专利名称：差分调整装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及微电子装备，尤其涉及一种差分调整装置。
背景技术：
在超大集成电路制造的投影光刻机中，使用了一些测量传感器，例如离轴对准传感器，调焦调平传感器，预对准传感器等，这些测量传感器通常安装在承载投影物镜的主基板下面，采用三点或四点连接方式与主基板固定在一起，连接测量传感器与主基板的装置需具有调焦调平功能，能对测量传感器的安装位置进行精确调节，以保证调整焦面与投影物镜焦面的重合度。一种现有技术的测量传感器的连接调整方法是采用修磨垫片，但是，修磨垫片调整焦面周期长、难度大、对装配工人要求高，不利于实现；另一种现有技术的测量传感器的连接调整方法是采用调整单螺纹副，受调整单螺纹副的螺纹精度、直径大小、承载要求和磨损等因素的限制，调整单螺纹副的螺纹螺距很难突破0. 5mm, 一般能到达的理论分辨率仅为1. 4 μ m/°，即调整单螺纹副的调整精度有限；又一种现有技术的测量传感器的连接调整方法是中国专利CN201556027U披露的 “一种用于调焦调平的连接机构”，所述连接机构采用差分结构，调整精度高，但是，所述连接机构的结构比较复杂，装配过程有一定困难，且容易在装配过程中出现卡死螺纹的现象。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种差分调整装置，装配简单，且调整精度高。为了达到上述的目的，本实用新型提供一种差分调整装置，连接转接板与主基板， 包括基准连接座、差分螺栓、第一屏紧螺母和第二屏紧螺母；所述基准连接座安装在所述主基板上；所述差分螺栓的一端与所述基准连接座螺纹连接；所述差分螺栓的另一端与第一屏紧螺母螺纹连接；所述转接板套在所述第一屏紧螺母上；所述第二屏紧螺母套在第一屏紧螺母，并与所述第一屏紧螺母螺纹连接，所述第二屏紧螺母屏紧，以固定所述转接板。上述差分调整装置，其中，所述差分螺栓包括第一调整部、第二调整部和旋转部， 所述第二调整部的一端与所述第一调整部连接，所述第二调整部的另一端与旋转部连接； 所述第一调整部与所述基准连接座螺纹连接，所述第二调整部与所述第一屏紧螺母螺纹连接；所述第一调整部的外表面上设有第一外螺纹，所述第二调整部的外表面上设有第二外螺纹，所述第一外螺纹的螺距大于所述第二外螺纹的螺距。上述差分调整装置，其中，所述第一屏紧螺母设有安装孔，并通过所述安装孔与所述差分螺栓连接；所述第一屏紧螺母的一端设有球面凸起，安装后下段垫有球面垫片；所述第一屏紧螺母的外表面上设有第三外螺纹，所述第三外螺纹用于连接所述第二屏紧螺母。上述差分调整装置，其中，所述第一屏紧螺母的另一端设有螺钉孔，锁紧螺钉插入所述螺钉孔，将所述第一屏紧螺母锁定在所述差分螺栓上。[0011]上述差分调整装置，其中，所述第一屏紧螺母的一端面上设有分度尺。上述差分调整装置，其中，所述转接板紧夹在所述第一屏紧螺母的凸起与所述第二屏紧螺母之间。上述差分调整装置，其中，在所述转接板与所述第二屏紧螺母之间设有球面垫圈。本实用新型差分调整装置的各部件之间可采用自上而下或者自下而上的装配方式，因此装配起来简单方便；本实用新型差分调整装置采用差分螺栓调整转接板的高度，以及对转接板进行调平，而差分螺栓的调节精度可设计，因此，本实用新型的差分调整装置具有高的调整精度；本实用新型差分调整装置通过旋转差分螺栓来调整转接板的高度，以及对转接板进行调平，而差分螺栓设有旋转部，用作旋转差分螺栓的受力部件，调整起来非常方便；本实用新型的差分调整装置结构简单，维护起来方便，可以大大提高测量传感器的装配调整效率。
本实用新型的差分调整装置由以下的实施例及附图给出。图1是本实用新型差分调整装置的结构示意图。图2是本实用新型中差分螺栓的结构示意图。图3是本实用新型中第一屏紧螺母的结构示意图。图4是本实用新型差分调整装置自上而下装配后的示意图。图5是本实用新型差分调整装置自下而上装配后的示意图。图6是本实用新型差分调整装置中分度尺的示意图。
具体实施方式
以下将结合图1 图6对本实用新型的差分调整装置作进一步的详细描述。本实用新型的差分调整装置用于连接转接板与主基板，包括基准连接座、差分螺栓、第一屏紧螺母和屏紧螺母；所述基准连接座安装在所述主基板上；所述差分螺栓的一端与所述基准连接座螺纹连接；所述差分螺栓的另一端与第一屏紧螺母螺纹连接；所述转接板套在所述第一屏紧螺母上；所述第二屏紧螺母套在第一屏紧螺母，并与所述第一屏紧螺母螺纹连接，所述第二屏紧螺母屏紧，以固定所述转接板。本实用新型的差分调整装置各部件之间可采用自上而下或者自下而上的装配方式，因此装配起来简单方便；本实用新型的差分调整装置采用差分螺栓调整转接板的高度，以及对转接板进行调平，而差分螺栓的调节精度可设计，因此，本实用新型的差分调整装置具有高的调整精度。现以一具体实施例详细说明本实用新型的差分调整装置参见图1，本实施例的差分调整装置用于将转接板6安装到主基板9的下方，所述差分调整装置包括基准连接座1、差分螺栓2、第一屏紧螺母7和第二屏紧螺母5 ；所述基准连接座1安装在所述主基板9上；所述差分螺栓2的一端与所述基准连接座1螺纹连接；所述差分螺栓2的另一端与所述第一屏紧螺母7螺纹连接；所述转接板6套在所述第一屏紧螺母7上；所述第二屏紧螺母5套在所述第一屏紧螺母7上，并与所述第一屏紧螺母7螺纹连接，所述第二屏紧螺母5屏紧，以固定所述转接板6。所述基准连接座1通过安装螺钉8固定安装在所述主基板9的底端；所述基准连接座1设有连接孔11，所述连接孔11用于连接所述差分螺栓2 ；所述基准连接座1的连接孔11的内表面上设有第一内螺纹(图1中未示)。参见图2，所述差分螺栓2包括第一调整部21、第二调整部22和旋转部23，所述第二调整部22的一端与所述第一调整部21连接，所述第二调整部22的另一端与旋转部23 连接；所述第一调整部21的外表面上设有第一外螺纹对，所述第一调整部21用于连接所述基准连接座1 ；所述第二调整部22的外表面上设有第二外螺纹25，所述第二调整部22用于连接所述第一屏紧螺母7 ；所述第一外螺纹M的螺距大于第二外螺纹25的螺距；所述旋转部23用作旋转所述差分螺栓2时的承力部位(即施力旋转所述差分螺栓2时，所施加的力作用在所述旋转部23上)；本实施例的差分调整装置的调整精度由所述第一外螺纹M的螺距与所述第二外螺纹25的螺距之差决定，而所述第一外螺纹M的螺距与所述第二外螺纹25的螺距之差可设计，因此，本实施例的差分调整装置可达到较高的调整精度；所述连接孔11的第一内螺纹与所述第一外螺纹M相匹配，即所述第一内螺纹的螺距等于所述第一外螺纹M的螺距。参见图3，所述第一屏紧螺母7设有安装孔71，所述安装孔71的内表面上设有第二内螺纹(图3中未示)，所述第二内螺纹与所述第二外螺纹25相匹配，即所述第二内螺纹的螺距等于所述第二外螺纹25的螺距；所述第一屏紧螺母7通过所述安装孔71与差分螺栓2的第二调整部22连接；所述第一屏紧螺母7的一端设有球面球面凸起72 ；所述第一屏紧螺母7的外表面上设有第三外螺纹73，所述第三外螺纹73用于连接所述第二屏紧螺母5 ；较佳地，所述第一屏紧螺母7的另一端设有螺钉孔74，通过锁紧螺钉4可将所述第一屏紧螺母7锁定在所述差分螺栓2上，以固定所述第一屏紧螺母7与所述差分螺栓2之间的相对位置；较佳地，所述第一屏紧螺母7近似为中空圆柱体，所述中空圆柱体中空部分为安装孔71，所述安装孔71的内表面上设有第二内螺纹，所述第二内螺纹与所述第二外螺纹25 相匹配，即所述第二内螺纹的螺距等于所述第二外螺纹25的螺距，所述中空圆柱体的一端设有球面凸起72，所述中空圆柱体的外表面上设有第三外螺纹73 ；继续参见图1，所述第一屏紧螺母7与所述差分螺栓2的第二调整部22连接时，所述第一屏紧螺母7设有球面凸起72的一端朝上，所述转接板6套在所述第一屏紧螺母7 上，所述第二屏紧螺母5与所述第一屏紧螺母7的第三外螺纹73连接，所述第二屏紧螺母 5在所述转接板6的底端顶起所述转接板6，使所述转接板6紧紧夹在所述第一屏紧螺母7 的球面凸起72与所述第二屏紧螺母5之间，即利用所述第二屏紧螺母5将所述转接板6与所述第一屏紧螺母7锁紧；较佳地，在所述转接板6与所述第二屏紧螺母5之间设有球面垫圈3，所述球面垫圈3用于进一步锁紧所述转接板6与所述第一屏紧螺母7 ；较佳地，所述第一屏紧螺母7设有螺钉孔74的一端的端面上设有分度尺，如图6 所示，通过所述分度尺调节所述差分螺栓2，可进一步提高本实施例的差分调整装置的调整精度。本实施例的差分调整装置结构简单，维护起来方便，可以大大提高测量传感器的装配调整效率。将一个大面积的所述转接板6安装到所述主基板9的下方时，可使用3个本实施例的差分调整装置(3点确定一个面的原理)，本实施例中装配差分调整装置采用自上而下的装配方式，继续参见图1，装配本实施例的差分调整装置的方法是使用所述安装螺钉8 将所述基准连接座1固定在所述主基板9的底端；所述差分螺栓2的第一调整部21旋进所述基准连接座1的连接孔11，当所述第一调整部21旋到合适位置，停止旋转所述差分螺栓 2 ；将所述第一屏紧螺母7旋转到所述差分螺栓2的第二调整部22上，且所述第一屏紧螺母 7设有球面凸起72的一端朝上，当所述第一屏紧螺母7旋到合适位置，停止旋转所述第一屏紧螺母7 ；所述转接板6直接从下往上套在所述第一屏紧螺母7上，所述转接板6的顶端受所述第一屏紧螺母7的球面凸起72的阻挡作用，不能继续朝上移；所述球面垫圈3从下往上套在所述第一屏紧螺母7上，紧贴在所述转接板6的底端；将所述第二屏紧螺母5旋转到所述第一屏紧螺母7上，利用所述第二屏紧螺母5将所述转接板6与所述第一屏紧螺母 7锁紧；旋转所述差分螺栓2的旋转部23，可调整所述转接板6的安装高度，且对所述转接板6进行调平(使所述转接板6的平面与所述主基板9的平面平行)；较佳地，所述旋转部23的外径小于所述第二调整部22的外径，所述第二调整部件 22连接所述旋转部23的一端设有螺钉孔(图1中未示)，调整好所述差分螺栓2后，使用两个所述锁紧螺钉4将所述第一屏紧螺母7与所述差分螺栓2锁紧(所述锁紧螺钉4的一端插入所述螺钉孔74，旋紧所述锁紧螺钉4既可)。将转接板安装在主基板下方时，本实用新型的差分调整装置采用自上而下的装配方式(基准连接座在差分调整装置中位于顶部)，如图1和图4所示，将转接板安装在主基板上方时，本实用新型的差分调整装置采用自下而上的装配方式(基准连接座在差分调整装置中位于底部)，如图5所示，这种装配方式非常简单；本实用新型的差分调整装置的旋转部用作旋转差分螺栓时的承力部位，调整转接板的位置时，只需通过旋转部旋转差分螺栓即可，调整起来十分方便；本实施例的差分调整装置采用差分结构调整转接板的位置，调整精度高。
权利要求1.一种差分调整装置，连接转接板与主基板，其特征在于，所述差分调整装置包括基准连接座、差分螺栓、第一屏紧螺母和第二屏紧螺母；所述基准连接座安装在所述主基板上；所述差分螺栓的一端与所述基准连接座螺纹连接；所述差分螺栓的另一端与第一屏紧螺母螺纹连接；所述转接板套在所述第一屏紧螺母上；所述第二屏紧螺母套在第一屏紧螺母，并与所述第一屏紧螺母螺纹连接，所述第二屏紧螺母屏紧，以固定所述转接板。
2.如权利要求1所述的差分调整装置，其特征在于，所述差分螺栓包括第一调整部、第二调整部和旋转部，所述第二调整部的一端与所述第一调整部连接，所述第二调整部的另一端与旋转部连接；所述第一调整部与所述基准连接座螺纹连接，所述第二调整部与所述第一屏紧螺母螺纹连接；所述第一调整部的外表面上设有第一外螺纹，所述第二调整部的外表面上设有第二外螺纹，所述第一外螺纹的螺距大于所述第二外螺纹的螺距。
3.如权利要求1所述的差分调整装置，其特征在于，所述第一屏紧螺母设有安装孔，并通过所述安装孔与所述差分螺栓连接；所述第一屏紧螺母的一端设有球面凸起，安装后下段垫有球面垫片；所述第一屏紧螺母的外表面上设有第三外螺纹，所述第三外螺纹用于连接所述第二屏紧螺母。
4.如权利要求3所述的差分调整装置，其特征在于，所述第一屏紧螺母的另一端设有螺钉孔，锁紧螺钉插入所述螺钉孔，将所述第一屏紧螺母锁定在所述差分螺栓上。
5.如权利要求1、3或4所述的差分调整装置，其特征在于，所述第一屏紧螺母的一端面上设有分度尺。
6.如权利要求3或4所述的差分调整装置，其特征在于，所述转接板紧夹在所述第一屏紧螺母的凸起与所述第二屏紧螺母之间。
7.如权利要求6所述的差分调整装置，其特征在于，在所述转接板与所述第二屏紧螺母之间设有球面垫圈。
专利摘要本实用新型的差分调整装置连接转接板与主基板，包括基准连接座、差分螺栓、第一屏紧螺母和第二屏紧螺母；所述基准连接座安装在所述主基板上；所述差分螺栓的一端与所述基准连接座螺纹连接；所述差分螺栓的另一端与所述第一屏紧螺母螺纹连接；所述转接板套在所述第一屏紧螺母上；所述第二屏紧螺母套在所述第一屏紧螺母上，并与所述第一屏紧螺母螺纹连接，所述第二屏紧螺母屏紧，以固定所述转接板。本实用新型的差分调整装置装配简单，且调整精度高。
文档编号G03F7/20GK202133857SQ20112020014
公开日2012年2月1日 申请日期2011年6月14日 优先权日2011年6月14日
发明者李中秋, 贾翔, 陈宇环 申请人:上海微电子装备有限公司