技术编号：26000135
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄型晶片生产技术领域，特别涉及一种薄型晶片双面研磨用吸附垫及生产方法。背景技术目前，对于陶瓷、蓝宝石等材料的单侧表面抛光处理，通常采用粘蜡方式，即将陶瓷、蓝宝石等晶片(本发明中以晶片指代上述材料产品)需要抛光表面的相对面刷蜡，并粘在托盘上，然后在抛光机上进行旋转式研磨抛光，之后将托盘放在烤箱上加热，使晶片和托盘分离。该方式操作流程复杂，使用不便，并且托盘多为陶瓷材质，反复加热、冷却，容易导致其破裂、报废。中国专利cn207578164u公开了一种吸附垫，包括：第一环氧树脂板、第一胶层、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。