技术编号:26698819
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及硅烷纯化技术领域,更具体地说,本实用涉及一种硅烷纯化用多级过滤装置。背景技术.硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷(sih)、乙硅烷(sih)和一些更高级的硅氢化合物,通式为sinhn。其中,甲硅烷最为常见,有时也将甲硅烷简称为硅烷。.现有技术中,现有的硅烷在进行纯化时,一般是将硅烷放入纯化设备内进行纯化,导致了纯化设备只能对硅烷进行单次纯化,降低了对硅烷的纯化效率,而且也便于对活性碳吸附板进行拆装更换,纯化局限性高。实用新型内容.为了克服现...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。