在一基体上形成图案的方法和装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2506558

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本发明涉及一种在一基体上形成图案的方法和装置。EP 0590164B1已公开了这样一种方法和这样一种装置。在该现有方法中,用其上至少有一喷嘴的一喷头按照一图案把液体喷到一基体上,为此,用驱动装置使其上至少有一喷嘴的喷头与基体作相对运动。该液体比方说可以是液化蜡,在喷到基体上后干燥,从而按照图案盖住基体。事实表明,在图案较大而加工时间较长时喷头的某些或所有喷嘴会发生堵塞,从而导致图案质量下降。在液滴从喷头喷到基体上时,由于液滴在基体上飞溅以及其他物理效应,会...
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