13a为引导构件，附图标记15为UV灯单元(紫外光照射部件)，附图标记20为介质(被图案形成体)。另外，附图标记21为介质保持部，附图标记23为由输送带23a和带轮23b构成的输送部件。图中的箭头Xk表示线型喷墨头11扫描介质的方向。另外，箭头Y表示设置于线型喷墨头11上的、用于喷出墨的喷嘴(未图示)的排列方向。 线型喷墨头11及UV灯单元15的大致形状是具有与介质20的Y方向的宽度相同，或者稍微长于Y方向的宽度的长度的棱柱状，该线型喷墨头11及UV灯单元15以贴合于形成为与线型喷墨头11及UV灯单元15相同形状的一体支承部13的两侧表面上而被该一体支承部13支承的状态配置在介质20的上侧。一体支承部13以能够沿引导构件13a在介质20的上侧进行移动动作的方式被支承。在此，能够自装置结构进行往复动作。引导构件13a具有能够供一体支承部13在介质20上在必要的范围内进行往复动作的长度。另外，一体支承部13设置在输送部件23的输送带23a上。引导构件13a在图I的(b)中被省略。UV灯单元15在其内部具有用于发出紫外光的灯。在后述的第5实施方式中，使用长度不同的多个紫外光源灯。所用的灯发出适用于介质20的表面改性用的波长为185nm 254nm左右的紫外光。在介质20为通常的喷墨打印机用的树脂制的被图案形成体的情况下，通过向介质照射上述的波长为185nm 254nm左右的紫外光,利用紫外线,使介质自身表面的C一C键或者附着在表面上的有机物的C一C键断裂，进而进行由紫外光产生的臭氧
(O3)所引起的氧化。如上所述被改性的介质表面能够获得提高墨的润湿性的效果。另外，也能够获得对介质20表面上的有机物进行清洗的效果。在此，使用发出波长为300nm以下的紫外光的低压水银灯、发出波长为200nm以下的紫外光的准分子灯等。介质20载置于介质保持部21上。在介质保持部21的内部具有未图示的空气吸引部件，利用该空气吸引部件吸引介质20，将该介质20保持为在介质保持部21上无法移动的状态。接着，在图2中，附图标记I为CPU等中央控制部，附图标记2为嗔墨头驱动部。附图标记3表示的喷墨头扫描部及附图标记4表示的扫描驱动马达是用于对后述的小型喷墨头进行驱动的机构。附图标记5为输送驱动部，附图标记6为输送驱动马达。附图标记7为紫外光控制部。
接着，对打印机10的动作的例子进行说明。中央控制部I向输送驱动部5发送信号,驱动输送驱动马达6,从而使输送部件23的带轮23b动作，将输送带23a向Xk*向和与Xk方向相反的方向送出。此时，设置在输送带23a上的一体支承部13，在一体地支承有线型喷墨头11及UV灯单元15这两者的状态下，在介质20的上侧沿引导构件13a进行往复动作。在该往复动作中，接收到来自中央控制部I的信号的喷墨头驱动部2，使喷墨头11
喷出墨而在介质20上形成期望的图案。在图2中示出了喷墨头(1、2......n)，在如后述的
图5的例子所示地并列配置多个喷墨头11的情况下，喷墨头驱动部2接收来自中央控制部
I的信号而对各个喷墨头11 (1、2......n)进行驱动。另外，接收到来自中央控制部I的信 号的紫外光控制部7对UV灯单元15内的灯的点灯进行控制，通过在合适的条件下向介质20照射波长为300nm以下的紫外光，从而使介质20的表面改性。在此，在图2中示出了灯
(1、2......n)，在如后述的第5实施方式所地配置多个灯而构成UV灯单元15的情况下，紫
外光控制部7对各个灯(1、2……n)进行控制。紫外光的照射是根据介质20而以合适的时间进行的。如上所述，在第I实施方式的打印机10中，在利用一体支承部13 —体地支承线型喷墨头11及UV灯单元15这两者的状态下使这两者移动，因此能够将动作范围抑制在最小限制内，能够实现节能化。另外，由于能够将装置整体的空间仅形成为在介质的大小上添加了机械余量的大小，因此能够实现装置的小型化、节省空间化。根据目的以适当顺序进行上述的图案形成及紫外光的照射。例如在打印机10中，能够一边使一体支承部13沿Xk方向扫描,一边同时进行介质20上的紫外光的照射和图案形成。在该情况下，能够缩短作业时间，实现作业的高效化。另外，也能够在紫外光照射后进行图案形成。在该情况下，首先使一体支承部13在Xk方向和与Xk方向相反的方向上进行往复动作，并且在去程上以预定时间向介质20进行紫外光的照射后，在回程上从线型喷墨头11喷出墨而在介质20上形成期望的图案。由此，在紫外光的照射时间需要长于图案的形成时间的介质的情况下，能够高效地进行作业，并且能够实现节能化。另外，也能够在图案形成后进行紫外光的照射。在该情况下，首先使一体支承部13在Xk方向和与Xk方向相反的方向上进行反复动作，并且在去程上从线型喷墨头11喷出墨而在介质20上形成期望的图案后，在回程上以预定时间向介质20进行紫外光的照射。由此，能够在期望形成图案后对介质20的表面进行改性的情况下高效地进行作业。接着，利用图3对本发明的图案形成装置的第2实施方式进行说明。第2实施方式是基本结构与第I实施方式的打印机10相同而动作不同的例子。在图3中，附图标记IOa为打印机。附图标记21a为用于支承介质保持部21的构件。图中的箭头\表示输送介质保持部21的方向。一体支承部13在第2实施方式中被固定。另外，构件21a设置在输送部件23的输送带23a上。其他的结构与第I实施方式相同。接着，利用图2及图3对打印机IOa的动作的例子进行说明。中央控制部I向输送驱动部5发送信号，驱动输送驱动马达6，从而使输送部件23的带轮23b动作，将输送带23a向X[方向和与方向相反的方向送出。此时设置在输送带23a上的构件21a，在与保持部21 —起载置有介质20的状态下，在一体支承部13和被一体支承部13支承的喷墨头11及UV灯单元15的下侧进行往复动作。在该往复动作中，接收到来自中央控制部I的信号的喷墨头驱动部2使喷墨头11
(在图2中为喷墨头1、2......n)喷出墨 而在介质20上形成期望的图案。另外，接收到来自
中央控制部I的信号的紫外光控制部7对UV灯单元15内的灯(在图2中为灯1、2……n)的点灯进行控制，在合适的条件下向介质20照射波长为300nm以下的紫外光，从而使介质20的表面改性。能够与第I实施方式相同地适当选择图案形成及紫外光照射的顺序等。相对于第I实施方式的打印机10在使介质20静止的状态下使一体支承部13进行往复动作，在第2实施方式的打印机IOa中将一体支承部13固定而使介质20进行往复动作，从而进行向介质20的图案形成及紫外光的照射。当与打印机10比较时，打印机IOa需要供保持部21向\方向移动量的空间，但是能够在使一体支承部13固定的状态下进行图案形成、紫外光的照射等动作，因此提高装置的可靠性。即，由于能够使喷墨头11、UV灯单元15及与它们相关的电气类构件、UV灯单元15所附带的臭氧的排气口(参照第5实施方式)等固定，因此，能够获得功能下降等的可能性较小且可靠性较高的图案形成装置。另外，如后述的第7实施方式所示，在前后存在其他工序这样的流程中使用了图案形成装置的情况下，能够作为进行介质输送的流程中的一个工序而进行处理，因此能够高效地进行作业。接着，利用图4对本发明的图案形成装置的第2实施方式的变形例进行说明。在图4中，附图标记IOab为打印机。附图标记22为保持部兼输送部件，附图标记22a为环形输送带，附图标记22b为输送带轮，附图标记22c为空气吸引单元。图中的箭头\表不输送介质20的方向。介质20载置于保持部兼输送部件22的环形输送带22a上。在环形输送带22a的内侧具有空气吸引单元22c，将介质20以被吸引的状态保持在环形输送带22a之上。该打印机IOab的其它结构与第2实施方式的打印机IOa相同。另外，该打印机IOab的动作也与打印机IOa相同，但在变形例的打印机IOab中使用了环形输送带22c，从而利用一个结构实现了介质20的输送和保持，能够简化装置结构，因此能够实现装置的进一步小型化、节省空间化。在打印机IOab的情况下也能够与第2实施方式相同地将一体支承部13固定而进行相对于介质20的图案形成及紫外光的照射。因此，能够获得功能下降等的可能性较小且可靠性较高的图案形成装置。另外，如后述的第7实施方式所示，在前后存在其他工序这样的流程中使用了图案形成装置的情况下，能够作为进行介质输送的流程的一个工序而进行处理，因此能够高效地进行作业。在打印机10、10a、10ab中，线型喷墨头11也可以并列配置有多个。图5是以一体支承部13和被该一体支承部13支承的三列线型喷墨头11的、从墨喷出面侧观察的概略俯视图示出了具有三列线型喷墨头11的情况下的配置的图。附图标记Ila为从喷墨头11喷出墨的、配置为线状的喷嘴。如上所述，通过并列地配置多个喷墨头11，能够喷出多种墨，也能够应对彩色图像的形成、功能不同的多个多层图案的形成。接着，利用图6对本发明的图案形成装置的第3实施方式进行说明。第3实施方式是基本装置结构与第I实施方式相同，液体喷出部件不是所谓的线状的喷墨头而是小型的喷墨头的例子。图中的箭头Xk表示一体支承部13在介质的上侧进行往复动作的方向。另外，箭头Y表示喷墨头沿一体支承部13进行往复动作的方向。在图6中，附图标记IOb为打印机(图案形成装置)。附图标记12为喷墨头(液体喷出部件；以下，也可以简称为喷墨头)。喷墨头12以沿该一体支承部13在Y方向上进行往复动作的方式支承在具有与介质20的Y方向上的宽度相同或者稍微长于该宽度的长度的呈棱柱状的一体支承部13的侧表面的局部上。另外，在一体支承部13的另一侧表面上，贴合支承有UV灯单元15，上述喷墨头12、一体支承部13、UV灯单元15配置在介质20的上侦1K介质20载置在介质保持部21上。接着，利用图2及图6对打印机IOb的动作的例子进行说明。中央控制部I向输送驱动部5发送信号,驱动输送驱动马达6,从而使未图不的合适的输送部件动作，一体支承部13在一体地支承有喷墨头12及UV灯单元15这两者的状态下，在介质20的上侧向Xk方向和与Xk方向相反的方向进行反复动作。该往复动作过程中，接收到来自中央控制部I的信号的喷墨头扫描部3对扫描驱动马达4进行驱动，从而也使喷墨头12根据需要沿一体支承部13在Y方向上进行往复动作。在以上的由一体支承部13及喷墨头12进行的两个往复动作的过程中，接收到来自中央控制部I的信号的喷墨头驱动部2使喷墨头12喷出墨，在介质20上形成期望的图案。另外，接收到来自中央控制部I的信号的紫外光控制部7对UV灯单元15内的灯(在图2中为灯1、2……n)的点灯进行控制，在合适的条件下向介质20照射波长为300nm以下的紫外光，从而使介质20的表面改性。能够与第I实施方式相同地适当选择图案形成及紫外光照射的顺序等。如上所述，在打印机IOb中，由于使喷墨头12及UV灯单元15这两者在一体支承的状态下动作，因此，与第I实施方式相同，能够将动作抑制在最小限度内，能够实现节能化。另外，由于能够将装置整体的空间仅设为在介质大小的基础上添加机械余量的大小，因此能够实现装置的小型化、节能化。接着，利用图7对本发明的图案形成装置的第4实施方式进行说明。第4实施方式是基本结构与第3实施方式的打印机IOb相同，动作不同的例子。在图7中，附图标记IOc为打印机。图中的箭头\表示输送介质保持部21的方向。一体支承部13在第4实施方式中被固定。该打印机IOc的其它的结构与第3实施方式相同。接着，利用图2及图7对打印机IOc的动作的例子进行说明。中央控制部I向输送驱动部5发送信号，驱动输送驱动马达6，从而驱动未图示的合适的输送部件，保持部21在载置有介质20的状态下，在一体支承部13和被该一体支承部13支承的喷墨头12及UV灯单元15的下侧进行往复动作。在该往复动作中，中央控制部I向喷墨头扫描部3发送信号，驱动扫描驱动马达4，从而也使喷墨头12根据需要沿一体支承部13在Y方向上进行往复动作。在以上的由一体支承部13及喷墨头12进行的两个往复动作中，接收到来自中央控制部I的信号的喷墨头驱动部2，使喷墨头12 (在图2中
为喷墨头1、2......n)喷出墨，在介质20上形成期望的图案。另外，接收到来自中央控制部
I的信号的紫外光控制部7对UV灯单元15内的灯(在图2中为灯1、2……n)的点灯进行控制，在合适的条件下向介质20照射波长为300nm以下的紫外光，从而使介质20的表面改 性。能够与第I实施方式相同地适当选择图案形成及紫外光照射的顺序等。
如上所述，在第4实施方式的打印机IOc中，通过将一体支承部13固定，使介质20进行往复动作，从而进行向介质20的图案形成及紫外光的照射。因此，与第2实施方式相同，能够获得功能下降等的可能性较小且可靠性较高的图案形成装置。另外，如后述的第7实施方式所示，在前后存在其他工序这样的流程中使用了图案形成装置的情况下，能够作为进行介质输送的流程的一个工序来进行处理，因此能够高效地进行作业。接着，利用图8对本发明的图案形成装置的第5实施方式进行说明。第5实施方式是在第I实施方式 第4实施方式的图案形成装置10、10a、10ab、10b、10c的UV灯单元15中，配置长度不同的多个灯而构成的例子。图8的左图是从紫外光的照射面侧观察UV灯单元15的内部的俯视图，右图是将左图沿C-C线切开，沿箭头方向观察时的主要部分的剖视图。在图中，附图标记15a为小灯(紫外光源灯)，附图标记15b为大灯(紫外光源灯)。在此，使纵横各两列的小灯15a和纵一列横两列的大灯15b彼此错开配置。图中的W表示介质20的最大宽度，灯15a及灯15b配置在该最大宽度W的范围内。附图标记15c是用于反射紫外光的反射板，附图标记15d是用 于排出在UV灯单元15内产生的臭氧的排气口。另外，附图标记24是片材状的挠性构件，是以阻断来自UV灯单元15的泄漏光为目的而具备的。采用该挠性构件24，具有防止向操作者的眼睛照射紫外线，并且在墨为紫外线固化型墨的情况下，防止墨在喷墨头的喷嘴面处固化的效果。通过采用挠性构件，即使与介质20相接触，划伤介质20的表面的可能性也较小。图中的箭头&表示扫描介质的方向。若如第5实施方式所示通过配置不同长度的紫外光源灯(小灯15a、大灯15b)而构成UV灯单元15，则能够向与介质20记录的图案形状相应的范围内照射紫外光。紫外光的照射是通过使图2中所述的紫外光控制部7对小灯15a及大灯15b的点灯进行控制来进行的。紫外光控制部7接收来自中央控制部I的信号，根据需要使UV灯单元15内的小灯15a及大灯15b的各个灯(图2中的1、2、……n)点灯。中央控制部I根据介质的期望图案的形状，决定与其相应的灯的位置及数量，并将该信息发送至紫外光控制部7。于是，例如能够与介质的形状相应地使两列小灯15a点灯，或者使一列小灯15a和一列大灯15b点灯，或者仅使大灯15b点灯。如上所述在第5实施方式中，通过配置长度不同的多个紫外光源灯(小灯15a及大灯15b)而构成UV灯单元15，能够向与介质的期望图案的形状相应的范围内照射紫外光，因此，能够实现装置的进一步节能化 高效化。另外，紫外光控制部7能够根据最适于介质20表面改性的紫外光的照射光量和输送扫描速度，控制上述UV灯单元15中的紫外光的发光量或发光时间中的至少一者。在该情况下，中央控制部I向紫外光控制部7发送根据所使用的介质、墨或者该介质与墨的组合而被预先设定的合适的照射光量及输送扫描速度的信息，从而使紫外光控制部7对UV灯单元15的发光量、发光时间或者发光量与发光时间这两者进行控制。因而，能够以合适的条件对介质进行紫外光的照射。接着，利用图9对本发明的第6实施方式进行说明。第6实施方式是将第3实施方式及第4实施方式的打印机所使用的图案形成用的墨设为紫外线固化型墨的例子。在图9中，附图标记12a为喷墨头，附图标记12b为用于喷出墨的喷嘴。另外，附图标记14为扫描机构部，由附图标记14a表示的扫描输送带和附图标记14b表示的扫描带轮构成。扫描带轮14与扫描驱动马达4 (图2)卡合。附图标记16为LED灯单元(光源)。附图标记30为搭载有LED灯单元16和四列喷墨头12a的滑架。图中的箭头Y是滑架30进行往复动作的方向。扫描机构部14设置在一体支承部13内，与滑架30机械连接。接着，对动作进行说明。接收到来自中央控制部I的信号的喷墨头扫描部3驱动扫描驱动马达4，从而利用一体支承部13内的扫描机构部14中的、从扫描带轮14b 送出的扫描输送带14a，使滑架30沿一体支承部13的侧表面在Y方向上进行往复动作。此时，接收到来自中央控制部I的信号的喷墨头驱动部2使各个喷墨头12a的喷嘴12b喷出不同种类的墨，在介质上形成图案。然后，从LED灯单元16照射波长为300nm以上的紫外光，使喷出的墨固化。用于使墨固化的合适的紫外光的波长，具体来说为360nm 390nm左右，因此将紫外光的波长设在该范围内即可。根据上述内容也可知，即使在使用由紫外光进行固化的类型的墨的情况下，也能够适用本发明的图案形成装置。接着，利用图10对本发明的第7实施方式进行说明。第7实施方式是具有合适的前处理部而构成本发明的图案形成装置的例子。在图10中，附图标记40为加温处理部，附图标记41为加热构件。附图标记50为浸溃处理部，附图标记51为溶剂槽，附图标记53为干燥及待机槽。另外，附图标记60为紫外光照射及图案形成部，在此示出了适用打印机IOab的例子。另外，图中的箭头表示输送介质的方向，附图标记L表示用于输送介质的输送线。接着，对动作的例子进行说明。首先，将基板、图像片材等介质搭载在输送线L上，向加温处理部40输送。在加温处理部40内，利用加热构件41将介质加热至合适的温度。例如在介质为聚烯烃类薄膜(聚乙烯、聚丙烯等)的情况下，以40°C 70°C的温度加热I分钟 10分钟左右。作为加热构件41，例如合适使用了远红外线光源的加热器等。利用加温处理部40对介质进行加热处理，从而具有如下效果，即，促进接下来的浸溃处理中的效果，在之后进行的在介质上形成图案时，进一步提高由紫外光的照射引起的液体(墨)的润湿性。接下来，利用输送线L，将被加温处理部40加热的介质向与加温处理部40邻接的浸溃处理部50输送。当将介质输送至浸溃处理部50内时，介质首先被输送至溶剂槽51，在溶剂槽51内与溶剂相接触。作为所使用的溶剂的一个例子，例如举出有酮类、卤素化碳化氢类、丙酮、苯、对苯二酚等。介质与溶剂相接触后，使介质在干燥及待机槽53内干燥。在该浸溃处理部50中，通过使介质与溶剂相接触，从而具有以下效果，S卩，在之后进行的在介质上形成图案时，进一步提高由紫外光的照射引起的液体(墨)的润湿性。在第7实施方式中，作为前处理部而包括有加温处理部40及浸溃处理部50，因此，能够使上述的效果更加可靠。然后，将介质输送至紫外光照射及图案形成部60，利用打印机IOab进行图案形成和紫外光的照射。本发明并不限于上述的实施方式是显而易见的。例如，在实施方式I 实施方式7中，示出了本发明的图案形状装置适用于喷墨打印机的例子，但只要是相对于被图案形成体喷出液体而进行图案形成的装置即可，本发明的图案形状装置能够适用于各种装置。例如，也能够适用于半导体装置等。
另外，介质也并不限定于上述实施方式的介质，本发明也可以适用于电子回路基板、电子零件、平面显示面板、滤色片、保护膜等的、硬质或软质的薄片面、板面，或者具有凹凸的面。另外，作为所使用的墨，能够为含有适用于各介质的颜料、染料的彩色墨、有机半导体材料、导电材料等的电子材料墨、由耐湿性材料、耐光材料形成的保护膜等的各种功能性墨，作为介质的材质，能够为打印纸、薄膜、布料、金属、玻璃、树脂及其它各种合适的材质。另外，本发明的图案形成装置并不仅限定于上述的图示例，能够在不脱离本发明的主旨的范围内变更为各种装置。例如，只要一体支承部13能够一体地支承液体喷出部件和紫外光照射部件即可，一体支承部13的形状也可以是图示例以外的形状。另外，在第5实施方式中表示为将长度不同的多个紫外光源灯彼此错开地排列配置，但也可以是其它配置。另外，在此一体支承部13及介质20的移动动作为往复动作，但只要能够进行本发明的动作即可，也可以采用其它的动作方式。附图标记说明
I、中央控制部；2、喷墨头驱动部；3、喷墨头扫描部；4、扫描驱动马达；5、输送驱动部；6、输送驱动马达；7、紫外光源控制部；10、打印机(图案形成装置);11、线状的喷墨头(液体喷出部件)；I la、喷嘴；12、12a、喷墨头(液体喷出部件)；12b、喷嘴；13、一体支承部；13a、引导构件；14、扫描机构部；14a、扫描输送带；14b、扫描带轮；15、UV灯单兀(照射紫外光的紫外光照射部件)；15a、小灯；15b、大灯；16、LED灯单元(光源)；17、反射板；19、排气口 ；20、介质；21、21a、介质保持部；22、介质保持部兼输送部件；22a、环形输送带；22b、输送带轮；22c、空气吸引单元；23、输送部件；23a、输送带；23b、带轮；24、挠性构件;30、滑架;40、加温处理部；41、加热构件；50、浸溃处理部；51、溶剂槽；60、干燥及待机槽；60、紫外光照射及图案形成部！XioX1j、输送方向；Y、喷墨头的喷嘴排列方向；L、输送介质的输送线。
权利要求
1.一种图案形成装置，其特征在于， 该图案形成装置包括 液体喷出部件，其向被图案形成体喷出液体而进行图案形成； 紫外光照射部件，其向上述被图案形成体照射上述被图案形成体的表面改性用的紫外光；以及 一体支承部，其用于对上述液体喷出部件及上述紫外光照射部件这两者进行支承。
2.根据权利要求I所述的图案形成装置，其特征在于， 上述液体为墨，上述液体喷出部件为喷墨头。
3.根据权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于， 上述喷墨头为具有呈线状配置且用于喷出上述墨的喷嘴的线状的喷墨头。
4.根据权利要求2或3所述的图案形成装置，其特征在于， 上述一体支承部在上述被图案形成体的上侧进行移动动作，在上述一体支承部的移动动作过程中，上述紫外光照射部件向上述被图案形成体照射紫外光，并且上述喷墨头向上述被图案形成体进行图案形成。
5.根据权利要求2或3所述的图案形成装置，其特征在于， 上述被图案形成体在上述一体支承部的下侧进行移动动作，在上述被图案形成体的移动动作过程中，上述紫外光照射部件向上述被图案形成体照射紫外光，并且上述喷墨头向上述被图案形成体进行图案形成。
全文摘要
本发明提供一种图案形成装置，其能够最小限度地抑制装置的动作，实现图案形成装置的节省空间化、节能化。打印机(10)包括喷墨头(11)，其向介质(20)喷出墨而进行图案形成；UV灯(15)，其向介质(20)照射表面改性用的紫外光；以及一体支承部(13)，其用于对喷墨头(11)及UV灯(15)这两者进行支承。
文档编号B41J2/01GK102712195SQ2010800620
公开日2012年10月3日 申请日期2010年1月20日 优先权日2010年1月20日
发明者八角邦夫 申请人:株式会社御牧工程