技术编号:25717742
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及基板传送装置及基板清洗装置。背景技术例如,作为对使用于lcd(liquidcrystaldisplay)或oled(organiclight-emittingdiode)等平板显示器(fpd:flatpaneldisplay)用的玻璃板进行清洗的清洗装置,已知有具备使辊刷与玻璃板的表面或背面接触而进行清洗的刷清洗机构部和保持玻璃板的端部并将玻璃板沿着与辊刷的长度大致正交的方向传送的传送机构部的结构(例如,参照专利文献1)。在该清洗装置中,构成传送机构部的传送辊和防上浮辊夹着玻璃板的...
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