技术编号:25312427
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及多晶硅清洗回收技术领域,尤其涉及一种多晶硅清洗回收预处理单元、包括该预处理单元的多晶硅清洗机和多晶硅清洗方法。背景技术.多晶硅作为半导体行业单晶硅的基础材料,具有极高的洁净度要求,一般情况下是从专业的多晶硅原料供应商处购得合格的产品,但在拉晶过程中会出现很多晶棒结构损失的情况,以及在后续辊磨和截断工段偶发性出现机器故障导致单晶硅发生晶裂,这时就需要对其多晶部分和晶裂的硅材料回收利用,降低原材料成本。一般情况下,对于多晶硅棒的回收是需要进行预先破碎的,然后再将破碎之后的多晶硅送往多...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。