技术编号：2675923
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平版印刷投射设备，包括-用于供给辐射投射束的辐射系统；-用于支撑图案形成装置的支撑结构，根据所要求的图案所述图案形成装置可用来对投射束形成图案；-用于支持基片的基片台；以及-用于将已形成图案的束投射到所述基片的目标部的投射系统。 背景技术 在此所应用的术语“图案形成装置”应该被广泛地解释成涉及这样的装置，对应于即将在所述基片目标部要建立的图案，所述装置可以用来给进入辐射束赋予一个已形成图案的横断面；术语“光阀”也可以用在此上下文中。总体上，所述图...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。