蝶阀的制作方法

本发明涉及一种蝶阀，其配设在将真空室与真空泵连接的配管上，进行真空室的真空压力控制，该蝶阀由具有电动机的驱动部与在内部具有流路和蝶阀体的阀部结合而成的，连接于电动机的连杆从驱动部延伸而从阀部所具有的插通孔插入流路而与蝶阀体结合。

背景技术：

以往，在半导体制造工序中，在真空室与真空泵之间，配置流路的电导较大的蝶阀作为真空压力控制装置来控制真空室的真空压力的情况较多。例如，使用专利文献1所公开那样的蝶阀，其由具有电动机的驱动部与在内部具有流路和蝶阀体的阀部结合而成的，连接于电动机的连杆从驱动部延伸而从阀部所具有的插通孔插入流路而与蝶阀体结合。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2019-19851号公报。

技术实现要素：

发明要解决的问题

可是，上述现有技术存在以下那样的问题。

近年来，伴随着通过原子层沉积法(ald法)等将半导体的制造循环高速化，作为蝶阀的连杆的旋转次数，寻求数千万次的高耐久性。在以往的蝶阀中，为使控制流体(工艺气体)不会从流路通过插穿连杆的插通孔向蝶阀的外部流出，在连杆外周面配设o形环并且进行插通孔的密封，但是，o形环不具有经得起数千万次旋转那样的充分的耐久性。由于o形环的耐久性不充分，所以在短期间内密封相对于连杆的旋转不完全，工艺气体向蝶阀外部流出，存在污染外部空气的可能性。此外，当在短期间内密封不完全时，必须在短期内将蝶阀更换为新的蝶阀，存在降低半导体制造效率的可能性。

本发明用于解决上述问题点，其目的在于提供一种通过针对连杆的旋转提高密封的耐久性来防止工艺气体的外部泄露造成的外部空气污染并且高寿命的蝶阀。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明的蝶阀具有以下那样的结构。

一种蝶阀，其配设在将真空室与真空泵连接的配管上，进行所述真空室的真空压力控制，所述蝶阀具有：驱动部，其具有电动机；阀部，其与所述驱动部结合，在内部具有流路和蝶阀体；以及连杆，其连接于所述电动机并且从所述驱动部延伸而从所述阀部所具有的插通孔插入所述流路，与所述蝶阀体结合，其中，所述驱动部具有：端部，其与所述阀部结合；中空部，其在所述电动机与所述端部之间，被插穿所述连杆；圆筒状的磁性构件，其以与所述连杆同轴的方式配置在所述中空部中，覆盖所述连杆的外周面；以及磁性流体，其填充到所述磁性构件的外周面与所述中空部的内周面之间的空隙，所述连杆由非磁性的耐蚀性合金构成。

根据上述所记载的蝶阀，驱动部在电动机与结合有阀部侧的端部之间具有被插穿连杆的中空部，在中空部中以与连杆同轴的方式配置覆盖连杆的外周面的圆筒状的磁性构件，并且在磁性构件的外周面与中空部的内周面之间的空隙填充磁性流体，因此，在中空部中，磁性流体由磁性构件的磁力保持，形成所谓的磁性流体密封。即使连杆进行数千万次旋转，磁性流体密封也难以劣化，与o形环相比，针对连杆的旋转，密封的耐久性较高。此外，想要从流路通过插通孔向蝶阀的外部流出的工艺气体，被磁性流体密封阻止流出。因此，提高密封的耐久性并能够防止工艺气体向蝶阀的外部流出而污染外部空气，能够防止蝶阀的寿命减低以及半导体制造效率降低。

通过使用磁性流体，从而产生以下那样的新的问题。为了将磁性流体保持于连杆的外周，考虑例如连杆使用磁性体的不锈钢。可是，磁性体的不锈钢与非磁性体的不锈钢相比，耐蚀性恶劣。连杆是插入到流路而与工艺气体相接的接气体构件，因此，在连杆由磁性体的不锈钢构成的情况下，存在连杆由于工艺气体而腐蚀的可能性。

因此，在本发明中，连杆由非磁性的耐蚀性合金构成，防止连杆的腐蚀。而且，为了磁性流体的保持，使用覆盖连杆的外周面的圆筒状的磁性构件。

在上述所记载的蝶阀中，阀部具有用于输入弛放气的输入端口、以及将输入端口与插通孔连通的弛放气流路，输入端口和流路通过弛放气流路和插通孔连通。

根据上述所记载的蝶阀，用于输入弛放气的输入端口和阀部的流路通过弛放气流路和插通孔连通，因此，从输入端口输入的弛放气通过弛放气流路和插通孔输出到流路中。通过弛放气从插通孔朝向流路流动，从而想要从流路通过插通孔向磁性流体密封部侵入或向蝶阀的外部流出的工艺气体向流路退回。因此，能够防止工艺气体侵入到磁性流体密封部或流出到蝶阀的外部，能够防止外部空气的污染或蝶阀的寿命降低以及半导体制造效率降低。

在上述所记载的蝶阀中，阀部具有对阀部进行加热的加热器，弛放气流路形成在加热器的附近，并且具有热交换器，通过被加热器加热后的热交换器将弛放气加温到规定的温度。

根据上述所记载的蝶阀，能够防止由于工艺气体的成分的固体化而造成的颗粒的产生。

用于半导体制造工序的工艺气体在常温下是固体或液体，在被高温加热后的气体状态下使用(例如被加热到200度左右)。因而，从输入端口输入的弛放气需要在输出到流路之间加热。这是因为，当温度较低的状态下输出到流路后的弛放气与工艺气体接触时，由于工艺气体的温度降低，所以工艺气体固体化或液化，存在在流路或配管堆积固体化后的工艺气体等生成物的可能性。为了防止其，也考虑将弛放气在蝶阀的外部加热后向蝶阀供给，但是，由于在使用蝶阀的半导体制造装置中另外需要用于加热的装置，所以不优选。因此，如本发明那样，只要阀部具有加热器，弛放气流路形成在加热器的附近，并且具有热交换器，则能够利用加热器的热来将在弛放气流路中通过的弛放气加热到规定的温度，因此，半导体制造装置不需要另外加热用的装置，能够防止工艺气体的固体化或液化，能够防止在流路或配管堆积固体化后的工艺气体等生成物。

在上述所记载的蝶阀中，连杆在与插通孔的内周面相对的外周面具有沿连杆的轴向排列的多个凹部，通过插通孔的内周面和多个凹部形成迷宫密封。

根据上述所记载的蝶阀，能够防止真空室中急剧的压力变动造成的磁性流体密封的破坏。

例如，在作业者弄错操作而真空室的压力急剧地降低的情况下，在流路中产生急剧的负压。驱动部内的气体由于在流路中产生的急剧的负压而被向流路急剧吸出，驱动部内的压力急剧地降低。磁性流体由磁性构件的磁力保持，但是，当驱动部内的压力急剧降低时，向磁性流体施加过大的压力冲击，存在磁性流体密封被破坏而不会发挥作用的可能性。当磁性流体密封被破坏时，不能防止工艺气体向驱动部侵入。因此，如本发明那样，通过连杆在与插通孔的内周面相对的外周面具有沿连杆的轴向排列的多个凹部，并且通过插通孔的内周面和多个凹部形成迷宫密封，由此，即使在流路中产生急剧的负压，迷宫密封将从驱动部内向流路被吸出的气体的量缩小，因此，驱动部内的压力不会急剧地降低，向磁性流体施加的压力冲击被缓和。由此，能够防止磁性流体密封的破坏。

在上述所记载的蝶阀中，在磁性流体与迷宫密封之间具有缓冲容积。

根据上述所记载的蝶阀，在磁性流体与迷宫密封之间具有缓冲容积，因此，在流路中发生急剧的压力降低时从驱动部吸出的气体的量与不具有缓冲容积的情况相比増加，能够更可靠地缓和向磁性流体施加的压力冲击以及防止磁性流体密封的破坏。

发明的效果

本发明的蝶阀通过具有上述结构而能够成为针对连杆的旋转，通过提高密封的耐久性来防止工艺气体的外部泄露造成的外部空气污染并且高寿命的蝶阀。

附图说明

图1是使用本发明的实施方式所涉及的蝶阀的真空压力控制系统的概要图；

图2是本发明的实施方式所涉及的蝶阀的、沿与旋转轴的轴线平行且与流路平行的方向切断后的截面图；

图3是本发明的实施方式所涉及的蝶阀的、沿与旋转轴的轴线平行且与流路正交的方向切断后的截面图；

图4是图3的x2部分的部分放大图；

图5是图2的x1部分的部分放大图；

图6是表示真空室的压力值与由磁性流体负荷的压力值的关系的曲线图。

具体实施方式

一边参照附图一边对本发明的蝶阀的实施方式详细地说明。

如图1所示，本实施方式的蝶阀1在半导体制造工序中被配设在将真空室32与真空泵33连接的配管34上，被用作对从气体供给源37供给气体的真空室32的压力进行控制的真空压力控制装置。

图2是本实施方式所涉及的蝶阀1的、沿与旋转轴11a的轴线ra平行且与流路30平行的方向切断后的截面图。此外，图3是本实施方式所涉及的蝶阀1的、沿与旋转轴11a的轴线ra平行且与流路30正交的方向切断后的截面图。再有，图2、图3都表示闭阀状态。

如图2和图3所示，蝶阀1由驱动部2和阀部3构成。驱动部2具有耐久性优越的直接驱动电动机(本发明的电动机的一例。以下为dd电动机)11，如图1所示，dd电动机11连接于电动机驱动器12和编码器14。此外，电动机驱动器12连接于控制基板13。dd电动机11不需要减速机等中间机构，因此，除了驱动部2的小型化、噪声的减少之外，还提高响应性能、速度稳定性能、定位精度。因此，利用蝶阀1的真空压力控制的精度提高。此外，如图2和图3所示，dd电动机11具有旋转轴11a，将旋转轴11a的旋转中心设为轴线ra。

如图1所示，在控制基板13连接有电动机驱动器12和对真空室32的压力进行检测的压力计35。控制基板13具有存储单元131，在存储单元131例如存储有蝶阀体9的全闭位置和全开位置或真空室32的任意的目标压力等所对应的旋转轴11a的旋转角度(即，后述的连杆(rod)10的旋转角度)。而且，电动机驱动器12基于从存储单元131读出的旋转角度，对dd电动机11的旋转进行控制。

如图2和图3所示，在旋转轴11a经由金属板弹簧式的联轴器(coupling)17连接有连杆10的一端(在图2、3中为上端)。由于联轴器17，即使连杆10被在后述的流路30中流动的工艺气体(例如，200度左右的气体)加热，该热也难以传递到dd电动机11。

此外，在驱动部2中，在阀部3堆积壳体16、绝热构件7、散热器15和dd电动机11来结合。驱动部2在dd电动机11与阀部3之间具有散热器15和绝热构件7，因此，能够防止被工艺气体或后述的加热器27a、27b加热后的阀部3的热被传递到dd电动机11。

壳体16被形成为中空的圆筒状。由此，驱动部2具有与阀部3结合的端部(在图2中为下端部)16c，在dd电动机11与端部16c之间具有中空部16a。连杆10插穿中空部16a，以与连杆10同轴的方式，配置覆盖连杆10的外周面的圆筒状的磁性构件18。并且，在磁性构件18的外周面18a与中空部16a的内周面16d之间的空隙16e填充有磁性流体19。磁性流体19由磁性构件18的磁力保持，因此，形成所谓的磁性流体密封。

在壳体16与阀部3之间配设有o形环31，利用o形环31保持后述的流路30和缓冲容积51的气密。

在磁性构件18和磁性流体19的dd电动机11侧配设有沿连杆10的轴向相邻地排列的2个滚珠轴承(ballbearing)21a、21b，滚珠轴承21a、21b以能旋转的方式轴支承连杆10。滚珠轴承21a、21b通过被轴承压板24和磁性构件18从上下方向夹持而被固定。

此外，壳体16在与阀部3连接的端部(在图2中为下端部)16c具有有内径比连杆10的外径大的贯通孔16b，插穿中空部16a后的连杆10通过贯通孔16b向阀部3插入。

与驱动部2连结的阀部3具有阀体8和蝶阀体9。阀体8由具有耐腐蚀性或耐热性的不锈钢构成。

阀体8在图2中的左端部具有接头5并且在图2中的右端部具有接头6，在接头5的内壁形成输入侧流路8b，在接头6的内壁形成输出侧流路8c。而且，在输入侧流路8b与输出侧流路8c之间形成有在图3中由截面圆弧状的内壁构成的阀孔8a。如图2所示，输入侧流路8b、阀孔8a和输出侧流路8c被设置在同轴上并且将它们连通，构成一连串流路30。然后，在例如半导体制造工序中，如图1所示，接头5经由配管34连接于真空室32，接头6经由配管34连接于真空泵33，通过流路30进行真空室32的排气。

此外，如图3所示，阀体8具有作为对阀体8的温度进行测量的温度传感器的热电偶28。并且，阀体8保持在流路30中流动的流体的温度，因此，以在阀孔8a的直径方向上夹持阀孔8a的方式具有一对加热器27a、27b。加热器27a、27b是筒式加热器，与蝶阀1的外部的控制装置(未图示)连接。而且，加热器27a、27b通过控制装置进行基于热电偶28的测量值的接通或关断的控制，调整阀体8的温度。此外，阀体8具有恒温器29。恒温器29在加热器27a、27b失控而过剩地加热阀体8的情况下进行工作。当恒温器29进行工作时，控制装置使加热器27a、27b停止。

并且，如图2和图3所示，阀体8具有将连接于驱动部2的端面(上端面)8e和阀孔8a贯通的插通孔8d，连杆10插穿插通孔8d。插穿插通孔8d后的连杆10沿与流路30正交的方向架设在阀孔8a中。再有，插通孔8d具有套管(bushing)20，套管20的内周面20a形成插通孔8d的内周面的一部分。套管20由耐蚀性高且滑动性好的树脂构成，因此确保了连杆10顺利的旋转。

插通孔8d的上端部(在上端面8e开口的部位)与具有套管20的部分相比拡径，如作为图3的x2部分的部分放大图的图4所示，在与连杆10的外周面之间形成第一空间511。并且，在壳体16的贯通孔16b的内周面与连杆10的外周面之间形成第二空间512，通过第一空间511和第二空间512形成缓冲容积51。

连杆10是将作为非磁性的耐腐蚀性合金的不锈钢(例如sus316l)削出而呈圆柱状地形成的。如作为图2的x1部分的部分放大图的图5所示，在连杆10插穿插通孔8d的部分的外周面设置有沿连杆10的轴向排列的多个凹部10a～10e，通过插通孔8d的内周面(套管20的内周面20a)和多个凹部10a～10e形成迷宫密封(labyrinthseal)50。

此外，如图2和图3所示，连杆10插穿流路30侧的一端(在图2、3中为下端)以能旋转的方式被套管22轴支承。套管22由耐蚀性高且滑动性好的树脂构成。如上述那样，连杆10也被滚珠轴承21a、21b轴支承，因此连杆10被滚珠轴承21a、21b和套管22轴支承以两端固定状态轴支承。连杆10以两端固定状态被轴支承，所以旋转中心轴稳定而难以摇晃。

连杆10插入流路30的部分具有阀体安装部10f，结合有蝶阀体9。蝶阀体9是将具有耐腐蚀性或耐热性的不锈钢削出而呈圆板状形成的。外径与阀孔8a的内径大致相同，蝶阀体9的外周与阀孔8a的内壁的缝隙极小。

如图2所示，蝶阀体9通过螺钉25a、25b、25c和垫圈26a、26b、26c与连杆10结合。再有，螺钉25a、25b、25c3个都是同一种类的螺钉，垫圈26a、26b、26c3个也都是同一种类的垫圈。

由于蝶阀体9与连杆10结合，所以，当dd电动机11的旋转轴11a以轴线ra为中心沿正方向k旋转时，使与旋转轴11a经由联轴器17连接后的连杆10沿正方向k旋转，使堵塞阀孔8a后的蝶阀体9沿相同方向旋转。当连杆10的旋转角度为90度时，蝶阀体9为流路30被开放的全开位置，因此能够从真空室32大量排气。

另一方面，在蝶阀体9为全开位置的状态下，当dd电动机11的旋转轴11a以轴线ra为中心沿与开阀时相反方向即负方向-k旋转90度时，连杆10沿-k方向旋转，蝶阀体9为堵塞阀孔8a的全闭位置。在蝶阀体9为全闭位置时，在蝶阀体9的外周面与阀孔8a的内壁之间设置有极小的缝隙，因此并不是被完全密封的状态，蝶阀体9可以说起到缩小的作用。因而，真空室32并不停止排气，处于不断排气的状态。这是因为，只要能够通过ald控制真空室32的压力即可，不需要完全密封流路30。

如图3所示，在阀体8经由弛放气(purgegas)管42连接有用于输入弛放气的输入端口41。在弛放气管42的内部设置有流路42a。

并且，用于插入后述的热交换器43的插入孔8f从阀体8的上端面8e到加热器27a附近以相对于轴线ra具有角度的方式贯穿设置在阀体8中。该插入孔8f通过连通孔8g与弛放气管42的流路42a连通，并且也通过连通孔8h、8i与插通孔8d连通。

在插入孔8f插入具有比插入孔8f的内径稍微小的外径并且在内部具有中空部43a的圆筒状的热交换器43。由于热交换器43具有比插入孔8f的内径稍微小的外径，所以，在热交换器43的外周面与插入孔8f之间形成空间81。而且，在热交换器43的、阀体8的上端面8e侧的端部安装有o形环45，由插入孔8f压缩的o形环45将空间81密闭。

通过上述说明的流路42a、连通孔8g、热交换器43的中空部43a和连通孔8h、8i形成弛放气流路44，弛放气流路44将输入端口41与插通孔8d连通。也就是说，通过弛放气流路44和插通孔8d将输入端口41与流动工艺气体的流路30连通，因此，从输入端口41输入的弛放气被输出到流路30。

当详细地进行说明时，弛放气在通过流路42a、连通孔8g后到达插入孔8f。在此时，o形环45防止弛放气向阀体8的上端面8e侧流动，因此，弛放气在空间81中朝向接近加热器27a的插入孔8f的最下端流动。然后，到达插入孔8f的最下端的弛放气通过热交换器43的中空部43a朝向阀体8的上端面8e侧流动。热交换器43被加热器27a加热到200度左右，因此，弛放气在通过空间81和中空部43a时被加热。然后，通过中空部43a而到达阀体8的上端面8e的弛放气进一步通过连通孔8h、8i流动到插通孔8d。插通孔8d的上方形成有磁性流体密封，弛放气不会向dd电动机11侧流入，到达插通孔8d的弛放气向流路30输出。

接着，说明使用蝶阀1的真空压力控制的概要。

蝶阀体9即使在处于全闭位置的情况下也相对于阀孔8a的内周面具有极小的缝隙，因此起到缩小的作用。因而，蝶阀1总是进行利用真空泵33的工作的真空室32的排气。然后，蝶阀体9在从全闭位置(旋转角度0°)到全开位置(旋转角度90°)之间以任意的旋转角度进行旋转，调整流路30的流路面积，以使真空室32成为目标的压力。

例如，从全闭位置的状态或者以任意的旋转角度旋转后的位置更大量地进行排气，在使真空室32的压力降低的情况下，蝶阀1的控制基板13从存储单元131读出作为目标的压力所对应的旋转角度。然后，电动机驱动器12基于读出的旋转角度，使用编码器14来驱动dd电动机11。连杆10通过dd电动机11沿正方向k进行旋转直到读出的旋转角度。与连杆10结合后的蝶阀体9与连杆10整体地沿正方向k进行旋转，使缩小后的流路面积扩大。

另一方面，从全开位置的状态或者以任意的旋转角度旋转后的位置缩小排气的量，在使真空室32的压力上升的情况下，蝶阀1的控制基板13从存储单元131读出作为目标的压力所对应的旋转角度。然后，电动机驱动器12基于读出的旋转角度，使用编码器14来驱动dd电动机11。然后，连杆10沿与使真空室32的压力降低的情况相反方向即-k进行旋转。与连杆10结合后的蝶阀体9与连杆10整体地沿-k的方向进行旋转，将扩大后的流路面积缩小。

如以上那样，在由蝶阀体9调整流路面积的流路30中，流动由真空泵33吸引的工艺气体。虽然在流路30中流动的工艺气体想要从插通孔8d向驱动部2侵入，但是，在构成驱动部2的壳体16的中空部16a中，由磁性构件18的磁力所保持的磁性流体19形成磁性流体密封，因此，工艺气体不能从磁性流体密封浸入到dd电动机11侧。由此，弛放气向蝶阀1的外部流出，能够防止外部空气被污染或蝶阀1的寿命降低以及半导体制造效率降低。此外，关于磁性流体密封，即使连杆10进行数千万次旋转，密封性也难以劣化，相对于旋转次数，耐久性増大非常高。

并且，从输入端口41输入的弛放气通过弛放气流路44和插通孔8d输出到流路30，因此，想要从流路30通过插通孔8d而向蝶阀1的外部流出的工艺气体被退回到流路30。因此，弛放气更可靠地向蝶阀1的外部流出，能够防止外部空气被污染或蝶阀1的寿命降低以及半导体制造效率降低。

此外，弛放气通过流出到流路30而与工艺气体接触。

工艺气体在常温下为固体或者液体，因此，被加热到例如200度左右而使用。因此，当弛放气的温度较低时，工艺气体进行固体化或液化，存在在流路30或配管34中堆积固体化后的工艺气体等生成物的可能性。可是，在本实施方式中，弛放气在弛放气流路44中流动时，通过热交换器43加热到例如160度左右，因此，即使弛放气与工艺气体接触，也不会存在使工艺气体固体化或液化的可能性。

在此，虽然磁性流体19由磁性构件18的磁力保持，但是当由于真空室32的急剧的压力变动而施加过大的压力冲击时，磁性构件18的保持力不能忍耐原理冲击，而存在磁性流体密封被破坏的可能性。例如，作业者弄错真空泵33的操作，在真空室32的压力急剧地降低的情况下，流路30产生急剧的负压。从输入端口41向驱动部2输入弛放气，但是，当流路30产生急剧的负压时，弛放气的供给量跟不上而驱动部2内的气体被向流路30急剧吸出，驱动部2内的压力急剧降低。当驱动部2内的压力急剧地降低时，向磁性流体19施加过大的压力冲击，存在磁性流体密封被破坏而不会发挥作用的可能性。当磁性流体密封被破坏时，存在不能防止工艺气体向驱动部2侵入的可能性。

可是，在蝶阀1中，通过插通孔8d的内周面(套管20的内周面20a)和在连杆10设置的多个凹部10a～10e形成迷宫密封50，因此，即使流路30产生急剧的负压，迷宫密封50也将从驱动部2内向流路30吸出的气体的量缩小，因此，驱动部2内的压力不会急剧地降低，向磁性流体19施加的压力冲击被缓和。因此，能够防止磁性流体密封的破坏。

并且，在蝶阀1中，在磁性流体19与迷宫密封50之间具有缓冲容积51，因此，即使在流路30中发生急剧的压力降低，从驱动部2吸出的气体的量与不具有缓冲容积51的情况相比増加，因此，能够更可靠地缓和向磁性流体19施加的压力冲击以及防止磁性流体密封的破坏。

图6是表示真空室32的压力值p11与由磁性流体19负荷的压力值p12的关系的曲线图。纵轴是压力值(kpa)，横轴是时间(秒)。

真空室32的压力值p11从0秒的时间点起急剧降低。这表示例如作业者弄错操作等而真空室32的压力急剧降低的状态。真空室32的压力急剧降低意味着在与真空室32连通的流路30中急剧地产生负压。从图6的曲线图可知，尽管产生了这样的急剧的压力变动，但是由磁性流体19负荷的压力值p12从0秒的时间点起缓慢降低。压力值p12缓慢降低意味着向磁性流体19施加的压力冲击被缓和。这如上述那样，迷宫密封50将由于在流路30中产生的急剧的负压而从驱动部2内向流路30吸出的气体的量缩小，并且，缓冲容积51使吸出的气体的量增加。

如以上说明那样，根据本实施方式的一种蝶阀1，其配设在将真空室32与真空泵33连接的配管34上，进行真空室32的真空压力控制，该蝶阀1由具有dd电动机11的驱动部2与在内部具有流路30和蝶阀体9的阀部3结合而成的，连接于dd电动机11的连杆10从驱动部2延伸而从阀部3所具有的插通孔8d插入流路30而与蝶阀体9结合，其中，驱动部2具有与阀部3结合的端部16c并且在dd电动机11与端部16c之间具有被插穿连杆10的中空部16a；在中空部16a中以与连杆10同轴的方式配置覆盖连杆10的外周面的圆筒状的磁性构件18，并且在磁性构件18的外周面18a与中空部16a的内周面16d之间的空隙16e填充磁性流体19；连杆10由非磁性的耐蚀性合金构成，因此，在中空部16a中，磁性流体19由磁性构件18的磁力保持，形成所谓的磁性流体密封。即使连杆10进行数千万次旋转，磁性流体密封也难以劣化，与o形环相比，针对连杆10的旋转，密封的耐久性较高。此外，想要从流路30通过插通孔8d向蝶阀1的外部流出的工艺气体被磁性流体密封阻止流出。因此，提高密封的耐久性并能够防止工艺气体向蝶阀1的外部流出而污染外部空气，能够防止蝶阀1的寿命减低以及半导体制造效率降低。

通过使用磁性流体19，从而产生以下那样的新的问题。为了将磁性流体19保持于连杆10的外周，考虑例如连杆10使用磁性体的不锈钢。可是，磁性体的不锈钢与非磁性体的不锈钢相比，耐蚀性恶劣。连杆10是插入到流路30而与工艺气体相接的接气体构件，因此，在连杆10由磁性体的不锈钢构成的情况下，存在连杆10由于工艺气体而腐蚀的可能性。

因此，在本发明中，连杆10由非磁性的耐蚀性合金(例如sus316l)构成，防止连杆10的腐蚀。而且，为了磁性流体19的保持，使用覆盖连杆10的外周面的圆筒状的磁性构件18。

在上述所记载的蝶阀1中，阀部3具有用于输入弛放气的输入端口41、以及将输入端口41与插通孔8d连通的弛放气流路44，输入端口41和流路30通过弛放气流路44和插通孔8d连通，因此，从输入端口41输入的弛放气通过弛放气流路44和插通孔8d输出到流路30中。通过弛放气从插通孔8d朝向流路30流动，从而想要从流路30通过插通孔8d向磁性体密封部侵入或向蝶阀1的外部流出的工艺气体向流路30退回。因此，能够防止工艺气体侵入到磁性体密封部或流出到蝶阀1的外部，能够防止外部空气的污染或蝶阀1的寿命降低以及半导体制造效率降低。

在上述所记载的蝶阀1中，阀部3具有对阀部3进行加热的加热器27a、27b，弛放气流路44形成在加热器27a的附近，并且具有热交换器43，通过被加热器27a加热后的热交换器43将弛放气加温到规定的温度，因此，能够防止由于工艺气体的成分的固体化而造成的颗粒的产生。

用于半导体制造工序的工艺气体在常温下是固体或液体，在被高温加热后的气体状态下使用(例如被加热到200度左右)。因而，从输入端口41输入的弛放气需要在输出到流路30之间加热。这是因为，当温度较低的状态下输出到流路30后的弛放气与工艺气体接触时，由于工艺气体的温度降低，所以工艺气体固体化或液化，存在在流路30或配管34堆积固体化后的工艺气体等生成物的可能性。为了防止其，也考虑将弛放气在蝶阀1的外部加热后向蝶阀1供给，但是，由于在使用蝶阀1的半导体制造装置中另外需要用于加热的装置，所以不优选。因此，如本实施方式那样，只要阀部3具有加热器27a、27b，弛放气流路44形成在加热器27a的附近，并且具有热交换器43，则能够利用加热器27a的热来将在弛放气流路44中通过的弛放气加热到规定的温度，因此，能够防止工艺气体的固体化或液化，能够防止在流路30或配管34堆积固体化后的工艺气体等生成物。

在上述所记载的蝶阀1中，连杆10在与插通孔8d的内周面(套管20的内周面20a)相对的外周面具有沿连杆10的轴向排列的多个凹部10a～10e，通过插通孔8d的内周面(套管20的内周面20a)和多个凹部10a～10e形成迷宫密封50，因此，能够防止真空室32的急剧的压力变动造成的磁性流体密封的破坏。

例如，在作业者弄错真空泵33的操作而真空室32的压力急剧地降低的情况下，在流路30中产生急剧的负压。驱动部2内的气体由于在流路30中产生的急剧的负压而被向流路30急剧吸出，驱动部2内的压力急剧地降低。磁性流体19由磁性构件18的磁力保持，但是，当驱动部2内的压力急剧降低时，向磁性流体19施加过大的压力冲击，存在磁性流体密封被破坏而不会发挥作用的可能性。当磁性流体密封被破坏时，不能防止工艺气体向驱动部2侵入。因此，如本实施方式那样，通过连杆10在与插通孔8d的内周面(套管20的内周面20a)相对的外周面具有沿连杆10的轴向排列的多个凹部10a～10e，并且通过插通孔8d的内周面(套管20的内周面20a)和多个凹部10a～10e形成迷宫密封50，由此，即使在流路30中产生急剧的负压，迷宫密封50将从驱动部2内向流路30吸出的气体的量缩小，因此，驱动部2内的压力不会急剧地降低，向磁性流体19施加的压力冲击被缓和。由此，能够防止磁性流体密封的破坏。

在上述所记载的蝶阀1中，在磁性流体19与迷宫密封50之间具有缓冲容积51，因此，在流路30中发生急剧的压力降低时从驱动部2吸出的气体的量与不具有缓冲容积51的情况相比増加，因此，能够更可靠地缓和向磁性流体19施加的压力冲击以及防止磁性流体密封的破坏。

再有，本实施方式只不过仅仅是例示，丝毫不会限定本发明。因而，本发明当然能够在不偏离其主旨的范围内进行各种改良、变形。例如，在本实施方式中，即使蝶阀体9处于全闭位置，也不会完全密封流路30，但是，通过在阀孔8a设置阀座并且将蝶阀体9与阀座地接，从而也可以能够完全密封。

附图标记说明

1：蝶阀；

2：驱动部；

3：阀部；

8d：插通孔；

9：蝶阀体；

10：连杆；

11：dd电动机(电动机的一例)；

16a：中空部；

18：磁性构件；

19：磁性流体；

30：流路；

32：真空室；

33：真空泵；

34：配管。