技术编号:26932069
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。:.本实用新型涉及一种配制系统,尤其涉及一种硅棒清洗液配制系统。背景技术:.由单晶炉生产的硅棒表面会存在大量的污渍,不仅搬运过程中影响工作环境,也会对后续加工工艺产生影响,所以,通常会利用洗液对硅棒表面进行清洗。洗液一般都是由试剂和水配制而成的,由人工按照一定的比例在配液槽内配制好,再由泵将配制好的洗液泵至工艺槽内对硅棒进行清洗。由于洗液中水的用量较大、占比也较大,导致配液槽的体积较大,占地面积大;又由于洗液一般呈酸性或碱性,配制好的洗液在输送至工艺槽的过程中会对输送管道及泵体造成腐蚀,影响...
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