一种硅棒清洗液配制系统的制作方法

：
1.本实用新型涉及一种配制系统，尤其涉及一种硅棒清洗液配制系统。


背景技术：

2.由单晶炉生产的硅棒表面会存在大量的污渍，不仅搬运过程中影响工作环境，也会对后续加工工艺产生影响，所以，通常会利用洗液对硅棒表面进行清洗。洗液一般都是由试剂和水配制而成的，由人工按照一定的比例在配液槽内配制好，再由泵将配制好的洗液泵至工艺槽内对硅棒进行清洗。由于洗液中水的用量较大、占比也较大，导致配液槽的体积较大，占地面积大；又由于洗液一般呈酸性或碱性，配制好的洗液在输送至工艺槽的过程中会对输送管道及泵体造成腐蚀，影响输送管道及泵体的使用寿命；而且，人工配制的过程中会存在误差，影响试剂与水的配制比例，进而会影响对硅棒的清洗效果；此外，由于洗液的用量较大，每天至少需要配制两次洗液，增加了工作量。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种结构简单、易于实现的硅棒清洗液配制系统。
4.本实用新型由如下技术方案实施：
5.一种硅棒清洗液配制系统，包括水罐、试剂罐和第一工艺槽；
6.所述水罐的出水口通过输水管道和混合管道的进水端连通，所述混合管道的出水端与所述第一工艺槽的进水口连通；
7.所述试剂罐的出液口通过管道与所述混合管道的进水端连通；
8.在所述水罐的出水口处相邻设有出水阀和水流量计，在所述试剂罐的出液口处相邻设有出液阀和试剂流量计；
9.所述水流量计和所述试剂流量计的信号输出端均与控制器的信号输入端信号连接，所述控制器的信号输出端分别与所述出水阀和所述出液阀的信号输入端信号连接。
10.进一步的，其还包括第二工艺槽，所述混合管道的出水端与三通阀的进口连通，所述三通阀的两个出口分别与所述第一工艺槽和所述第二工艺槽的进水口连通；
11.在所述第一工艺槽和所述第二工艺槽内分别设有第一液位计和第二液位计；
12.所述第一液位计和所述第二液位计的信号输出端均与所述控制器的信号输入端信号连接，所述控制器的信号输出端与所述三通阀的信号输入端信号连接。
13.进一步的，在所述混合管道的内壁固定设有螺旋叶片。
14.本实用新型的优点：
15.1、可实现自动精准配液，自动对工艺槽进行补液；2、无需额外配置配液槽；3、洗液只经过长度较短的混合管道，不会对长度较长的输水管道造成腐蚀；4、混合管道内设置的螺旋叶片可使水和试剂在较短的时间内充分混合均匀。
附图说明：
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实施例的结构示意图；
18.图中：水罐1、三通阀2、试剂罐3、第一工艺槽4、第二工艺槽5、输水管道6、混合管道7、水流量计8、试剂流量计9、第一液位计10、第二液位计11、控制器12、出水阀13、出液阀14。
具体实施方式：
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.实施例1：
21.如图1所示的一种硅棒清洗液配制系统，包括水罐1、试剂罐3和第一工艺槽4，本实施例还包括第二工艺槽5；
22.水罐1的出水口通过输水管道6和混合管道7的进水端连通，试剂罐3的出液口通过管道与混合管道7的进水端连通；混合管道7的出水端与三通阀2的进口连通，三通阀2的两个出口分别与第一工艺槽4和第二工艺槽5的进水口连通；在混合管道7的内壁固定设有螺旋叶片。
23.在水罐1的出水口处相邻设有出水阀13和水流量计8，在试剂罐3的出液口处相邻设有出液阀14和试剂流量计9；在第一工艺槽4和第二工艺槽5内分别设有第一液位计10和第二液位计11；
24.水流量计8、试剂流量计9、第一液位计10和第二液位计11的信号输出端均与控制器12的信号输入端信号连接，控制器12的信号输出端分别与出水阀13和出液阀14以及三通阀2的信号输入端信号连接。
25.工作原理：
26.在控制器12内预设一次配液所需的水量和试剂量、一次补液所需的水量和试剂量、第一工艺槽4和第二工艺槽5的最低液位值。当需要配液时，由控制器12打开出水阀13和出液阀14，当水流量计8和试剂流量计9检测到出水量和试剂的添加量分别达到控制器12内的预设的一次配液所需的水量和试剂量的预设值时，由控制器12关闭出水阀13和出液阀14。水和试剂在长度较短的混合管道7内进行混合，在螺旋叶片的作用下，可使二者在较短的时间内充分混合均匀。
27.当第一液位计10和第二液位计11检测到对应的工艺槽内的液位达到预设的最低液位值时，由控制器12打开出水阀13和出液阀14，并由控制器12控制三通阀2的进口与需要补液的工艺槽连通，与无需补液的工艺槽断开。当水流量计8和试剂流量计9检测到出水量和试剂的添加量分别达到控制器12内的预设的一次补液所需的水量和试剂量的预设值时，由控制器12关闭出水阀13和出液阀14。
28.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种硅棒清洗液配制系统，其特征在于，包括水罐、试剂罐和第一工艺槽；所述水罐的出水口通过输水管道和混合管道的进水端连通，所述混合管道的出水端与所述第一工艺槽的进水口连通；所述试剂罐的出液口通过管道与所述混合管道的进水端连通；在所述水罐的出水口处相邻设有出水阀和水流量计，在所述试剂罐的出液口处相邻设有出液阀和试剂流量计；所述水流量计和所述试剂流量计的信号输出端均与控制器的信号输入端信号连接，所述控制器的信号输出端分别与所述出水阀和所述出液阀的信号输入端信号连接。2.根据权利要求1所述的一种硅棒清洗液配制系统，其特征在于，其还包括第二工艺槽，所述混合管道的出水端与三通阀的进口连通，所述三通阀的两个出口分别与所述第一工艺槽和所述第二工艺槽的进水口连通；在所述第一工艺槽和所述第二工艺槽内分别设有第一液位计和第二液位计；所述第一液位计和所述第二液位计的信号输出端均与所述控制器的信号输入端信号连接，所述控制器的信号输出端与所述三通阀的信号输入端信号连接。3.根据权利要求1或2所述的一种硅棒清洗液配制系统，其特征在于，在所述混合管道的内壁固定设有螺旋叶片。

技术总结
本实用新型公开了一种硅棒清洗液配制系统，包括水罐、试剂罐和第一工艺槽；水罐的出水口输水管道和混合管道的进水端连通，混合管道的出水端与第一工艺槽的进水口连通；试剂罐的出液口通过管道与混合管道的进水端连通；在水罐的出水口处相邻设有出水阀和水流量计，在试剂罐的出液口处相邻设有出液阀和试剂流量计。优点在于：1、可实现自动精准配液，自动对工艺槽进行补液；2、无需额外配置配液槽；3、洗液只经过混合管道，不会对输水管道造成腐蚀；4、混合管道内设置的螺旋叶片可使水和试剂在较短的时间内充分混合均匀。的时间内充分混合均匀。的时间内充分混合均匀。


技术研发人员：罗利明 林则徐 冀亭亭 特古斯
受保护的技术使用者：呼和浩特市欧通能源科技有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/10/8