技术编号：26054904
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种蝶阀，其配设在将真空室与真空泵连接的配管上，进行真空室的真空压力控制，该蝶阀由具有电动机的驱动部与在内部具有流路和蝶阀体的阀部结合而成的，连接于电动机的连杆从驱动部延伸而从阀部所具有的插通孔插入流路而与蝶阀体结合。背景技术以往，在半导体制造工序中，在真空室与真空泵之间，配置流路的电导较大的蝶阀作为真空压力控制装置来控制真空室的真空压力的情况较多。例如，使用专利文献1所公开那样的蝶阀，其由具有电动机的驱动部与在内部具有流路和蝶阀体的阀部结合而成的，连接于电动机的连杆从驱动部延伸而从阀...
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