技术编号：26742869
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及硅片制造技术领域，尤其涉及一种硅片花篮缓存装置。背景技术.在太阳能光伏电池片厂制作硅片的过程中，硅片必须处于恒温℃的无尘车间中，同时对其生产设备的要求也极其苛刻。设备在运行过程中，不能产生灰尘，不能触碰到硅片，否则会污染硅片，划伤硅片，降低硅片的等级规格。.硅片花篮作为硅片的载体，通常有干湿花篮两种，运送的硅片依次历经从前到后的工艺机台。按工艺要求，湿花篮需要经过如下的工艺流程：制绒、扩散、激光se、氧化、去psg、碱抛和退火；干花篮需要经过如下的工艺流程：退火、背膜、...
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