技术特征：
1.一种硅烷纯化用多级过滤装置，包括纯化壳体(1)，其特征在于：所述纯化壳体(1)顶端固定连接有盖板(7)，且盖板(7)上插接有出料管(8)，所述纯化壳体(1)左侧插接有进料管(5)，且纯化壳体(1)上缠绕有低温导热管(2)，所述纯化壳体(1)外侧面套接有隔热套(3)，所述低温导热管(2)设置在纯化壳体(1)与隔热套(3)之间，所述盖板(7)下侧面设置有隔板(14)，所述隔板(14)伸入纯化壳体(1)内部，且隔板(14)与纯化壳体(1)之间设置有活性碳吸附板(10)，所述活性碳吸附板(10)设置在滤网框(9)内部，且滤网框(9)下侧面固定连接有套筒(11)，所述套筒(11)套接在支杆(12)上，所述支杆(12)下部插接在垫板(13)上，所述垫板(13)设置在纯化壳体(1)内底端，所述隔板(14)内部加工有通孔(141)。2.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用多级过滤装置，其特征在于：所述隔板(14)设有三组，三组所述隔板(14)等距设置在盖板(7)下侧面，且隔板(14)通过螺栓与盖板(7)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种硅烷纯化用多级过滤装置，其特征在于：所述中间位置的隔板(14)内顶部加工有通孔(141)，所述左右侧的隔板(14)内底部加工有通孔(141)。4.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用多级过滤装置，其特征在于：所述垫板(13)上侧面粘接固定有定位胶垫(131)，所述隔板(14)下侧面加工有定位凹槽，所述定位胶垫(131)匹配设置在隔板(14)下侧面。5.根据权利要求4所述的一种硅烷纯化用多级过滤装置，其特征在于：所述垫板(13)上侧面加工有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有支杆(12)下部，且支杆(12)上套接有限位螺母(17)，所述限位螺母(17)通过螺纹与螺纹孔啮合连接。6.根据权利要求5所述的一种硅烷纯化用多级过滤装置，其特征在于：所述支杆(12)截面呈凸字形，且支杆(12)环形侧面加工有外螺纹，所述支杆(12)通过外螺纹与套筒(11)啮合连接。7.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用多级过滤装置，其特征在于：所述滤网框(9)由上网板(91)以及下网板(92)组合而成，且上网板(91)以及下网板(92)分别位于活性碳吸附板(10)上侧以及下侧，所述上网板(91)以及下网板(92)之间插接有销轴(15)，且销轴(15)上卡接有卡簧(16)，所述卡簧(16)分别位于上网板(91)上侧以及下上网板(91)下侧。8.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用多级过滤装置，其特征在于：所述盖板(7)与纯化壳体(1)之间设置有密封胶垫(6)。9.根据权利要求8所述的一种硅烷纯化用多级过滤装置，其特征在于：所述进料管(5)以及出料管(8)上均套接有夹紧螺母(4)，且夹紧螺母(4)通过螺纹分别与进料管(5)以及出料管(8)啮合连接，所述夹紧螺母(4)分别位于纯化壳体(1)左侧面以及盖板(7)上侧面。
技术总结
本实用新型公开了一种硅烷纯化用多级过滤装置，具体涉及硅烷纯化技术领域，包括纯化壳体，纯化壳体顶端固定连接有盖板，且盖板上插接有出料管，纯化壳体左侧插接有进料管，且纯化壳体上缠绕有低温导热管，纯化壳体外侧面套接有隔热套，低温导热管设置在纯化壳体与隔热套之间，盖板下侧面设置有隔板，隔板伸入纯化壳体内部，且隔板与纯化壳体之间设置有活性碳吸附板，活性碳吸附板设置在滤网框内部，且滤网框下侧面固定连接有套筒，套筒套接在支杆上。本实用新型实现了对硅烷进行多重过滤以及吸附纯化，也便于对纯化温度进行控制，提高了纯化效率，而且也方便进行拆装更换。而且也方便进行拆装更换。而且也方便进行拆装更换。
技术研发人员：沈剑男 戴荣国
受保护的技术使用者：江苏安瑞森电子材料有限公司
技术研发日：2021.01.07
技术公布日：2021/9/17