一种硅片花篮缓存装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片制造技术领域，尤其涉及一种硅片花篮缓存装置。


背景技术：

2.在太阳能光伏电池片厂制作硅片的过程中，硅片必须处于恒温25℃的无尘车间中，同时对其生产设备的要求也极其苛刻。设备在运行过程中，不能产生灰尘，不能触碰到硅片，否则会污染硅片，划伤硅片，降低硅片的等级规格。
3.硅片花篮作为硅片的载体，通常有干湿花篮两种，运送的硅片依次历经从前到后的工艺机台。按工艺要求，湿花篮需要经过如下的工艺流程：制绒、扩散、激光se、氧化、去psg、碱抛和退火；干花篮需要经过如下的工艺流程：退火、背膜、正膜、激光开槽和丝印。硅片虽然有花篮作为载体，能够使硅片在运送过程中很好的避免与设备的直接接触，但是花篮是通过与皮带的摩擦进行传送的，为了让多个花篮停放紧凑，当花篮到达指定位置后，皮带还会转动一定的时间才停止，使得花篮与皮带之间会发生摩擦，不仅加剧了花篮的磨损，还会造成制绒槽体污染，摩擦产生的粉尘还容易污染到硅片造成不良，提高硅片的生产成本。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种硅片花篮缓存装置，该硅片花篮缓存装置能够避免花篮与皮带之间的摩擦，减小硅片所受的污染，提高硅片的良品率。
5.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
6.一种硅片花篮缓存装置，包括：皮带传送机构，所述皮带传送机构包括两条平行间隔设置的传送皮带，装有硅片的硅片花篮能够置于所述传送皮带上并被所述传送皮带向下游输送；阻挡机构，所述阻挡机构安装于所述皮带传送机构且位于两个所述传送皮带之间，所述阻挡机构用于将所述硅片花篮阻挡至指定位置；顶升机构，所述顶升机构包括顶升板和顶升气缸，所述顶升板连接于所述顶升气缸的输出端且位于两个所述传送皮带之间，所述顶升气缸安装于所述皮带传送机构上，所述顶升气缸能够通过所述顶升板将所述硅片花篮顶离所述传送皮带。
7.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述阻挡机构包括阻挡板和阻挡气缸，所述阻挡板连接于所述阻挡气缸的输出端，所述阻挡气缸安装于所述皮带传送机构上。
8.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述阻挡机构还包括阻挡安装板，所述阻挡气缸通过所述阻挡安装板安装于所述皮带传送机构上。
9.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述顶升机构还包括顶升安装板，所述顶升安装板包括相互连接的底板和侧板，所述侧板连接于所述皮带传送机构上，所述顶升气缸安装于所述底板上。
10.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述顶升机构还包括导向组件，所述导向组件包括升降导柱和直线轴承，所述直线轴承安装于所述底板上，所述升降导柱的一端
连接于所述顶升板上，所述升降导柱的另一端配合在所述直线轴承中。
11.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述顶升机构还包括浮动接头，所述顶升气缸的输出端通过所述浮动接头连接于所述顶升板上。
12.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述皮带传送机构还包括传送机架、从动轴、主动轴和驱动电机，所述驱动电机的输出端连接于所述主动轴，所述从动轴和所述主动轴均转动连接于所述传送机架上，所述从动轴和所述主动轴上均设有带轮，所述带轮用于带动所述传送皮带移动。
13.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述皮带传送机构还包括导向条，所述导向条通过导向条安装板安装于所述传送机架上，所述导向条用于对所述硅片花篮进行导向。
14.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述皮带传送机构还包括张紧调节板，所述张紧调节板可调节地安装于所述传送机架上，所述从动轴安装于所述张紧调节板上。
15.作为一种硅片花篮缓存装置的优选方案，所述皮带传送机构还包括皮带护罩，所述皮带护罩安装于所述传送机架上用于防护所述传送皮带。
16.本实用新型的有益效果：
17.本实用新型提供了一种硅片花篮缓存装置，该硅片花篮缓存装置包括皮带传送机构、阻挡机构和顶升机构，硅片花篮置于皮带传送机构的传送皮带上，阻挡机构用于将硅片花篮阻挡于指定位置，能够使硅片花篮停放紧凑，顶升机构的顶升气缸能够将顶升板顶升以将硅片花篮顶离传送皮带，避免了传送皮带与硅片花篮的摩擦，不仅减小了硅片花篮的磨损，还减小了粉尘的产生，减小了硅片所受的污染，提高了硅片的良品率。
附图说明
18.图1是本实用新型具体实施例所述的硅片花篮缓存装置的立体结构示意图；
19.图2是本实用新型具体实施例所述的硅片花篮缓存装置的阻挡机构的放大图；
20.图3是本实用新型具体实施例所述的硅片花篮缓存装置的顶升机构一个视角的结构示意图；
21.图4是本实用新型具体实施例所述的硅片花篮缓存装置的顶升机构另一视角的结构示意图。
22.图中：
23.11、传送皮带；12、传送机架；13、从动轴；14、主动轴；15、驱动电机；16、导向条；17、导向条安装板；18、张紧调节板；19、皮带护罩；
24.2、阻挡机构；21、阻挡板；22、阻挡气缸；23、阻挡安装板；
25.31、顶升板；32、顶升气缸；33、顶升安装板；34、升降导柱；35、直线轴承；36、浮动接头；
26.100、硅片花篮。
具体实施方式
27.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实
施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.下面结合附图并通过具体实施例来进一步说明本实用新型所提供的硅片花篮缓存装置的技术方案。
31.本实施例提供一种硅片花篮缓存装置，如图1所示，该硅片花篮缓存装置包括皮带传送机构、阻挡机构2和顶升机构，硅片花篮100置于皮带传送机构上，阻挡机构2用于将硅片花篮100阻挡于指定位置，阻挡机构2能够使硅片花篮100停放紧凑，顶升机构能够将硅片花篮100顶离皮带传送机构，避免了皮带传送机构与硅片花篮100之间的摩擦，不仅减小了硅片花篮100的磨损，有利于延长硅片花篮100的使用寿命，还能减小粉尘的产生，从而减小硅片所受的污染，提高硅片的良品率。
32.在本实施例中，皮带传送机构还包括传送机架12、从动轴13、主动轴14、驱动电机15和传送皮带11，驱动电机15的输出端连接于主动轴14，从动轴13和主动轴14均转动连接于传送机架12上，传送皮带11包括平行间隔设置的两条，从动轴13和主动轴14的两端均设有带轮，带轮用于带动两条传送皮带11移动，装有硅片的硅片花篮100能够置于传送皮带11上并被传送皮带11向下游输送。
33.优选地，皮带传送机构还包括导向条16，导向条16通过导向条安装板17安装于传送机架12上，导向条16用于对沿传送皮带11移动的硅片花篮100进行导向，能够防止硅片花篮100从传送皮带11上掉落。
34.在本实施例中，皮带传送机构还包括张紧调节板18，张紧调节板18可调节地安装于传送机架12上，从动轴13安装于张紧调节板18上，能够随张紧调节板18的移动而移动，实现对传送皮带11的张紧或调节。
35.优选地，皮带传送机构还包括皮带护罩19，皮带护罩19安装于传送机架12上用于防护传送皮带11，防止外界部件对传送皮带11的运转造成影响。
36.在本实施例中，阻挡机构2安装于传送机架12上且位于两个传送皮带11之间，阻挡机构2用于将硅片花篮100阻挡至指定位置处。如图2所示，阻挡机构2包括阻挡板21和阻挡气缸22，阻挡板21连接于阻挡气缸22的输出端，阻挡气缸22安装于传送机架12上，阻挡气缸22能够带动阻挡板21动作将硅片花篮100阻挡至指定位置。优选地，阻挡机构2还包括阻挡
安装板23，阻挡气缸22通过阻挡安装板23安装于传送机架12上，使得阻挡气缸22的安装牢固且可靠。
37.优选地，如图3所示，顶升机构包括顶升板31和顶升气缸32，顶升板31连接于顶升气缸32的输出端且位于两个传送皮带11之间，顶升气缸32安装于皮带传送机构上，顶升气缸32能够通过顶升板31将硅片花篮100顶离传送皮带11，避免硅片花篮100与传送皮带11之间的摩擦，不仅有利于延长硅片花篮100的使用寿命，还能减小粉尘的产生，从而减小硅片所受的污染，提高硅片的良品率。
38.在本实施例中，如图3所示，顶升机构还包括顶升安装板33，顶升安装板33包括相互连接的底板和侧板，侧板连接于传送机架12上，顶升气缸32安装于底板上，使得顶升气缸32的安装牢固。
39.优选地，如图3所示，顶升机构还包括导向组件，导向组件包括升降导柱34和直线轴承35，直线轴承35的一端安装于底板上，升降导柱34的一端连接于顶升板31上，升降导柱34的另一端配合在直线轴承35中，导向组件能够使顶升板31按一定方向升降，避免升降过程发生偏斜。
40.进一步地，如图4所示，顶升机构还包括浮动接头36，顶升气缸32的输出端通过浮动接头36连接于顶升板31上，浮动接头36不仅具有缓冲和减振的作用，还能够消除误差，保护顶升气缸32和顶升板31运行平稳，延长其使用寿命。
41.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。