技术编号：2517020
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种晶圆打印作业设备，在台配置有打印装置及承载转位装置，该打印装置设有至少一执行晶圆打印作业的打印器，该承载转位装置位于打印装置的上方，并设有复数个承载器，该复数个承载器包含第一、二承载器，第一承载器承置打印面朝下的晶圆，并在相对应打印器的位置设有通孔，第二承载器位于第一承载器的通孔处，并设有承置晶圆的支撑件，该支撑件遮蔽通孔的局部，并使通孔未被遮蔽的部位形成一可供打印器对晶圆打印的作业区，承载转位装置设有具至少一驱动器的驱动机构，并以驱动器驱...
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