技术编号：2677038
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微电子装备，尤其涉及一种差分调整装置。 背景技术在超大集成电路制造的投影光刻机中，使用了一些测量传感器，例如离轴对准传感器，调焦调平传感器，预对准传感器等，这些测量传感器通常安装在承载投影物镜的主基板下面，采用三点或四点连接方式与主基板固定在一起，连接测量传感器与主基板的装置需具有调焦调平功能，能对测量传感器的安装位置进行精确调节，以保证调整焦面与投影物镜焦面的重合度。一种现有技术的测量传感器的连接调整方法是采用修磨垫片，但是，修磨垫片调整焦...
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