一种硅烷纯化用多级过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅烷纯化技术领域，更具体地说，本实用涉及一种硅烷纯化用多级过滤装置。


背景技术：

2.硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷(sih4)、乙硅烷(si2h6)和一些更高级的硅氢化合物，通式为sinh2n+2。其中，甲硅烷最为常见，有时也将甲硅烷简称为硅烷。
3.现有技术中，现有的硅烷在进行纯化时，一般是将硅烷放入纯化设备内进行纯化，导致了纯化设备只能对硅烷进行单次纯化，降低了对硅烷的纯化效率，而且也便于对活性碳吸附板进行拆装更换，纯化局限性高。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种硅烷纯化用多级过滤装置，本发明所要解决的技术问题是：现有的硅烷纯化效率低下，也不便进行拆装更换的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅烷纯化用多级过滤装置，包括纯化壳体，所述纯化壳体顶端固定连接有盖板，且盖板上插接有出料管，所述纯化壳体左侧插接有进料管，且纯化壳体上缠绕有低温导热管，所述纯化壳体外侧面套接有隔热套，所述低温导热管设置在纯化壳体与隔热套之间，所述盖板下侧面设置有隔板，所述隔板伸入纯化壳体内部，且隔板与纯化壳体之间设置有活性碳吸附板，所述活性碳吸附板设置在滤网框内部，且滤网框下侧面固定连接有套筒，所述套筒套接在支杆上，所述支杆下部插接在垫板上，所述垫板设置在纯化壳体内底端，所述隔板内部加工有通孔。
6.通过隔板实现了将纯化壳体分隔呈四个空间，实现了通过四个活性碳吸附板依次对硅烷进行吸附纯化，提高了对硅烷的纯化效率而且在低温导热管内部填充低温液氮，便于对纯化壳体内部的纯化稳定进行控制，进一步提高了对硅烷的纯化效率，而且通过盖板与纯化壳体相分开，方便对隔板进行拆装，进而便于对活性碳吸附板进行拆装更换，操作简单，纯化效率高。
7.在一个优选地实施方式中，所述隔板设有三组，三组所述隔板等距设置在盖板下侧面，且隔板通过螺栓与盖板固定连接。
8.在一个优选地实施方式中，所述中间位置的隔板内顶部加工有通孔，所述左右侧的隔板内底部加工有通孔，便于硅烷依次经过隔板与春晖壳体之间组成的通道。
9.在一个优选地实施方式中，所述垫板上侧面粘接固定有定位胶垫，所述隔板下侧面加工有定位凹槽，所述定位胶垫匹配设置在隔板下侧面，提高了隔板与垫板之间的密封性。
10.在一个优选地实施方式中，所述垫板上侧面加工有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有
支杆下部，且支杆上套接有限位螺母，所述限位螺母通过螺纹与螺纹孔啮合连接，实现了对支杆进行稳定夹紧以及固定，也方便对支杆进行拆装。
11.在一个优选地实施方式中，所述支杆截面呈凸字形，且支杆环形侧面加工有外螺纹，所述支杆通过外螺纹与套筒啮合连接，通过外螺纹，方便对套管进行上下移动，进而对活性碳吸附板的位置进行调节。
12.在一个优选地实施方式中，所述滤网框由上网板以及下网板组合而成，且上网板以及下网板分别位于活性碳吸附板上侧以及下侧，所述上网板以及下网板之间插接有销轴，且销轴上卡接有卡簧，所述卡簧分别位于上网板上侧以及下上网板下侧，便于对活性碳吸附板进行稳定支撑以及防护，也方便对活性碳吸附板进行更换。
13.在一个优选地实施方式中，所述盖板与纯化壳体之间设置有密封胶垫，提高了密封性。
14.在一个优选地实施方式中，所述进料管以及出料管上均套接有夹紧螺母，且夹紧螺母通过螺纹分别与进料管以及出料管啮合连接，所述夹紧螺母分别位于纯化壳体左侧面以及盖板上侧面，通过夹紧螺母便于将进料管与纯化壳体进行夹紧，也便于将出料管与盖板进行夹紧，实现了方便拆装的目的。
15.本实用新型的技术效果和优点：
16.本实用新型通过设有低温导热管、隔板、通孔、活性碳吸附板、滤网框、套筒以及支杆，实现了对硅烷进行多重过滤以及吸附纯化，也便于对纯化温度进行控制，提高了纯化效率，而且也方便进行拆装更换，操作简单，纯化效果好。
附图说明
17.图1为本实用新型的整体结构示意图。
18.图2为本实用新型中隔板的整体结构示意图。
19.图3为本实用新型中隔热套的爆炸结构示意图。
20.图4为本实用新型中滤网框与活性碳吸附板的连接结构示意图。
21.图5为本实用新型中进料管与夹紧螺母的连接结构示意图。
22.图6为本实用新型图1中a处的放大结构示意图。
23.图7为本实用新型图1中b处的放大结构示意图。
24.图8为本实用新型图4中c处的放大结构示意图。
25.附图标记为：1、纯化壳体；2、低温导热管；3、隔热套；4、夹紧螺母；5、进料管；6、密封胶垫；7、盖板；8、出料管；9、滤网框；10、活性碳吸附板；11、套筒；12、支杆；13、垫板；14、隔板；15、销轴；16、卡簧；17、限位螺母；91、上网板；92、下网板；131、定位胶垫；141、通孔。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.本实用新型提供了一种硅烷纯化用多级过滤装置，包括纯化壳体1，纯化壳体1顶
端固定连接有盖板7，且盖板7上插接有出料管8，纯化壳体1左侧插接有进料管5，且纯化壳体1上缠绕有低温导热管2，纯化壳体1外侧面套接有隔热套3，低温导热管2设置在纯化壳体1与隔热套3之间，盖板7下侧面设置有隔板14，隔板14伸入纯化壳体1内部，且隔板14与纯化壳体1之间设置有活性碳吸附板10，活性碳吸附板10设置在滤网框9内部，且滤网框9下侧面固定连接有套筒11，套筒11套接在支杆12上，支杆12下部插接在垫板13上，垫板13设置在纯化壳体1内底端，隔板14内部加工有通孔141。
28.隔板14设有三组，三组隔板14等距设置在盖板7下侧面，且隔板14通过螺栓与盖板7固定连接。
29.中间位置的隔板14内顶部加工有通孔141，左右侧的隔板14内底部加工有通孔141。
30.垫板13上侧面粘接固定有定位胶垫131，隔板14下侧面加工有定位凹槽，定位胶垫131匹配设置在隔板14下侧面。
31.垫板13上侧面加工有螺纹孔，螺纹孔内设置有支杆12下部，且支杆12上套接有限位螺母17，限位螺母17通过螺纹与螺纹孔啮合连接。
32.支杆12截面呈凸字形，且支杆12环形侧面加工有外螺纹，支杆12通过外螺纹与套筒11啮合连接。
33.滤网框9由上网板91以及下网板92组合而成，且上网板91以及下网板92分别位于活性碳吸附板10上侧以及下侧，上网板91以及下网板92之间插接有销轴15，且销轴15上卡接有卡簧16，卡簧16分别位于上网板91上侧以及下上网板91下侧。
34.盖板7与纯化壳体1之间设置有密封胶垫6。
35.进料管5以及出料管8上均套接有夹紧螺母4，且夹紧螺母4通过螺纹分别与进料管5以及出料管8啮合连接，夹紧螺母4分别位于纯化壳体1左侧面以及盖板7上侧面。
36.如图1
‑
8所示的，实施方式具体为：使用人员将进料管5与硅烷物料相连接，实现了硅烷通过进料管5进入纯化壳体1内，同时相低温导热管2内部填充低温液氮，实现了低温液氮的冷量透过纯化壳体1进入纯化壳体1内部，实现了对硅烷纯化的温度进行控制，随后硅烷依次经过隔板14与纯化壳体1之间所组成的空间通道，实现了硅烷依次经过四个活性碳吸附板10，实现了对硅烷进行多重过滤以及吸附纯化，提高了对硅烷的纯化效率，最后硅烷通过出料管8进入排出，在将盖板7从纯化壳体1上取下时，便于同步带动隔板14向上移动并从纯化壳体1内部移出，随后使用人员将限位螺母17从螺纹孔内旋下，实现了方便对支杆12进行拆装，从而方便对套筒11以及活性碳吸附板10进行拆装更换，操作简单，纯化效果好。
37.最后应说明的几点是：首先，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
38.其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；
39.最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用
新型的保护范围之内。