技术编号:26498367
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及射频测量技术领域,尤其涉及一种用于芯片测试的射频校准装置及其校准方法。背景技术.通常在射频芯片的测试前,需要对射频通路进行校准。然而现有的校准方式由于仪器的外接线缆均为同轴线缆,因此校准的层次仅仅能达到测试机接口到承载板(load board)的水平。并未考虑到承载板中射频走线、夹具及其探针的性能对射频通路的影响,尤其是探针在不同频点下的驻波比的很大差异对于测试的准确度有很大的影响。对此,在一些高端射频芯片的测试中,常常需要采用更高端的配套承载板与探针来减少影响,但效果并不理想,...
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