技术特征：
1.一种硅片花篮缓存装置，其特征在于，包括：皮带传送机构，所述皮带传送机构包括两条平行间隔设置的传送皮带(11)，装有硅片的硅片花篮(100)能够置于所述传送皮带(11)上并被所述传送皮带(11)向下游输送；阻挡机构(2)，所述阻挡机构(2)安装于所述皮带传送机构且位于两个所述传送皮带(11)之间，所述阻挡机构(2)用于将所述硅片花篮(100)阻挡至指定位置；顶升机构，所述顶升机构包括顶升板(31)和顶升气缸(32)，所述顶升板(31)连接于所述顶升气缸(32)的输出端且位于两个所述传送皮带(11)之间，所述顶升气缸(32)安装于所述皮带传送机构上，所述顶升气缸(32)能够通过所述顶升板(31)将所述硅片花篮(100)顶离所述传送皮带(11)。2.根据权利要求1所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述阻挡机构(2)包括阻挡板(21)和阻挡气缸(22)，所述阻挡板(21)连接于所述阻挡气缸(22)的输出端，所述阻挡气缸(22)安装于所述皮带传送机构上。3.根据权利要求2所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述阻挡机构(2)还包括阻挡安装板(23)，所述阻挡气缸(22)通过所述阻挡安装板(23)安装于所述皮带传送机构上。4.根据权利要求1所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述顶升机构还包括顶升安装板(33)，所述顶升安装板(33)包括相互连接的底板和侧板，所述侧板连接于所述皮带传送机构上，所述顶升气缸(32)安装于所述底板上。5.根据权利要求4所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述顶升机构还包括导向组件，所述导向组件包括升降导柱(34)和直线轴承(35)，所述直线轴承(35)安装于所述底板上，所述升降导柱(34)的一端连接于所述顶升板(31)上，所述升降导柱(34)的另一端配合在所述直线轴承(35)中。6.根据权利要求1所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述顶升机构还包括浮动接头(36)，所述顶升气缸(32)的输出端通过所述浮动接头(36)连接于所述顶升板(31)上。7.根据权利要求1所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述皮带传送机构还包括传送机架(12)、从动轴(13)、主动轴(14)和驱动电机(15)，所述驱动电机(15)的输出端连接于所述主动轴(14)，所述从动轴(13)和所述主动轴(14)均转动连接于所述传送机架(12)上，所述从动轴(13)和所述主动轴(14)上均设有带轮，所述带轮用于带动所述传送皮带(11)移动。8.根据权利要求7所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述皮带传送机构还包括导向条(16)，所述导向条(16)通过导向条安装板(17)安装于所述传送机架(12)上，所述导向条(16)用于对所述硅片花篮(100)进行导向。9.根据权利要求7所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述皮带传送机构还包括张紧调节板(18)，所述张紧调节板(18)可调节地安装于所述传送机架(12)上，所述从动轴(13)安装于所述张紧调节板(18)上。10.根据权利要求7所述的硅片花篮缓存装置，其特征在于，所述皮带传送机构还包括皮带护罩(19)，所述皮带护罩(19)安装于所述传送机架(12)上用于防护所述传送皮带(11)。
技术总结
本实用新型涉及硅片制造技术领域，公开了一种硅片花篮缓存装置，包括：皮带传送机构，皮带传送机构包括两条平行间隔设置的传送皮带，装有硅片的硅片花篮能够置于传送皮带上并被传送皮带向下游输送；阻挡机构，阻挡机构安装于皮带传送机构且位于两个传送皮带之间，阻挡机构用于将硅片花篮阻挡至指定位置；顶升机构，顶升机构包括顶升板和顶升气缸，顶升板连接于顶升气缸的输出端且位于两个传送皮带之间，顶升气缸安装于皮带传送机构上，顶升气缸能够通过顶升板将硅片花篮顶离传送皮带。通过上述结构，该硅片花篮缓存装置能够避免花篮与皮带之间的摩擦，减小硅片所受的污染，提高硅片的良品率。片的良品率。片的良品率。
技术研发人员：刘祖利 叶凌云
受保护的技术使用者：横店集团东磁股份有限公司
技术研发日：2021.03.15
技术公布日：2021/9/21