技术编号:26645813
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种用于对作为电镀处理的被处理物的矩形的板状工件进行保持的工件保持夹具以及包括该工件保持夹具的电镀装置。作为所述工件,例如列举有印刷基板、晶片、半导体基板(特别地,扇出型板级封装(fan‑out panel level package))。背景技术.用于对矩形的板状工件进行保持的工件保持夹具以及包括该工件保持夹具的电镀装置如专利文献~所示那样是公知的。现有技术文献专利文献.专利文献:日本专利第号公报专利文献:日本专利特开‑号公报专利文献...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。